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ANT130-L

특징

사양

외형도

품명보는 법

nanotechnology motion control mechanical bearing, linear motor stage

ANT130-L 시리즈 스테이지는 속도, 정확도, 분해능, 반복정밀도, 신뢰성, 이동영역에서 최고 등급의 성능을 제공하는 제품으로서 2개 등급의 정확도를 제공합니다. 저상의 형태와 탁월한 성능특성을 가지고서, ANT130-L은 고도의 정확한 정열, 검사, 포지셔닝, 그리고 측정기기를 위한 최상의 솔루션 제품입니다.

비접촉 다이렉트드라이브
리드스크류 또는 볼스크류 드라이브를 활용하는 다른 스테이지와 달리, ANT130-L은 구동 요소로서 중앙구동, 무코깅, 비접촉 방식의 리니어 모터와 엔코더를 채택합니다. 리니어 모터는 다이렉트 드라이브이기 때문에 리드스크류 또는 볼스크류 구동과 관련된 백레쉬, 감김, 또는 “정지마찰”이 전혀 없습니다. 또한, 리니어 모터 드라이브는 더 빠른 속도와 가속도라는 장점을 제공합니다. 컴팩트하며 파워풀한 리니어 모터는 1g의 무부하 최고가속도와 최대 속도 350mm/s로 ANT130-L을 가동합니다. 그 결과, 높은 가속도의 스크류드라이브 또는 동급의 다른 스테이지와 비교시 엄청난 성능차이를 내며 탁월한 처리량을 가진 고정밀 장비를 만들어 냅니다.

우수한 분해능
정열 응용분야를 위해서는, 탁월한 단계별 분해능이 필수적입니다. ANT130-L은 에어로텍의 드라이브와 컨트롤과 결합할 경우 5nm의 미세 단계를 가지고서 이러한 수요를 충족시킵니다. 다이렉트드라이브 리니어 모터는 ANT130-L이 정밀하고 작은 분해능 단위를 만들 수 있도록 합니다. 이것은 단계 정확도가 핵심적인 정열 응용분야에서 특히 중요합니다.

장수명 설계
모든 에어로텍 스테이지 제품과 같이, ANT130-L은 우수한 장기간의 성능을 위해 디자인되었습니다. 리니어 모터 및 리니어 엔코더 모두 비접촉 장비이며, 이는 장기간의 수명뿐 아니라, 완전한 무정비를 의미합니다. 이동 자석트렉 디자인은 케이블 관리의 필요성을 제거하며, 장기간의 신뢰성을 향상시킵니다.

정밀 정열
ANT130-L 시리즈 스테이지는 XY 조립체로 용이하게 조합됩니다. 옵션에는 5 arc seconds까지의 정밀 직교정열과 수직 축 솔루션이 있습니다.

Mechanical Specifications

Model		ANT130-035-L	ANT130-035-L-PLUS	ANT130-060-L	ANT130-060-L-PLUS
Travel		35 mm	35 mm	60 mm	60 mm
Accuracy⁽¹⁾		±2 µm	±250 nm	±2 µm	±250 nm
Resolution		1 nm	1 nm	1 nm	1 nm
Repeatability (Bidirectional)⁽¹⁾		±100 nm	±75 nm	±100 nm	±75 nm
Repeatability (Unidirectional)		±25 nm	±25 nm	±25 nm	±25 nm
Straightness⁽¹⁾		±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm
Flatness⁽¹⁾		±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm
Pitch		10 arc sec	10 arc sec	10 arc sec	10 arc sec
Roll		10 arc sec	10 arc sec	10 arc sec	10 arc sec
Yaw		5 arc sec	5 arc sec	5 arc sec	5 arc sec
Maximum Speed		350 mm/s	350 mm/s	350 mm/s	350 mm/s
Maximum Acceleration		1 g (No Load)	1 g (No Load)	1 g (No Load)	1 g (No Load)
Speed Stability		See graph for typical performance
Settling Time		See graph for typical performance
In-Position Stability⁽²⁾		<1 nm	<1 nm	<1 nm	<1 nm
Maximum Force (Continuous)		23 N	23 N	23 N	23 N
Load Capacity⁽³⁾	Horizontal	12.0 kg	12.0 kg	12.0 kg	12.0 kg
Load Capacity⁽³⁾	Side	10 kg	10 kg	10 kg	10 kg
Moving Mass		1.2 kg	1.2 kg	1.4 kg	1.4 kg
Stage Mass		2.1 kg	2.1 kg	2.5 kg	2.5 kg
Material		Aluminum Body/Black Hardcoat Finish
MTBF (Mean Time Between Failure)		30,000 Hours

Certified with each stage.
In-Position Jitter listing is 3 sigma value.
Axis orientation for on-axis loading is listed.

? Specifications are for single-axis systems measured 25 mm above the tabletop. Performance of combined multi-axis systems is payload and workpoint dependent. Consult factory for multi-axis or non-standard applications.
? -PLUS requires the use of an Aerotech controller.

Model		ANT130-110-L	ANT130-110-L-PLUS	ANT130-160-L	ANT130-160-L-PLUS
Travel		110 mm	110 mm	160 mm	160 mm
Accuracy⁽¹⁾		±3 µm	±300 nm	±4 µm	±300 nm
Resolution		1 nm	1 nm	1 nm	1 nm
Repeatability (Bidirectional)⁽¹⁾		±100 nm	±75 nm	±100 nm	±75 nm
Repeatability (Unidirectional)		±25 nm	±25 nm	±25 nm	±25 nm
Straightness⁽¹⁾		±1.0 µm	±1.0 µm	±1.5 µm	±1.5 µm
Flatness⁽¹⁾		±1.0 µm	±1.0 µm	±1.5 µm	±1.5 µm
Pitch		10 arc sec	10 arc sec	10 arc sec	10 arc sec
Roll		10 arc sec	10 arc sec	10 arc sec	10 arc sec
Yaw		5 arc sec	5 arc sec	5 arc sec	5 arc sec
Maximum Speed		350 mm/s	350 mm/s	350 mm/s	350 mm/s
Maximum Acceleration		1 g (No Load)	1 g (No Load)	1 g (No Load)	1 g (No Load)
Speed Stability		See graph for typical performance
Settling Time		See graph for typical performance
In-Position Stability⁽²⁾		<1 nm	<1 nm	<1 nm	<1 nm
Maximum Force (Continuous)		23 N	23 N	23 N	23 N
Load Capacity⁽³⁾	Horizontal	12.0 kg	12.0 kg	12.0 kg	12.0 kg
Load Capacity⁽³⁾	Side	10 kg	10 kg	10 kg	10 kg
Moving Mass		1.9 kg	1.9 kg	2.3 kg	2.3 kg
Stage Mass		3.3 kg	3.3 kg	3.9 kg	3.9 kg
Material		Aluminum Body/Black Hardcoat Finish
MTBF (Mean Time Between Failure)		30,000 Hours

Certified with each stage.
In-Position Jitter listing is 3 sigma value.
Axis orientation for on-axis loading is listed.
Specifications are for single-axis systems measured 25 mm above the tabletop. Performance of combined multi-axis systems is payload and workpoint dependent. Consult factory for multi-axis or non-standard applications.
-PLUS requires the use of an Aerotech controller.

Electrical Specification

Drive System	Brushless Linear Servomotor
Feedback	Noncontact Linear Encoder
Maximum Bus Voltage	±40 VDC
Limit Switches	5 V, Normally Closed
Home Switch	Near Center

Recommended Controller

Multi-Axis	A3200	Npaq MXR Npaq MR-MXH Ndrive ML-MXH
	Ensemble	Epaq MXH Epaq MR-MXH Ensemble ML-MXH
Single Axis	Soloist	Soloist ML-MXH

Linear amplifiers are required to achieve the listed specifications. Other options are available.

Note: To ensure the achievement and repeatability of specifications over an extended period of time, environmental temperature must be controlled to within 0.25°C/24 hours. If this is not possible, alternate products are available. Please consult Aerotech for more information.

ANT130-L Step Plot
ANT130-L Performance Graphs

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