MPS50SL
Ư¡ | »ç¾ç | ¿ÜÇüµµ | Ç°¸íº¸´Â ¹ý

  

 

  • 50mm±îÁö À̵¿°Å¸®ÀÇ Á¶¹ÐÇÑ 50mmÆø
  • Á¤¹ÐÇÑ Ç¥¸é º¼½ºÅ©·ù ¶Ç´Â ¸®µå ½ºÅ©·ù µå¶óÀ̺ê
  • DC ¼­º¸ ¶Ç´Â ½ºÅ×ÆÛ ¸ðÅÍ
  • ±³Â÷ ·Ñ·¯ º£¾î¸µ
  • °íºÐÇØ´É(0.1um), ¹Ýº¹µµ(0.75um), Á¤È®µµ(1.5um)
  • °íÁø°ø ¿ª·®
  • Á¶¹ÐÇÑ ´ÙÃà ±¸¼º
  •  

    MPS50SLÀº »ý»êȯ°æ¿¡¼­ ³ôÀº ½Å·Úµµ¸¦ Á¦°øÇϸ鼭 ½ÇÇè½ÇÀÇ Á¦ÇÑ¿¡ ¿Ïº®ÇÑ Á¶¹ÐÇÏ°í °í¼º´É ¸®´Ï¾î À§Ä¡°áÁ¤ ½ºÅ×ÀÌÁöÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ°ÍÀº °ø°£ Á¦¾àÀÌ ÀÖ´Â ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡¼­ ÃøÁ¤, Å×½ºÆ®, Á¤È®ÇÑ Á¤·Ä, ºÎÇ° Á¶¸³À» À§ÇÑ ÀÌ»óÀûÀÎ ¼±ÅÃÀÔ´Ï´Ù.

     

    ³ôÀº Á¤È®µµ

    Á¤¹ÐÇÑ Ç¥¸é º¼½ºÅ©·ù ¶Ç´Â ¸®µå ½ºÅ©·ù´Â ¿ì¼öÇÑ Á¤È®µµ, ¹Ýº¹µµ, 0.1¹ÌÅ©·Ð±îÁöÀÇ Ãʹ̼¼ À§Ä¡°áÁ¤ ºÐÇØ´É ¿ª·®À» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. DC ¼­º¸¸ðÅÍ´Â ·ÎÅ͸® ÀÎÄÚ´õ¿¡ ÀåÄ¡µË´Ï´Ù. ±³Â÷ ·Ñ·¯ ¸®´Ï¾î º£¾î¸µÀº ¸Å²ô·¯¿î À̵¿°æ·Î¿Í ¿ì¼öÇÑ ÆäÀ̷εå Ư¼ºÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.

    ¼±ÅÃÀûÀÎ Áø°ø Áغñ

    MPS50SLÀº 10-6 torr±îÁö ¼±ÅÃÀûÀÎ Áø°ø Áغñ°¡ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ¹× °Ë»ç, ±¤ÇÐ Á¦Á¶ ¹× ±º»ç/¿ìÁÖ Ç×°ø°ú °°Àº ½ÃÀå¿¡¼­ ¿À´Ã³¯ÀÇ ±î´Ù·Î¿î Áø°ø ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ´ëÇÑ ¿Ïº®ÇÑ Á¤¹Ð ½ºÅ×ÀÌÁö ¼±ÅÃÀÔ´Ï´Ù.

    °íµµ ±¸¼º °¡´É

    ¼±Åà ºê·¹µåº¸µå ¸¶¿îÆà Ç÷¹ÀÌÆ®´Â ¿µ¾î¿Í ¸ÞÆ®¸¯ µå·¹µåº¸µå¿¡ ´ÙÀÌ·ºÆ® ¸¶¿îÆÃÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ¾î¶² ¸ðµ¨ÀÌµç ¿À¸¥ÂÊ °¢ L-ºê·¡Å¶À¸·Î XY±¸¼º, XYZ±¸¼º¿¡ ¸¶¿îÆ®µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ Á÷Á¢ÀûÀ¸·Î Å« MPS75SL½ºÅ×ÀÌÁö¿¡ ¸¶¿îÆ®µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

    MPS50SLÀº ¸®´Ï¾î, ·ÎÅ͸®, °í´Ï¾î¹ÌÅÍ, ¼öÁ÷ ¸®ÇÁÆ®, Z½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ MPS(Miniature Positioning Stage)·ùÀÇ ¸â¹öÀÔ´Ï´Ù. Ç¥ÁØÈ­µÈ ¸¶¿îÆà ÆÐÅÏ ¹× ¾îµªÅÍ Ç÷¹ÀÌÆ®¸¦ »ç¿ëÇÑ ¸¹Àº Á¶ÇÕ¿¡¼­ µÎ °³ ¶Ç´Â ±× ÀÌ»óÀÇ ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ½±°Ô ÇÔ²² ¸¶¿îÆ®µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.


    ¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
    270/19,104