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Airlift115
특징 | 사양 | 외형도 | 품명보는 법

독특한 Z 스테이지 설계는 완벽히 예압된 에어베어링 포함

전체 이송거리에서 ±2arc sec 미만의 roll, pitch 및 yaw

1미크론 미만의 Closed-loop 위치결정

50~150mm까지의 이송거리 옵션

정밀한- Ground ball-스크류-구동이 특별한 카운터밸런스를 위한 필요성 제거




에어로텍의 에어리프트 115 시리즈 이송거리 전체에서 극도의 단단한 각도 성능을 유지하는 동안 매우 엄격한 Z방향 위치결정이 요구되는 응용분야를 위해 이상적인 해결책을 제공합니다. 이러한 응용분야는 반도체 웨이퍼 점검과 검사, 비접촉 계측학, 광학 검사 시스템 그리고 레이저 가공 응용분야를 포함합니다.

독특한 설계
에어로텍의 에어리프트 115는 기존의 쐐기형식의 수직 리프트 스테이지 각도 성능의 가장 두드러진 한계를 다루기 위해 설계되었습니다. 쐐기 형식 Z 스테이지는 작고 경제적인 하부 작업 평면 해결책을 제공할 뿐만 아니라, 일반적으로 그것의 각도 성능 제한하는 Pitch와 Roll 강도를 제한합니다. 에어리프트 115의 독특한 에어베어링 설계는 더 큰 이송거리에서 우수한 각도 성능을 제공함과 동시에 카운터 밸런스 기계 장치의 필요를 제거하는 혁신적인 구동 기계 장치을 활용합니다.

에어리프트 115는 아래와 같은 곳에서 직접적으로 응용분야를 다룹니다.

• 엄격한 각도 성능은 기존의 쐐기형식의 Z스테이지 (예 50mm)에 너무 큰 이송거리의 범위가 요구됨

• 작업 면의 탁트인 시야가 요구됨

• 점유공간은 최소로 유지되어야 함

• 안전장치가 되어있는 브레이크가 필요

모터와 드라이브
에어리프트 115시리즈 스테이지에 포함된 것은 에어로텍의 BMS 시리즈 브러시리스 로터리 모터입니다. 이 모터는 브러시리스 모터의 모든 장점- 높은 가속, 브러시의 마모 없음과 낮은 발열을 갖고 있으며, 거기에 매우 부드러운 모션과 정확도를 위한 코깅 ‘0’을 갖고 있습니다. 에어로텍은 완벽히 집적되고 최적화된 모션 솔루션을 제공하기 위해 넓은 범위의 알맞는 드라이브와 컨트롤러를 제조합니다.

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