설계 특징  - 기존의 2D스캐너보다 더 큰 FOV로 더 큰 부품의 가공을 간편화
- 전체 FOV에서 최소의 스팟 왜곡으로 최고 품질의 레이저 가공 부품을 위한 가공 편차 최소화
- 공냉 및 수냉 옵션을 통해 열 안정성을 제공하고, 장기적인 정확도 향상
- 다양한 레이저 파장을 위해 여러 가지 거울 표면 처리 선택
Aerotech의 AGV-SPO 단일 회전점 갈바노미터 스캐너는 기존 두 개 거울의 갤보 스캐너를 대체할 수 있습니다. 대중적인 AGV-HPO스캐너에서 파생된 AGV-SPO는 더 큰 FOV가 가능하고, 중요한 레이저 미세 가공 어플리케이션에서 스팟 왜곡을 줄일 수 있습니다. 스팟 왜곡 최소화로 더 큰 FOV 가능 고유한 광학 설계는 X와 Y스캐너 움직임에 일치하도록 빔 입구 동공을 효과적으로 제어하여 스캐너 시스템의 유효 개구 수를 증가시킵니다. 이 설계는 특정 초점 거리에 대한 FOV를 직접적으로 넓히고 전체 작업 공간에서 스팟 왜곡을 줄일 수 있습니다. 이러한 장점은 AGV-SPO가 더 큰 부품을 더 빠르고 일관성 있게 처리할 수 있다는 것을 의미합니다. 설계 구성 AGV-SPO는 다양한 광학 코팅 및 초점 광학이 가능하여 일반적으로 사용되는 다양한 레이저 파장과 초점 길이를 지원합니다. 다른 요구 사항을 지원하기 위해 Aerotech은 요청에 따라 고객 맞춤 광학 및 광학 장착 기능을 AGV-SPO에 제공할 수 있습니다. AGV-SPO는 공냉식 미러, 수냉식 모터 또는 두 가지 모두 구성될 수 있습니다. 이러한 능동적인 냉각 기능은 레이저에 의해 발생하는 열 장애 또는 적극적인 모션 프로파일에서 작업 계획 정확도를 유지하는데 도움을 줍니다. 고급 프로그래밍 기능 AGV-SPO는 에어로텍의 고급 모션 전체 및 기존 갤보 및 서보 스테이지와 함께 레이저 가공 응용분야 용으로 개발된 PSO (Poistion Synchronized Output)기능을 활용할 수 있습니다. 가속도 제한과 같은 외곽선 기능은 오버슈트를 최소화 하기 위해 좁은 모서리 또는 작은 반경에서 자동적으로 속도를 줄이는데 사용될 수 있습니다. 레이저는 PSO로 거울의 위치 피드백을 기반으로 스캐너 속도가 바뀔 때마다 일관된 스팟 중첩을 보장하기 위해 트리거 될 수 있습니다. Aerotech의 IFOV(Infinite Field of View) 기능은, 서보 스테이지의 전체 이송 범위에 걸쳐 스캐너의 마킹 능력을 확장하기 위해 서보와 스캐너 모션을 매끄럽게 결합하여, 좀 더 전통적인 이동-노출 반복 공정에서 발생할 수 있는 스티칭 오류를 제거합니다. 
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AGV-SPO
