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소개
에어로텍의 ANT 시리즈 스테이지는 세계의 첫 수백미터 이동구간의 나노미터급 위치 시스템입니다. ANT95-V 및 ANT95-V-PLUS는 리니어 모터 구동 엣지 타입의 수직 리프트 스테이지입니다. 스테이지는 뛰어난 다축 성능을 위해 ANT95부류에서 다른 스테이지와 균일하게 통합되도록 설계되었고, 두 급의 정확성을 제공받습니다.
비접촉 다이렉트 드라이브
본래의 모든 ANT시리즈 다이렉트 드라이브 이점은 ANT95-V부류를 지켜왔습니다. 오직 비접촉 다이렉드 드라이브 기술은 정밀 장치의 대량 생산에 필요한 로우버스트, 정확도, 고속 위치를 제공합니다. ANT95-V 스테이지는 가장 높은 수준의 위치 성능을 내기 위해 에어로텍에 의해 개척된 고급 다이렉트 드라이브 기술을 이용합니다. 이 다이렉트 드라이브 기술은 고성능, 무코깅, 비접촉, 고속, 고해상고, 고정확 입니다. 극도로 작은 프로파일 및 풋프린트에 패키지 되어있는 이 특이한 드라이브 및 베어링 조합은 고정밀위치, 디스크드라이브 제작, 섬유 정렬, 광학 지연 요소 발동작용, 센서 테스팅, 매끈하고 정밀한 모션을 요구하는 스캐닝 과정과 같은 많은 응용분야에서 감지할 수 있는 이점을 제공합니다.
유연한 시스템 설계
ANT95-V부류는 쉬운 시스템 조립을 가능하게 하는 일반적인 설치 및 테이블탑 패턴을 가지고 있습니다. 2축, 3축, 더 많은 축은 유연한 시스템 설계 및 다축 조성에 쉽게 결합될 수 있습니다.
시스템 특징
뛰어난 정확도, 위치 반복도, 정위치 안정도는 높은 시스템 해결책을 요구합니다. ANT95-V 스테이지의 선두 산업 1nm 최소 증가 단계 사이즈는 높은 수준의 성능을 제공합니다. 훌륭한 정위치 안정성은 고급, 안티 크립, 크로스 롤러 베어링에 의해 지원받습니다. 스테이지는 제품 수명에서 사실상 유지보수가 없는 작동을 제공합니다. 에어로텍의 다이렉트 드라이브 기술은 이력현상 또는 백래쉬가 없으며, 정확하고 반복적인 나노미터급 모션을 가능하게 합니다.
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Mechanical Specifications
| Model |
ANT95-3-V |
ANT95-3-V-PLUS |
| Travel |
3 mm |
| Accuracy(1) |
±2 µm |
±200 nm |
| Resolution |
1 nm |
| Bidirectional Repeatability(1) |
±150 nm |
±100 nm |
| Unidirectional Repeatability |
±75 nm |
| Straightness(2) |
±1.0 µm |
| Pitch(1) |
20 arc sec |
| Roll(1) |
10 arc sec |
| Yaw(1) |
10 arc sec |
| Maximum Speed |
75 mm/s |
| Maximum Acceleration |
0.4 g (No Load) |
| Settling Time |
See graphs for typical performance |
| In-Position Stability(3) |
<1 nm |
| Maximum Force (Continuous) |
71 N |
| Load Capacity(4) |
1.5 kg |
| Moving Mass |
1.1 kg |
| Stage Mass |
2.0 kg |
| Material |
Aluminum and Stainless-Steel Body/Black Hardcoat
Finish/Black Anodize Finish |
| MTBF (Mean Time Between Failure) |
30,000 Hours |
Electrical Specifications
| Drive System |
Brushless Linear Servomotor |
| Feedback |
Noncontact Linear Encoder |
| Maximum Bus Voltage |
±40 VDC |
| Limit Switches |
5 V, Normally Closed |
| Home Switch |
Near Center |
Recommended Controller
| Multi-Axis |
A3200 |
Npaq MXR |
| Npaq MR-MXH |
| Ndrive ML-MXH |
| Ensemble |
Epaq MXH |
| Epaq MR-MXH |
| Ensemble ML-MXH |
| Single Axis |
Soloist |
Soloist ML-MXH |
Note: To ensure the achievement and repeatability of specifications over an
extended period of time, environmental temperature must be controlled to within
0.25°C/24 hours. If this is not possible, alternate products are available.
Please consult Aerotech for more information.
- ANT95-3-V-Plus Step Plot
- ANT95-3-V Performance Graphs
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ANT95-V/ANT95-V-PLUS ORDERING INFORMATION
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ANT95-V Series Lift Stage |
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ANT95-V/ANT95-V-PLUS |
Aerotech’s nanotranslation crossed-roller bearing vertical lift
positioner |
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Linear Stage Travel |
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ANT95-3-V |
3 mm vertical travel lift stage with proprietary direct-drive motor
technology, 1 Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits |
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ANT95-3-V-PLUS
|
3 mm vertical travel lift stage with proprietary direct-drive motor
technology, 1 Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits (High Accuracy
Version) |
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Options |
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-MP |
Breadboard mounting plate |
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ANT95-3-V
