Direct-drive slotless Brushless servo motor
¿ì¼öÇÑ ¼Óµµ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» À§ÇÑ Á¦·Î
ÄÚ±ë(cogging) ¸ðÅÍ
¿ì¼öÇÑ ¿¡·¯ ¸ð¼Ç(error motion)°ú ¿Íºí ¼º´É(wobble
performance)
ÀÏüÇüÀÌ °íÁ¤¹Ð ·ÎÅ͸® ¿£ÄÚ´õ
³·Àº ³ôÀÌ, Æò¸é µðÀÚÀÎ
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¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ABRS½Ã¸®Áî, ·ÎÅ͸® ¿¡¾î º£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö´Â µ¶ÀÚÀûÀÎ ³·Àº ³ôÀÌÀÇ Çü»ó¿¡¼ ¿ì¼öÇÑ °¢µµ Æ÷Áö¼Å´×, ¼Óµµ ¾ÈÁ¤¼º, ±×¸®°í
¿¡·¯¸ð¼Ç(error motion) ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÑ´Ù. ABRS´Â ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç, ÍÔ-Á¤¹Ð °èÃø, x-ray µðÇ÷º¼Ç½Ã½ºÅÛ(Diffraction
system), ±¤ÇÐ °Ë»ç ¹× Á¦Á¶, ±×¸®°í MEMS/³ª³ë±â¼ú ÀåÄ¡ Á¦ÀÛ µî Á¤¹Ð¼ö¿ä¿¡ ´ëÀÀÇÏ°íÀÚ
¼³°èµÇ¾ú´Ù.
Compact Package ABRS ½Ã¸®Áî, Direct-drive Rotary
stageÀÇ µðÀÚÀÎÀº stage ³ôÀ̸¦ ÃÖ¼ÒÈÇÏ¿´´Ù. StageÀÇ ³·Àº Çü»óÀº ¡°ÀûÀç(stack-up)¡±¿Í °ü·ÃµÈ ¿¡·¯¸¦ ÃÖ¼ÒȽÃÅ°¸é¼ ½Ã½ºÅÛÀÇ
È¿À²ÀûÀÎ ÀÛµ¿³ôÀ̸¦ ÁÙÀδÙ. ÀüüÀûÀÎ ³·Àº ÇüÅÂ¿Í ´õºÒ¾î, ABRS ½Ã¸®Áî´Â Á¦Ç° À̼Û, ·¹ÀÌÀú ºö Àü´Þ, ¹è¼± Á¤¸®, ±×¸®°í °³º°-Àû¿ëºÐ¾ßÀÇ
¿ä±¸»çÇ׿¡ À¯¿ëÇϵµ·Ï Áß°ø(ñéÍö) ¼³°èµÇ¾î ÀÖ´Ù.
¿ì¼öÇÑ ±â°è¿ªÇÐ µðÀÚÀÎ ABRS µðÀÚÀÎÀº ³ôÀº
°ß°í¼º°ú ºÎÇÏ ¿ë·®À» À§ÇÑ ³ÐÀº °ø±â-º£¾î¸µ Ç¥¸éÀÌ Æ¯Â¡Àε¥, ÀÌ°ÍÀº Ãà¹æÇâ ¹× ¹ÝÁö¸§¹æÇâÀÇ Å¹¿ùÇÑ ¿¡·¯¸ð¼Ç(error motion)»Ó¸¸
¾Æ´Ï¶ó, ¿ì¼öÇÑ ±â¿ïÀÓ ¿¡·¯¸ð¼Ç(tilt error motion)µµ ¸¸µé¾î ÁØ´Ù. ÇÕ¼º ÆäÀ̽º ¿¡·¯¸ð¼Ç(Resultant face error
motion)Àº Ư¼öÇÑ Æò¸é ¼º´ÉÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â ¼öÀͼºÀÌ Å« Àû¿ëºÐ¾ß¿¡ ´Ù¸¥ ·ÎÅ͸® ¿¡¾î º£¾î¸µ°ú ½ºÇÉµé ´ëºñ ¾ÆÁÖ
¾çÈ£ÇÏ´Ù.
Brushless Direct-Drive Æ÷Áö¼Å´×(Positioning) ¼º´ÉÀÇ
ÃÖ´ëȸ¦ À§ÇØ, ABRS ½Ã¸®Áî´Â ¿¡¾î·ÎÅØÀÌ S-½Ã¸®Áî Slotless Brushless Motor¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù. ÀÌ ¸ðÅÍ´Â ¿¹ß»ýÀ» ÃÖ¼ÒÈÇϸé¼
³ôÀº ÅäÅ© Ãâ·ÂÀ» ³»µµ·Ï ¾Õ¼°¡´Â í¸Ñ¨ ȸ·Î µðÀÚÀÎÀ» »ç¿ëÇÑ´Ù. Slotless µðÀÚÀÎÀº ±Ùº»ÀûÀ¸·Î Á¦·ÎÄÚ±ë(Zero Cogging) ¹× ÅäÅ©
¸®ÇÃ-ÇÁ¸®(Torque riffle-free) µðÀÚÀÎÀÌ´Ù. ÀÌ°ÍÀº Àú¼Ó ¶Ç´Â °í¼Ó¿¡¼ ºÎµå·¯¿î °Ë»ç¼Óµµ¸¦ ¿ä±¸ÇÏ´Â Àû¿ëºÐ¾ß¿¡ ABRS
stage¸¦ ÀÌ»óÀûÀ¸·Î ¸¸µé¾î ÁØ´Ù.
Á¤È®ÇÑ Æ÷Áö¼Å´×(positioning) ±¤ÇÐ ¿£ÄÚ´õ´Â
ABRS¿¡ Ç¥ÁØ»ç¾çÀÌ´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Çǵå¹é ¹è¼ö±â(multipliers)¿Í Á¦¾î±â¿¡ ÀåÂøÇÏ¿©, 0.03 arc second ÀÌÇÏÀÇ ºÐÇØ´ÉÀ» ¾òÀ»
¼ö ÀÖ´Ù.
°í°´ µðÀÚÀÎ ABRS´Â ºñÀ²Ç¥¿Í °¢Á¾ °ü¼ºº° Àû¿ëºÐ¾ß¿¡ ´ëÇØ °í°´ ¸ÂÃã µðÀÚÀÎÀÌ
°¡´ÉÇÏ´Ù.
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ABRS-150MP
ABRS-200MP
ABRS-250MP
ABRS-300MP
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