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ABRS
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Direct-drive slotless Brushless servo motor

¿ì¼öÇÑ ¼Óµµ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» À§ÇÑ Á¦·Î ÄÚ±ë(cogging) ¸ðÅÍ

¿ì¼öÇÑ ¿¡·¯ ¸ð¼Ç(error motion)°ú ¿Íºí ¼º´É(wobble performance)

ÀÏüÇüÀÌ °íÁ¤¹Ð ·ÎÅ͸® ¿£ÄÚ´õ

³·Àº ³ôÀÌ, Æò¸é µðÀÚÀÎ

ºñÁ¢ÃË Å¸ÀÔ


¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ABRS½Ã¸®Áî, ·ÎÅ͸® ¿¡¾î º£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö´Â µ¶ÀÚÀûÀÎ ³·Àº ³ôÀÌÀÇ Çü»ó¿¡¼­ ¿ì¼öÇÑ °¢µµ Æ÷Áö¼Å´×, ¼Óµµ ¾ÈÁ¤¼º, ±×¸®°í ¿¡·¯¸ð¼Ç(error motion) ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÑ´Ù. ABRS´Â ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç, ÍÔ-Á¤¹Ð °èÃø, x-ray µðÇ÷º¼Ç½Ã½ºÅÛ(Diffraction system), ±¤ÇÐ °Ë»ç ¹× Á¦Á¶, ±×¸®°í MEMS/³ª³ë±â¼ú ÀåÄ¡ Á¦ÀÛ µî Á¤¹Ð¼ö¿ä¿¡ ´ëÀÀÇÏ°íÀÚ ¼³°èµÇ¾ú´Ù.

Compact Package
ABRS ½Ã¸®Áî, Direct-drive Rotary stageÀÇ µðÀÚÀÎÀº stage ³ôÀ̸¦ ÃÖ¼ÒÈ­ÇÏ¿´´Ù. StageÀÇ ³·Àº Çü»óÀº ¡°ÀûÀç(stack-up)¡±¿Í °ü·ÃµÈ ¿¡·¯¸¦ ÃÖ¼ÒÈ­½ÃÅ°¸é¼­ ½Ã½ºÅÛÀÇ È¿À²ÀûÀÎ ÀÛµ¿³ôÀ̸¦ ÁÙÀδÙ. ÀüüÀûÀÎ ³·Àº ÇüÅÂ¿Í ´õºÒ¾î, ABRS ½Ã¸®Áî´Â Á¦Ç° À̼Û, ·¹ÀÌÀú ºö Àü´Þ, ¹è¼± Á¤¸®, ±×¸®°í °³º°-Àû¿ëºÐ¾ßÀÇ ¿ä±¸»çÇ׿¡ À¯¿ëÇϵµ·Ï Áß°ø(ñéÍö) ¼³°èµÇ¾î ÀÖ´Ù.

¿ì¼öÇÑ ±â°è¿ªÇÐ µðÀÚÀÎ
ABRS µðÀÚÀÎÀº ³ôÀº °ß°í¼º°ú ºÎÇÏ ¿ë·®À» À§ÇÑ ³ÐÀº °ø±â-º£¾î¸µ Ç¥¸éÀÌ Æ¯Â¡Àε¥, ÀÌ°ÍÀº Ãà¹æÇâ ¹× ¹ÝÁö¸§¹æÇâÀÇ Å¹¿ùÇÑ ¿¡·¯¸ð¼Ç(error motion)»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, ¿ì¼öÇÑ ±â¿ïÀÓ ¿¡·¯¸ð¼Ç(tilt error motion)µµ ¸¸µé¾î ÁØ´Ù. ÇÕ¼º ÆäÀ̽º ¿¡·¯¸ð¼Ç(Resultant face error motion)Àº Ư¼öÇÑ Æò¸é ¼º´ÉÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â ¼öÀͼºÀÌ Å« Àû¿ëºÐ¾ß¿¡ ´Ù¸¥ ·ÎÅ͸® ¿¡¾î º£¾î¸µ°ú ½ºÇÉµé ´ëºñ ¾ÆÁÖ ¾çÈ£ÇÏ´Ù.

Brushless Direct-Drive
Æ÷Áö¼Å´×(Positioning) ¼º´ÉÀÇ ÃÖ´ëÈ­¸¦ À§ÇØ, ABRS ½Ã¸®Áî´Â ¿¡¾î·ÎÅØÀÌ S-½Ã¸®Áî Slotless Brushless Motor¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù. ÀÌ ¸ðÅÍ´Â ¿­¹ß»ýÀ» ÃÖ¼ÒÈ­Çϸ鼭 ³ôÀº ÅäÅ© Ãâ·ÂÀ» ³»µµ·Ï ¾Õ¼­°¡´Â í¸Ñ¨ ȸ·Î µðÀÚÀÎÀ» »ç¿ëÇÑ´Ù. Slotless µðÀÚÀÎÀº ±Ùº»ÀûÀ¸·Î Á¦·ÎÄÚ±ë(Zero Cogging) ¹× ÅäÅ© ¸®ÇÃ-ÇÁ¸®(Torque riffle-free) µðÀÚÀÎÀÌ´Ù. ÀÌ°ÍÀº Àú¼Ó ¶Ç´Â °í¼Ó¿¡¼­ ºÎµå·¯¿î °Ë»ç¼Óµµ¸¦ ¿ä±¸ÇÏ´Â Àû¿ëºÐ¾ß¿¡ ABRS stage¸¦ ÀÌ»óÀûÀ¸·Î ¸¸µé¾î ÁØ´Ù.

Á¤È®ÇÑ Æ÷Áö¼Å´×(positioning)
±¤ÇÐ ¿£ÄÚ´õ´Â ABRS¿¡ Ç¥ÁØ»ç¾çÀÌ´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Çǵå¹é ¹è¼ö±â(multipliers)¿Í Á¦¾î±â¿¡ ÀåÂøÇÏ¿©, 0.03 arc second ÀÌÇÏÀÇ ºÐÇØ´ÉÀ» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù.

°í°´ µðÀÚÀÎ
ABRS´Â ºñÀ²Ç¥¿Í °¢Á¾ °ü¼ºº° Àû¿ëºÐ¾ß¿¡ ´ëÇØ °í°´ ¸ÂÃã µðÀÚÀÎÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.

 


¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
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