ABL1000
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Á¤·Ä(alignment)°ú Á¶¸³ÀÇ ³ôÀº ¼º°ú¸¦ À§ÇÑ ¼³°è

 
Linear ¿£ÄÚ´õ Çǵå¹éÀº 2nmÀÇ ºÐÇØ´ÉÀ» Á¦°ø

Automation 3200°ú »ç¿ë½Ã 1 nm closed-loop ºÐÇØ´É ½ÃÇö

¿ÏÀü ¿¹¾Ð ¿¡¾î º£¾î¸µ(Air Bearing)

Àú-¼ÒÀ½ Linear Amplifier

¿Ïº®ÇÑ ºñÁ¢ÃË ¼³°è
 



ABL1000 ½Ã¸®Áî Stage´Â Àû¿ë °¡´ÉÇÑ ÃÖ°í ¼º´ÉÀÇ ¼ÒÇü ¿¡¾î º£¾î¸µ(Air Bearing) StageÀÔ´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀº 30³â ÀÌ»óÀÇ Motion Á¦¾î¿Í Positioning½Ã½ºÅÛ °æÇè, ÃÖ½ÅÀÇ ±â¼úÀ» °áÇÕÇÏ¿© ¾ÆÁÖ ¿ì¼öÇÑ ¼ÒÇü Linear Air Bearing Stage¸¦ »ý»êÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

Linear Stage
Linear Positioner´Â ¿ÏÀü ¿¹¾Ð, ºñÁ¢ÃË µðÀÚÀÎÀÔ´Ï´Ù. °íÀ¯ÀÇ Ùí¸¶Âû, ¿¡¾î º£¾î¸µ(Air Bearing)Àº Á¤¹Ð ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡¼­ÀÇ Ç¥ÁØÀ¸·Î °ËÁõµÇ¾î ¿Ô°í, ¿¡¾î·ÎÅØÀº ÀÌÁ¦ ¼ÒÇü º¯ÇüÁ¦Ç°µµ »ý»êÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ºñÁ¢ÃË½Ä Linear Brushless Servo Motor·Î ±¸µ¿µÇ¾î, ÀÌ stage´Â ¼ÒÇüÀ̳ª Á¤¹ÐÇÑ StepÀ» ¿øÇÏ´Â °÷À̳ª, ÀÏÁ¤ÇÑ Smooth Velocity¸¦ ¿ä±¸ÇÏ´õ¶óµµ ±Ã±ØÀûÀÎ ÇØ°á¹æ¾ÈÀ¸·Î Áõ¸íµË´Ï´Ù. ¿ì¼öÇÑ ÀÚ±âÀå°ú ¸ðÅÍ ÄÚÀϼ³°è·Î ¸ðµç ¼ÒÇü Air Bearing Stage´Â ÃÖ°íÀÇ Ãâ·ÂÀ» ³À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Stage´Â ¿ì¼öÇÑ ¼­º¸ ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ´Ù³â°£ÀÇ ¿¬±¸°³¹ß·Î °­·ÂÇÏ°í ¼ö¿ùÇÑ ¹è¼±°ü¸®(cable management) ½Ã½ºÅÛÀ» ¸¸µé¾î ³Â½À´Ï´Ù.

Çǵå¹é°ú Á¦¾î ½Ã½ºÅÛ
µðÁöÅÐ µå¶óÀ̺갡 ÀåÂøµÈ Automation 3200 ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î Controller¿Í PCI-bus±â¹ÝÀÇ U500, ¶Ç´Â µ¶¸³ÀûÀÎ U511À» Æ÷ÇÔÇÏ¿© ÃֽŠControllerÀÇ Æø³ÐÀº ¼±ÅÃÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.

ºÎ°¡¼±ÅÃ
Æí¸®ÇÑ RackÀ̳ª ÆгÎ-žÀç ¾ÚÇÁ(panel-mount amplifiers)°¡ ¸ðµç ½Ã½ºÅÛ¿¡ Æ÷ÇԵ˴ϴÙ. ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Àü¹® ±â¼úÁøÀº ¸ÂÃ㠽ýºÅÛ ¼³°è¿¡ °æÇèÀÌ ÀÖÀ¸¸ç ¿©·¯ºÐÀÇ Àû¿ëºÐ¾ßÀÇ Æ¯ÀÌÇÑ ¿ä±¸¸¦ ¸ÂÃß±â À§ÇÑ ½Ã½ºÅÛÀ» Á¦ÀÛÇϱâ À§ÇØ ¿©·¯ºÐ°ú ÇÔ²² ÀÛ¾÷ÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù
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¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
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