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소개
에어로텍의 ANT130 시리즈 스테이지는 다중 mm 이송거리를 가진 세계 최초의 나노미터 수준 위치결정 시스템입니다. ANT130-5-V와 ANT130-5-V-PLUS는 리니어 모터 구동 쐐기 형식의 수직 리프트 스테이지입니다. 스테이지는 우수한 다축 성능을 위해 ANT130 제품 군에 있는 다른 스테이지와 아주 매끄럽게 집적되도록 설계되었습니다.
에어로텍의 비접촉 다이렉트 드라이브 설계의 혜택
고유의 ANT 시리즈의 다이렉트 드라이브의 모든 이점은 ANT130-5-V제품군에서 유지되고 있습니다. 오직 비접촉 다이렉트 드라이브 기술만이 정밀 장치의 양산에 요구되는 튼튼하고, 정확한, 그리고 고속의 위치결정을 제공합니다. ANT130-5-V 스테이지는 최고 수준의 위치결정 성능을 달성하기 위하여 에어로텍이 개척한 고급 다이렉트 드라이브 기술을 활용합니다. 이 다이렉트 드라이브 기술은 고성능, 무-코깅, 비접촉, 고속, 고분해능 및 높은 정확도를 갖고 있습니다. 극도로 작은 프로파일과 접지 면에서 포장된 이러한 특유의 드라이브와 베어링 조합은 고정밀 위치결정, 디스크 드라이브 제작, 광 정렬, 광학 지연 요소 작용, 센서 검사, 그리고 스캐닝 공정과 같은 부드럽고 정밀한 모션을 요구하는 많은 응용분야에서 실질적인 이점을 제공합니다.
쉬운 스테이지 장착 및 시스템 집적
ANT130-5-V 제품군은 보편적인 장착과 테이블 표면 패턴을 제공하여 쉬운 시스템 집적을 가능하게 합니다. 유연한 시스템 설계와 다축 구성을 위한 2, 3 또는 그 이상의 축을 쉽게 조합할 수 있습니다.
뛰어난 스테이지 특성
뛰어난 정확도, 위치반복도 및 정위치 안정성은 높은 시스템 분해능을 필요로 합니다. ANT130-5-V 스테이지의 산업을 선도하는 2nm의 최소 증분 단위는 높은 수준의 성능을 제공합니다. 고품질의 변형방지 크로스롤러 베어링으로 지원되는 뛰어난 정위치 안정성은 제품의 수명이 다하는 동안 실질적으로 유지보수가 필요 없는 동작을 할 수 있습니다. 에어로텍의 다이렉트 드라이브 기술은 hysteresis 또는 backlash가 전혀 없어, 정확하고 반복 가능한 나노미터 수준의 모션을 가능하게 합니다.
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Mechanical Specifications |
ANT130-5-V |
| Travel |
5 mm |
| Accuracy(1) |
Standard |
±2 μm |
| PLUS |
±200 nm |
| Resolution |
2 nm |
| Repeatability (Bi-Directional) (1) |
Standard |
±150 nm |
| PLUS |
±100 nm |
| Repeatability (Uni-Directional) |
±75 nm |
| Straightness(2) |
±1.0 μm (±40 μin) |
| Pitch(1) |
20 arc sec |
| Roll |
10 arc sec |
| Yaw(1) |
10 arc sec |
| Maximum Speed |
75 mm/s (3 in/s) |
| Maximum Acceleration |
0.7 g - 7 m/s2 (No Load) |
| Settling Time |
See graphs for typical performance |
| In-Position Stability(3) |
1 nm |
| Maximum Force (Continuous) |
100 N |
| Load Capacity(4) |
3.0 kg |
| Moving Mass |
1.8 kg (4 lb) |
| Stage Mass |
3.1 kg (7 lb) |
| Material |
Aluminum Body/Black Hardcoat Finish/Black Anodize Finish |
| MTBF (Mean Time Between Failure) |
30,000 Hours | Notes:
1. Certified with each stage.
2. Measured perpendicular or parallel to wedge direction.
3. In-Position Stability listing is 3 sigma value.
4. Assumes loading along axis of travel.
5. Specifications are for single-axis systems measured 25 mm above the tabletop. Performance of multi-axis systems is payload and workpoint dependent. Consult factory for multi-axis or non-standard applications. 6. -PLUS requires the use of an Aerotech controller.
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Electrical Specifications |
ANT130-5-V |
| Drive System |
Brushless Linear Servomotor |
| Feedback |
Noncontact Linear Encoder |
| Maximum Bus Voltage |
±40 VDC |
| Limit Switches |
5 V, Normally Closed |
| Home Switch |
Near Center |
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Recommended Controller |
ANT130-5-V |
| Multi-Axis |
A3200 |
Npaq-MXR
Npaq MR-MXH
Ndrive ML-MXH |
| Ensemble |
Epaq-MXH
Epaq MR-MXH
Ensemble ML-MXH |
| Single Axis |
Soloist |
Soloist ML-MXH | Notes:
1. Linear amplifiers are required to achieve the listed specifications. Other options are available
.
Note: To ensure the achievement and repeatability of specifications over an extended period of time, environmental temperature must be controlled to within 0.25°C/24 hours. If this is not possible, alternate products are available. Please consult Aerotech Sales Engineering for more information.
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ANT130-5-V/ANT130-5-V-PLUS Mounting Plate Dimensions
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ANT130-5-V Series Vertical Lift Stage |
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ANT130-5-V |
Aerotech’s nanotranslation crossed-roller bearing vertical lift positioner
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Linear Stage Travel (X,Y) |
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ANT130-5-V |
5 mm vertical travel lift stage with proprietary direct-drive motor technology, 1 Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits |
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ANT130-5-V-PLUS |
5 mm vertical travel lift stage with proprietary direct-drive motor technology, 1 Vp-p sinusoidal output linear encoder and limits (High Accuracy Version)
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Accessories |
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-MP-ANT130-5-V |
Breadboard mounting plate
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Output Cable Connectors |
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-25DU |
Single 25-pin D connector (standard) |
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-4DU-25DU |
4-pin HPD and 25-pin D connectors |
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Note: -25DU single 25-pin connector option not valid for systems using bus voltages greater than 80 V | |
ANT-130-5-V
