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WaferMax Z
특징 | 사양 | 외형도 | 품명보는 법

공간-제약 적용분야를 위한 低上 형상

비접촉 direct-drive

높은 반복성

완벽한 공압 counterbalance

다축 적용분야에 WaferMax T와 용이한 조합성


WaferMax Z는 1대의 콤팩트 팩키지내에서 고-정밀 구성요소를 수직 정열하는 기술에서의 비약적인 약진을 보여줍니다. 자체의 우수한 비접촉 linear 모터 드라이브는 direct position 피드백을 위하여 고-정밀 엔코더를 채택하고 있습니다. 에어로텍 MXH multiplier와 결합하여, 빠른 속도와 높은 정확성과 더불어 0.83nm의 분해능을 제공합니다.

우수한 기계 설계
베어링 구성품은 최고의 부드러움과 신뢰성을 위하여 cross-roller 방식입니다. 이 구성품은 동역학적 성능을 향상시키고자, 최적의 base에 탑재하여 저질량/저관성/견고성을 고려하면서 쇄기방식으로 조립됩니다.

WaferMax Z의 중요한 구성요소는 24시간 연속적인 제조환경에서 작동하도록 선정되었습니다. Screw 기반 또는 piezo기반 수직 stage와 달리 WaferMax Z는 정비가 필요가 없으며 이것은 수년간 無-고장 작동을 보장합니다.

Brushless Direct-Drive
최고의 positioning 성능을 위해, WaferMax Z는 에어로텍의 BLMUC-시리즈 brushless, slotless linear 모터를 사용합니다. 이 모터는 brushless direct-drive 모터의 모든 장점을- 마모되는 brush와 정비가 필요한 기어 열(列)의 不在, 높은 정확성 및 빠른 속도 - 가지고 있습니다. 이것은 slotless, ironless 설계이기 때문에, cogging과 토오크 ripple이 절대 없습니다. 이것은 WaferMax Z를 윤곽 motion, 원활한 scan 속도, 또는 정밀한 점진적인 step에 이상적으로 만듭니다.

정확한 positioning
정밀한 linear 엔코더가 선능을 보장하며, 0.8nm 분해능을 보여줍니다. 모터와 고성능 linear 엔코더는 정확성을 향상시키기 위해 직접 부착됩다.

유연한 조합성
에어로텍은 완벽한 통합 팩키지를 공급하기 위해 폭넓은 서보 amplifier와 선진 controllers를 제작합니다.

 

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