Ȩ > Á¦Ç°¼Ò°³ > AEROTECH > ½ºÅ×ÀÌÁö
³ª³ë ½ºÅ×ÀÌÁö

Nanopositioning System Requirements

°í¼º´É ³ª³ëÆ÷Áö¼Å´× ½Ã½ºÅÛÀÇ °ø¾ð ¸ñÀû, Áï, ±ä À̼۰Ÿ®, ³ôÀº µ¿Àû ¼º´É, ³ôÀº Á¤È®µµ, °íºÐÇØ´É, ±×¸®°í »ç¿ëÇϱ⠽¬¿î ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î¸¦ °¡´ÉÄÉ Çϱâ À§ÇÏ¿© ¿¡¾î·ÎÅØÀº ÇöÀç¿Í ¹Ì·¡ÀÇ ³ª³ëÅ×Å©³î·ÎÁö »ê¾÷ÀÇ ¿ä±¸¸¦ ¸ÂÃß±â À§ÇÑ ÀÏ·ÃÀÇ Á¦Ç°µéÀ» °³¹ßÇϱâ À§ÇØ ±â°è, ÀÚ±â, Àü±â, ÄÄÇ»ÆÃ, µðÁöÅÐÄÁÆ®·Ñ ½Ã½ºÅÛ, Àü±â±â°è ½Ã½ºÅÛ ºÐ¾ß¿¡¼­ 40³â µ¿¾È ÃàÀûµÈ ¸¹Àº °æÇèµéÀ» ½ñ¾Æ ºÎ¾ú½À´Ï´Ù.

nanopositioners and nanopositioning stages

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Æ¯º°ÇÑ ±ä À̼۰Ÿ®ÀÇ ³ª³ëÆ÷Áö¼Å´× Á¦Ç°µéÀº ³ª³ë¹ÌÅÍ¿Í arc-second ÀÌÇϱÞÀÇ Á¤È®µµ¸¦ ¿ä±¸ÇÏ´Â ¾îÇø®ÄÉÀ̼ǵé°ú ¿¬±¸¼Ò¿Í »ê¾÷ ¾îÇø®ÄÉÀ̼ǵ鿡 ÀûÇÕÇÕ´Ï´Ù.  ¿¡¾î·ÎÅØ ³ª³ëÆ÷Áö¼Å´× ½ºÅ×ÀÌÁöµéÀº ´ÜÃà ¹× 2Ãà ¸®´Ï¾î ³ª³ëÆ÷Áö¼Å³Ê¸¦ Æ÷ÇÔÇϸç À̵éÀº 1³ª³ë¹ÌÅÍ ºÐÇØ´É, dia.250³ª³ë¹ÌÅÍ Á¤È®µµ, ±×¸®°í 25mm¿¡¼­ 160mm±îÁöÀÇ À̼۰Ÿ®¸¦ °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ·ÎÅ͸® ³ª³ëÆ÷Áö¼Å´× Á¦Ç°µéÀº 0.01 arc-second ºÐÇØ´É, 0.005 arc-second In-position stability, rmflrh 360µµÀÇ ²÷ÀÓ¾ø´Â ȸÀüÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ¹Ý¸é¿¡ ¿¡¾î·ÎÅØ ³ª³ëÆ÷Áö¼Å´× °í´Ï¾î¹ÌÅ͵éÀº 0.05arc-sec ºÐÇØ´É, 20µµ ȸÀü °¢µµ, ±×¸®°í ÃÊ´ç 150µµ ¼Óµµ¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀº ¶ÇÇÑ Vertical lift¿Í 1nm±îÁö ºÐÇØ´ÉÀÌ °¡´ÉÇÑ ZÃà ³ª³ëÆ÷Áö¼Å´× ½ºÅ×ÀÌÁö¸¦ °³¹ßÇÏ¿´½À´Ï´Ù. <1nm in-position stability¿Í 60mm±îÁöÀÇ À̼۰Ÿ®. ´Ù¿î·Îµå °¡´ÉÇÑ PDF  ¶Ç´Â ÇϵåÄ«ÇÇ·Î. ¹«·á ³ª³ë ¸ð¼Ç ±â¼ú Ä«´Þ·Î±×¸¦ ¹ÞÀ¸¼¼¿ä.  ¿Â¶óÀο¡¼­ ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Àüü ³ª³ëÆ÷Áö¼Å´× Á¦Ç°µéÀ» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

Àç·á, º£¾î¸µ, ÀÚ±âü, ÀüÀÚºÎÇ°, Çǵå¹éÀåÄ¡, ¸ð¼ÇÄÁÆ®·Ñ·¯µé, ½Ã½ºÅÛ ±×¸®°í ¾îÇø®ÄÉÀÌ¼Ç ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î¿¡ ´ëÇÑ ´ÙÀ½ÀÇ °íÂûÀº ±×µéÀÇ ±¸Ã¼ÀûÀÎ ¾îÇø®ÄÉÀ̼ÇÀ» À§ÇÑ Æ¯Â¡µé°ú ±¸¼ºÇ°µéÀÇ ÃÖÀûÀÇ Á¶ÇÕÀ» ¼±ÅÃÇÏ·Á´Â ÀáÀç ÀÌ¿ëÀڵ鿡°Ô µµ¿òÀ» ÁÙ °ÍÀÔ´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ±â¼ú¿¬±¸Áøµé¿¡ ÀÇÇØ ¿Ï¼ºµÈ ÀÌ Áö½ÄÀº ¿©·¯ Á¾·ùÀÇ ¾îÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡¼­ ÃÖ°íÀÇ ½Ã½ºÅÛ ±¸¼ºÀÇ ¼±ÅÃÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù.



¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
216/19,050