Ȩ > Á¦Ç°¼Ò°³ > AEROTECH > ½ºÅ×ÀÌÁö
¸®ÇÁÆ®¿Í Z ½ºÅ×ÀÌÁö

¿¡¾î·ÎÅØ ¸®ÇÁÆ® stage´Â ¿©·¯ºÐÀÇ Àû¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀûÀÎ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇϱâ À§ÇØ direct drive ¶Ç´Â lead-screw ±â¹ÝÀÇ ±â°è¿Í ÇÔ²² »ç¿ëµË´Ï´Ù. ÀÌ stage´Â ÄÞÆÑÆ® footprints¸¦ °¡Áö°í 2nmÀÇ ºÐÇØ´É°ú ÃÖ´ë 25mmÀÇ À̵¿°Å¸®°¡ Ư¡À̸ç, Æø³ÐÀº positioning Àû¿ëºÐ¾ß¸¦ À§ÇØ µðÀÚÀεǾú½À´Ï´Ù.


¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ANT95 ½Ã¸®Áî ½ºÅ×ÀÌÁö
´Â ´ÙÁß mm À̼۰Ÿ®¸¦ °¡Áø ¼¼°è
ù nm±Þ À§Ä¡°áÁ¤ ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù.
ANT95-3-V ¹× ANT95-3-V-PLUS´Â ¸®
´Ï¾î ¸ðÅÍ ±¸µ¿ ½û±âÇü ¼öÁ÷ ÀÌ¼Û ½º
Å×ÀÌÁöÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¶Ù¾î³­
´ÙÃà ¼º´ÉÀ» À§ÇØ ANT95 ·ùÀÇ ´Ù¸¥
½ºÅ×ÀÌÁö¿¡ ±ÕÀÏÇÏ°Ô °áÇյǵµ·Ï ¼³
°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù.


Travel
3 mm
Velocity
75 mm/s
Load
1.5 kg


Vertical Lift Stage

ANT-130-5-V ½Ã¸®Áî ¼öÁ÷ À̼Û
½ºÅ×ÀÌÁö
 

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ANT130½Ã¸®Áî ½ºÅ×ÀÌÁö
´Â ´ÙÁß mm À̼۰Ÿ®¸¦ °¡Áø ¼¼°è
ù nm±Þ À§Ä¡°áÁ¤ ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù.
ANT130-5-V ¹× ANT130-5-V-PLUS´Â
¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ ±¸µ¿ ½ý±âÇü ¼öÁ÷ ÀÌ¼Û ½º
Å×ÀÌÁöÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¶Ù¾î³­
´ÙÃà ¼º´ÉÀ» À§ÇØ ANT130 ·ùÀÇ ´Ù¸¥
½ºÅ×ÀÌÁö¿¡ ±ÕÀÏÇÏ°Ô °áÇյǵµ·Ï ¼³
°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù
.

Travel
5 mm
Velocity
75 mm/s
Load
3.0 kg



PRO-SV ¼öÁ÷ ÀÌ¼Û ½ºÅ×ÀÌÁö 

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ PRO-SV ½Ã¸®Áî ¸®ÇÁÆ®
½ºÅ×ÀÌÁöµéÀº °¡Àå ³·Àº Æû ÆÑÅͷΠ±ä À̵¿
°Å¸®¿Í, ÃÊÁ¤¹Ð ¼öÁ÷ ¿îµ¿À» Á¦°øÇÑ´Ù. °¢±â
´Ù¾çÇÑ ±¸¼º °¡´ÉÇѠƯ¡°ú ¿É¼ÇÀ» °®Ãá ¼¼
°¡Áö ´Ù¸¥ ¸ðµ¨Àº ´Ù¾çÇÑ À̵¿ ¹üÀ§¿Í
ÆäÀ̷ε堿뷮 Á¶ÇÕÀ» Á¦°øÇϹǷÎ, PRO-SV´Â
°í¼º´É ¼öÁ÷ ¿òÁ÷ÀÓÀÌ Áß¿äÇÑ ¸ðµç
¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡ Ź¿ùÇÑ ¼±ÅÃÀÌ µÉ ¼ö ÀÖ´Ù.

vertical alignment stage

WaferMax Z ¼öÁ÷ ÀÌ¼Û ½ºÅ×ÀÌÁö

WaferMax Z´Â 1´ëÀÇ ÄÞÆÑÆ® ÆÑÅ°Áö
³»¿¡¼­ °í-Á¤¹Ð ±¸¼º¿ä¼Ò¸¦ ¼öÁ÷ Á¤·Ä
ÇÏ´Â ±â¼ú¿¡¼­ÀÇ ºñ¾àÀûÀÎ ¾àÁøÀ» º¸
¿©ÁÝ´Ï´Ù. ÀÚüÀÇ ¿ì¼öÇÑ ºñÁ¢ÃË ¸®´Ï
¾î ¸ðÅÍ ±¸µ¿Àº Á÷Á¢ À§Ä¡ Çǵå¹éÀ» À§
ÇÏ¿© °í-Á¤¹Ð ¿£ÄÚ´õ¸¦ äÅÃÇÏ°í ÀÖ½À
´Ï´Ù.


Travel
5 mm
Velocity

4 mm/s

Load
10 kg
Vertical Lift Stage

AVS1000 ¼öÁ÷ ÀÌ¼Û ½ºÅ×ÀÌÁö

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ AVS1000½Ã¸®Áî ½ºÅ×ÀÌ
Áö´Â ¼öÆò¸éÀ§·Î »ó½ÂÇÏ´Â Å©°Å³ª ¹«
°Å¿î ºÎÇÏ ¿òÁ÷ÀÓÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â ÀÀ¿ëºÐ
¾ß¿¡ ÀÌ»óÀûÀÎ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
³·Àº Çü»ó°ú Á¤¹Ð ¸ð¼Ç ¿ë·®Àº ÀÌ ½º
Å×ÀÌÁö°¡ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ¹× ½ÃÇè, ÀÚµ¿
È­ °ø±¸ Á¤·Ä, ±â°è ºñÁ¯ °Ë»ç½Ã½ºÅÛ,
·¹ÀÌÀú °¡°ø ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀûÀÔ´Ï
´Ù.


Travel
5 mm or 10 mm
Velocity
20 mm/s
Load
135 kg
Vertical Lift Stage

AVS100/AVSI100 ¼öÁ÷ ÀÌ¼Û ½ºÅ×ÀÌÁö

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ AVS100/AVSI100 ½Ã¸®Áî
½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¼öÆò¸éÀ§·Î »ó½ÂÇÏ´Â ¾ÆÁÖ
ÀÛÀº Á¡ÁøÀûÀÎ ¿òÁ÷ÀÓÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â Àû
¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀûÀÎ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÕ´Ï
´Ù. ÀÛÀº Çü»ó°ú Á¤¹ÐÇÑ ¸ð¼Ç ¿ë·® Ư¼º
À¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç¿Í ½ÃÇè, ±¤¼¶
À¯ Á¶¸³°ú °Ë»ç, ÀÚµ¿È­ °ø±¸ Á¤·Ä, ±â°è
ºñÀü °Ë»ç ½Ã½ºÅÛ ¹× ·¹ÀÌÀú °¡°ø µîÀÇ
ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀûÀÔ´Ï´Ù.


Travel
6, 13, 25 mm
Velocity

50 mm/s

Load
25 kg
linear table

ANT95-L-Z ¼öÁ÷ Àüȯ ½ºÅ×ÀÌÁö

ANT95½Ã¸®Áî ½ºÅ×ÀÌÁö´Â 25mmº¸´Ù
´õ Å« À̼۰Ÿ®¸¦ °¡Áø ¼¼°è ù nm±Þ
À§Ä¡°áÁ¤ ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù. ANT95-L-Z ¹×
ANT95-L-Z-PLUS Å©·Î½º·Ñ·¯ ½ºÅ×ÀÌÁö
´Â ¼Óµµ, °¡¼Óµµ, Á¤È®µµ, ÇØ»óµµ, ¹Ýº¹
µµ, ½Å·Úµµ, Å©±â¸¦ °áÇÕÇÏ¿© µ¿±Þ¿¡¼­
°¡Àå ¶Ù¾î³ª°í, µÎ °³ÀÇ Á¤È®µµ µî±ÞÀ¸
·Î Á¦°øµË´Ï´Ù. À¯¸íÇÑ ANT½ºÅ×ÀÌÁö·ù
ÀÇ ¹ßÀüÀ¸·Î ÀÌ ¸®´Ï¾î ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¿¡
¾î·ÎÅØÀÇ Ã¹ ANT½Ã¸®Áî ¼¼´ë¸¦ ³Ñ¾î¼±
Çâ»óµÈ ¸ð¼Ç ¼º´ÉÀ» º¸ÀÔ´Ï´Ù.


Max Travel
50 mm
Accuracy
¡¾300 nm
Load
5.0 kg
linear table

ANT130-L-Z ¼öÁ÷ Àüȯ ½ºÅ×ÀÌÁö

ANT130½Ã¸®Áî ½ºÅ×ÀÌÁö´Â 25mmº¸
´Ù ´õ Å« À̼۰Ÿ®¸¦ °¡Áø ¼¼°Ô ù nm
±Þ À§Ä¡°áÁ¤ ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù.
ANT130-L-Z ¹× ANT130-L-Z-PLUS Å©
·Î½º·Ñ·¯ ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¼Óµµ, Á¤È®µµ,
ÇØ»óµµ, ¹Ýº¹µµ, ½Å·Úµµ, Å©±â¸¦ °áÇÕ
ÇÏ¿© µ¿±Þ¿¡¼­ °¡Àå ¶Ù¾î³ª°í, µÎ °³ÀÇ
Á¤È®µµ µî±ÞÀ¸·Î Á¦°øµË´Ï´Ù. À¯¸íÇÑ
ANT½ºÅ×ÀÌÁö·ùÀÇ ¹ßÀüÀ¸·Î ÀÌ ¸®´Ï¾î
½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Ã¹ ANT½Ã¸®Áî
¼¼´ë¸¦ ³Ñ¾î¼± Çâ»óµÈ ¸ð¼Ç ¼º´ÉÀ» º¸
ÀÔ´Ï´Ù.


Max Travel
60 mm
Repeatability
¡¾300 nm
Load
10 kg


ABL1500Z ¿¡¾îº£¾î¸µ, ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ
¼öÁ÷ ÀÌ¼Û ½ºÅ×ÀÌÁö


ABL1500Z´Â ABL1500½Ã¸®Áî ¿¡¾îº£
¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ ¼öÁ÷ ÀÌ¼Û ¹öÀüÀÔ´Ï
´Ù. ABL1500Z´Â ±ØµµÀÇ Á¤È®¼ºÀÌ ¿ä
±¸µÇ´Â Å« ¿ÀÇÁ¼Â ºÎÇÏ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÌ
»óÀûÀ¸·Î ¾Ë¸Â½À´Ï´Ù.






Travel
50, 100, 150, 200 mm
Velocity
300 mm/s
Load
15 kg

Vertical Lift Stage

Airlift 115 ¿¡¾îº£¾î¸µ ¼öÁ÷ À̼Û
½ºÅ×ÀÌÁö


¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ¿¡¾î¸®ÇÁÆ® 115 ½Ã¸®Áî ÀÌ
¼Û°Å¸® Àüü¿¡¼­ ±ØµµÀÇ ´Ü´ÜÇÑ °¢µµ
¼º´ÉÀ» À¯ÁöÇÏ´Â µ¿¾È ¸Å¿ì ¾ö°ÝÇÑ Z¹æ
Çâ À§Ä¡°áÁ¤ÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â ÀÀ¿ëºÐ¾ß¸¦ À§
ÇØ ÀÌ»óÀûÀÎ ÇØ°áÃ¥À» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ Á¡°Ë
°ú °Ë»ç, ºñÁ¢ÃË °èÃøÇÐ, ±¤ÇÐ °Ë»ç ½Ã½º
ÅÛ ±×¸®°í ·¹ÀÌÀú °¡°ø ÀÀ¿ëºÐ¾ß¸¦ Æ÷ÇÔ
ÇÕ´Ï´Ù
.

Travel
50, 100, 150 mm
Velocity
50 mm/s
Load
15 kg


VTS300 ¼öÁ÷ Àüȯ ½ºÅ×ÀÌÁö

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ VTS300Àº ºÎÇÏ 450kg
(1000lb)±îÁö Á¤È®ÇÏ°Ô À§Ä¡ÇÏ°í, ÀÛÀº
ºÎÇÇ´Â °ø°£ Á¦¾à ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ³ôÀº ºÎ
ÇÏ À§Ä¡¸¦ °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÕ´Ï´Ù. ÀüÇüÀû
ÀÀ¿ëºÐ¾ß ¹üÀ§´Â ´Ü°èÀûÀÌ°í, Å« µ¿·Â
¼¼´ë¿¡ À§Ä¡ÇÕ´Ï´Ù. ´Ù¼ö ±¸¼º ´ÜÀ§´Â
lift ¹× tip/tilt¸ð¼ÇÀ¸·Î °áÇÕµÉ ¼ö ÀÖ½À
´Ï´Ù.


Travel
50, 100, 150, 200 mm
Velocity
5 mm/s
Load
450 kg

Vertical Lift Stage

 

AVL1000 ¼öÁ÷ ÀÌ¼Û ½ºÅ×ÀÌÁö 

AVL1000´Â ³ôÀº Ãø¸é°ú ȸÀü °ß°íÇÔ
À» ´Þ¼ºÇϱâ À§ÇØ °í °ß°í¼º º£¾î¸µÀÌ
ÀåÂøµÈ ½û±â ¼³°è¸¦ »ç¿ëÇÏ°í ÀÖ½À´Ï
´Ù. AVL1000ÀÇ ¸ðµÎ ±¸¼º ¿ä¼Ò´Â ¿¬Áß
¹«ÈÞ·Î »ê¾÷ ȯ°æ¿¡¼­ µ¿ÀÛÇϴµ¥ ¼±
Åõ˴ϴÙ. ±×¸®°í, ½ºÅ©·ù ¶Ç´Â ÇÇ¿¡Á¶
±â¹ÝÀÇ ¼öÁ÷ ÀÌ¼Û ½ºÅ×ÀÌÁö¿Í ´Þ¸®
AVL1000Àº À¯Áöº¸¼ö°¡ ÇÊ¿ä ¾ø°í, ³â
°£ ¹®Á¦°¡ ¾ø´Â µ¿ÀÛÀ» º¸ÀåÇÒ °ÍÀÔ´Ï
´Ù.


Travel
2 mm
Velocity

5 mm/s

Load
50 kg


¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
245/19,079