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고성능 포토닉스 정렬과 조립용 디자인
최고 2nm
분해능의 리니어엔코더 피드백
Automation 3200과 사용시 62 피코미터 분해능
충분히 사전예압된 에어베어링
완전한 비접촉 디자인
극도의 부드러운 속도
컨트롤 |
| FiberGlide 3D 시리즈는 사용가능한 최고 성능의 소형 3축 에어베어링 스테이지를 대표합니다.
에어로텍은 30년 이상의 정밀 모션 컨트롤과 포지셔닝 시스템 경험과 최신의 기술을 결합하여 진정한 우수 소형 리니어 에어 베어링 스테이지를
제작합니다..
리니어 스테이지
리니어 포지셔너는 충분히 사전예압된 비접촉 디자인입니다. 본래부터
마찰이 없는 에어베어링은 정밀 적용분야에서 표준으로 검증 받아 왔습니다. 그리고 이제 에어로텍은 광섬유산업에 아주 적합한 소형버전을 생산합니다.
비접촉 리니어 brushless 서보모터로 구동되어, 이러한 스테이지는 응용분야가 작고 정확한 스템을 요구하거나, 계속적이고 부드러운 속도를
요구하는 모든 경우에 완전한 솔루션으로 검증됩니다.
피드백과 컨트롤 시스템
직접 체결된 비접촉
리니어 엔코더 포지션 피드백은 여러 상이한 옵션으로 가능합니다. 다양한 최첨단의 컨트롤러가 있으며, 디지털 드라이브와 함께 Automation
3200 소프트웨어 컨트롤러가 특징입니다.
옵션
편리한 랙 또는 판넬-mount 증폭기가 모든
시스템에 포함되어 있습니다. 에어로텍의 전문 기술 스텝은 고객 맞춤 시스템 디자인에 경험이 있으며, 고객의 응용분야의 특수한 요구사항을
만족시키는 시스템을 만들기 위해 공동으로 작업을 할 것입니다.
크린룸 호환성
에어베어링 디자인은
본래부터 크린룸 호환성입니다. 분진발생이 낮은 재료사용과 고품질의 케이블 관리시스템은 적절한 내장품과 더불어 class 1을
준수합니다. |
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| Total Travel |
25 mm |
50 mm |
100 mm |
150 mm |
| Drive System |
Linear Brushless Servomotor |
| Bus Voltage |
up to 160 VDC |
| Continuous Current |
A pk |
up to 2.9 A |
| A rms |
up to 2.1 A |
| BEMF, line-line, max. |
V/m/sec |
3.77952 |
| V/in/sec |
0.096 |
| Force Constant, Sinusoidal Drive |
N/A(lb/A), pk |
3.29 (0.739) |
| N/A(lb/A), rms |
4.65 (1.04) |
| Resistance, 25°C, line-line |
Ohms |
5.2 |
| Resistance, 125°C, line-line |
Ohms |
7.28 |
| Inductance, line-line |
mH |
0.7 |
| Magnetic Pole Pitch |
mm (inch) |
16 (0.63) |
| Feedback |
Noncontact Linear Encoder |
| Resolution |
LN |
1 nm |
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LT |
5 nm |
| Maximum Travel Speed(1) |
300 mm/s |
| Maximum Linear Acceleration |
1 g -10 m/s2 (no load) |
| Maximum Load(2) |
Horizontal |
15.0 kg |
| Accuracy |
LN |
±0.2 μm(3)
±1 μm |
±0.2 μm(3)
±1 μm |
±0.2 μm(3)
±2 μm |
±0.5 μm(3)
±5 μm |
| LT |
±0.3 μm(3)
±2 μm |
±0.3 μm(3)
±2 μm |
±0.3 μm(3)
±5 μm |
±0.5 μm(3)
±5 μm |
| Repeatability
|
LN(3) |
±50 nm |
| LT |
±50 nm(3); ±100 nm |
| Straightness and
Flatness(4) |
Differential |
0.25 μm/25 mm |
| Max Deviation |
±0.25 μm |
±0.25 μm |
±0.4 μm |
±0.4 μm |
| Pitch and Yaw |
±0.25 arc sec/25 mm |
±0.25 arc sec/25 mm |
±0.25 arc sec/25 mm |
±1.5 arc sec/25 mm |
| Nominal Stage Weight |
4.5 kg |
5.5 kg |
6.4 kg |
12.7 kg |
| Moving Mass |
1.9 kg |
4.8 kg |
| Operating Pressure(5) |
80 psi ±5 psi |
| Air Consumption(6) |
<0.3 cfm @ 80 psi |
| Construction |
Aluminum Body/Hardcoat |
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| Notes:
1.
Maximum speed based on stage capability; maximum application velocity may be
limited by system data rate and system resolution.
2. Max load for XY
configuration is 10.0 kg.
3. Values with Aerotech controls and HAL
option.
4. Dependent on flatness of stage mounting surface.
5. To protect
air bearing against under-pressure, an in-line pressure switch is required and
tied to the contoller E-stop input.
6. Air supply must be clean, dry to 0° F
dew point, and filtered to 0.25 µm or better; recommend nitrogen at 99.99%
purity.
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적용 예
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FG1000-3D |
-100 |
-LT |
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Series |
Travel (mm) |
Feedback |
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-25
-50
-100
-150 |
-LT
-LN
-LT/lower
-LN/lower
-LT/upper
-LN/upper
-LT/vertical
-LN/vertical |
|
FiberGlide 1000
Series Photonics Alignment and Assembly System |
|
FG1000-3D
|
Linear air bearing
positioner
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Linear Stage
Travel (Z, X, Y) |
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-25*
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25 mm (1 in) travel
stage with linear motor
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-50 |
50 mm (2 in) travel stage
with linear motor |
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-100
-150**
|
100 mm (4 in) travel stage
with linear motor
150 mm (6 in) travel stage with linear
motor
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*-25 can only be used in an XY configuration with
the -150 as the lower axis
**-150 can only be used as the upper XY axis with
a -150 lower axis
***Z axis can only be -25
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Feedback |
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-LT
|
Linear encoder
feedback (10 nm resolution), amplified sine output
|
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-LN |
High-accuracy linear
encoder feedback (2 nm resolution), amplified sine output |
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-LT/lower |
LT option with lower axis
cable management |
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-LN/lower |
LN option with lower axis
cable management |
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-LT/upper |
LT option with upper axis
cable management |
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-LN/upper |
LN option with upper axis
cable management |
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-LT/vertical |
LT option with vertical
axis cable management |
|
-LN/vertical |
LN option with vertical
axis cable management | |
FiberGlide 3D
