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¸®ÇÁÆ® ½ºÅ×ÀÌÁö

Vertical-Lift Nanopositioners

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ¸®ÇÁÆ® ½ºÅ×ÀÌÁö ³ª³ëÆ÷Áö¼Å³Ê´Â ANT95-V¹× ANT130-V¸¦ Æ÷ÇÔÇÕ´Ï´Ù. ±×µéÀº ½ÇÇè½ÇÀ̳ª ¿¬Áß ¹«ÈÞ Á¦Á¶ ȯ°æ¿¡¼­ µ¿ÀÏÇÏ°Ô ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Å©·Î½º ·Ñ·¯ º£¾î¸µ, ¿§Áö ½ºÅ¸ÀÏ ´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀÌºê ¸®ÇÁÆ® ½ºÅ×ÀÌÁö µÑ ´Ù ³ôÀº ºÐÇØ´É ( ANT95-V´Â 1nm, ANT130-V´Â 2nm), ¶Ù¾î³­ Á¤À§Ä¡ ¾ÈÁ¤¼º ( ANT95-V´Â <1nm, ANT130-V´Â <2nm), ±200nm Á¤È®µµ¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ANT130-V´Â 5mmÀÇ À̵¿±¸°£ ¹× 3.0kg±îÁöÀÇ ºÎÇϸ¦ Á¦°øÇÏ´Â ¹Ý¸é, ANT95-V´Â 3mmÀÇ À̵¿±¸°£ ¹× 1.5kg±îÁöÀÇ ºÎÇϸ¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.

¿ì¼öÇÑ Á¤È®µµ, À§Ä¡ ¹Ýº¹µµ, Á¤À§Ä¡ ¾ÈÁ¤µµ´Â ³ôÀº ½Ã½ºÅÛ ºÐÇØ´ÉÀ» ¿ä±¸ÇÕ´Ï´Ù. ANT95-V¹× ANT130-V ±ØÈ÷ ¿¹¿ÜÀûÀÎ ÃÖ¼Ò ÁõºÐ ´Ü°è »çÀÌÁî´Â ÀÌ·¯ÇÑ ³ôÀº ¼öÁØÀÇ ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ³ôÀº Ç°Áú¿¡ ÀÇÇÑ ÈǸ¢ÇÑ Á¤À§Ä¡ ¾ÈÁ¤µµ, ¾ÈƼ Å©¸³ Å©·Î½º ·Ñ·¯ º£¾î¸µÀº Á¦Ç°ÀÇ ¼ö¸í µ¿¾È »ç½Ç»ó °ü¸®°¡ ÇÊ¿ä ¾ø´Â ÀÛµ¿À» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÕ´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀÌºê ±â¼úÀº ÀÌ·ÂÇö»ó ¶Ç´Â ¹é·¡½Ã°¡ ¾ø°í, Á¤È®ÇÏ°í ¹Ýº¹ÀûÀÎ ³ª³ë¹ÌÅÍ ±Ô¸ð ¸ð¼ÇÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÕ´Ï´Ù.

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ³ª³ëÆ÷Áö¼Å³Ê´Â µ¶¸³Çü ´ÜÀ§ ¶Ç´Â ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ÀÚü ÄÁÆ®·Ñ·¯ ¹× µå¶óÀ̺긦 Æ÷ÇÔÇÏ¿© ¿ÏÀüÇÑ À§Ä¡ ÆÐÅ°Áö·Î Á¦°ø¹Þ½À´Ï´Ù.

ANT95-3-V Series Linear Motor Vertical Lift Stage ANT130-5-V Series Linear Motor Vertical Lift Stage

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ANT ½Ã¸®Áî ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¼¼°èÀÇ Ã¹ ¼ö¹é¹ÌÅÍ À̵¿±¸°£ÀÇ ³ª³ë¹ÌÅÍ±Þ À§Ä¡ ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù. ANT95-V ¹× ANT95-V-PLUS´Â ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ ±¸µ¿ ¿§Áö ŸÀÔÀÇ ¼öÁ÷ ¸®ÇÁÆ® ½ºÅ×ÀÌÁöÀÔ´Ï´Ù. ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¶Ù¾î³­ ´ÙÃà ¼º´ÉÀ» À§ÇØ ANT95ºÎ·ù¿¡¼­ ´Ù¸¥ ½ºÅ×ÀÌÁö¿Í ±ÕÀÏÇÏ°Ô ÅëÇյǵµ·Ï ¼³°èµÇ¾ú°í, µÎ ±ÞÀÇ Á¤È®¼ºÀ» Á¦°ø¹Þ½À´Ï´Ù.

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¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ANT ½Ã¸®Áî ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¼¼°èÀÇ Ã¹ ¼ö¹é¹ÌÅÍ À̵¿±¸°£ÀÇ ³ª³ë¹ÌÅÍ±Þ À§Ä¡ ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù. ANT130-V ¹× ANT130-V-PLUS´Â ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ ±¸µ¿ ¿§Áö ŸÀÔÀÇ ¼öÁ÷ ¸®ÇÁÆ® ½ºÅ×ÀÌÁöÀÔ´Ï´Ù. ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¶Ù¾î³­ ´ÙÃà ¼º´ÉÀ» À§ÇØ ANT95ºÎ·ù¿¡¼­ ´Ù¸¥ ½ºÅ×ÀÌÁö¿Í ±ÕÀÏÇÏ°Ô ÅëÇյǵµ·Ï ¼³°èµÇ¾ú°í, µÎ ±ÞÀÇ Á¤È®¼ºÀ» Á¦°ø¹Þ½À´Ï´Ù.

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1 nm step plot for ANT95-3-V



2 nm step plot for ANT130-5-V

Max Travel
3 mm
Accuracy ?2 ?m
Speed
75 mm/s
Load
1.5 kg
Max Travel
5 mm
Accuracy ?200 nm
Speed
75 mm/s
Load
3.0 kg

¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
200/19,034