초정밀 모션의 다이렉트-드라이브 리니어 모터
고정확성, 비접촉 리니어 엔코더
작은 점유면에서의 탁월한 성능 | |
| ALS135는 낮은 형상과 탁월한 성능특성으로서, 고정확도의 정열과 검사스테이션용으로 완벽한 해결책입니다.
리니어 모터 구동
측면구동 리드 스크류를 사용하는 많은 스테이지와 달리, ALS135는 구동요소로서 중앙구동, 無코깅 리니어 모터를 채용합니다. 리니어 모터는 다이렉트-드라이브 장치이기 때문에 리드 스크류 또는 볼-스크류 구동과 통상 관련된 백레쉬, 감김(windup), 접착이 전혀 없습니다.
또한 리니어 모터 구동은 더 빠른 속도와 가속도의 장점을 제공합니다. 콤팩트한 강력한 리니어 모터는 ALS135를 최대 초당 300mm의 속도와 무하중시 1g 가속도까지 구동합니다. 결과는 상대적으로 높은 정확도이 스크류 구동 스테이지의 성능을 훨씬 초과하는 탁월한 산출량을 내는 고정확성 장치입니다.
탁월한 분해능
정열 관련 적용분야에서, 우수한 단계별 분해능은 결정적으로 중요합니다. ALS135는 MXH 시리즈 승수박스와 장착시 20nm의 분해능 수요를 맞춰줍니다. 다이렉트-드라이브 리니어 모터는 ALS135의 정밀하고 작은 분해능 단계를 만들어 줍니다. 이것은 단계별 정확도가 결정적인 정열 적용분야에 특히 중요합니다.
우수한 형상
에어로텍의 초-견고한 구축과 콤팩트한 2조각 디자인은 비길데 없는 외부형상 여유치를 가진 스테이지를 만들어 낸다. 그리하여, 표준 스테이지의 직진성과 평탄성이 전체 이동에 걸쳐 ± 2 μm이내입니다. 선택사양의 HALSF 영점조정은 이것을 ±1 μm까지 향상시킵니다. 전체적으로 시스템을 대폭 개선하여 Abbe 에러효과는 거의 제거됩니다.
부드러운 이동
부드럽고 진동이 없는 모션으로 디자인되어 ALS135는 스케닝과 검사응용분야에 요구되는 탁월한 無 ripple 모션을 시현해 줍니다.
장수명 디자인
에어로텍 제품군의 모든 스테이지와 동일하게, ALS135는 탁월한 장기간의 성능을 위해 디자인되었습니다. 리니어 모터와 리니어 엔코더가 모두 비접촉 장치이며, 이것들은 장수명을 시현할 뿐만 아니라, 정비가 전혀 필요없습니다. 움직이는 자석 궤도 디자인은 장기간의 신뢰성을 추가로 개선하여, 배선관리의 필요성을 제거합니다
정밀 정열
ALS135 시리즈 스테이지는 XY 조립으로서 쉽게 조합됩니다. 옵션으로 5 arc초까지의 정밀 직교정열과 수직 축 솔루션이 가능합니다.
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ALS135
