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● 통합된, 저형상의, Clear Aperture가 있는 XY 리니어 모터
스테이지
● 뛰어난 기하학적 성능 (진직도 ±0.5 μm, 평탄도 ±1.25 μm)
● 고가속 응용분야에 최적화됨
● 2 m/s의 속도와 2g의 가속
● 통합된 케이블 관리
● 이송 거리와 정확도에 따른 아홉 가지 다양한 모델
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에어로텍의 PlanarDLA 시리즈 스테이지는 소형 및 낮은 형상의 패키지에서 Clear Aperture, 고가속, 그리고 뛰어난 기하학적 성능을 제공합니다. 이 스테이지들은 고가속과 마이크로 단위의 진직도를 요구하는 양면 LED 웨이퍼 가공부터 고가속과 정밀한 기하학적 성능을 필요로 하는 준정적 광계측까지 다양한 응용분야에 필수적입니다. 응용분야에 상관 없이, PlanarDLA는 설정 가능한 옵션 모음을 통해 응용분야의 다양한 요구사항을 충족시키도록 설계되어 있습니다.
초정밀 스테이지 설계
PlanarDLA XY 설계는 모션의 진직도와 평탄도가 핵심인 응용분야를 위해 비교불가능한 평면 기하학적 성능을 제공합니다. 고정밀 롤러 베어링, 정밀하게 제작된 표면, 그리고 축 중심의 강성에 의해 움직이는 비접촉 직접구동 리니어 모터는 뛰어난 기하학적공차를 가진 위치결정 스테이지를 만들어 냅니다.(진직도 ±0.5 μm, 평탄도 ±1.25 μm).
PlanarDLA 구조요소는 가장 까다로운 동적 응용분야를 위한 고가속과 고강성에 최적화되어있습니다. 구조의 동적 강성을 향상시키기 위한 꼼꼼한 설계 작업 및 효과적으로 배치된 댐핑 처리 장치를 사용함으로써, PlanarDLA는 사용 가능한 Clear Aperture를 최대화하고 전체 높이의 최소화를 유지하는 동시에 높은 서보 대역폭을 달성할 수 있습니다. 2 m/s의 속도와 2g의 가속을 달성할 수 있는 PlanarDLA는 높은 처리량, 고정도 작업을 할 수있어 우수한 작업 생산과 낮은 소유 총비용을 만들어 냅니다.
비접촉 직접 구동 기술
오직 비접촉, 직접 구동 기술만이 높은 속도와 정비가 필요 없는 정확한 위치결정, 그리고 긴 제품수명을 제공합니다. PlanarDLA의 핵심은 에어로텍 전매특허의 직접 구동 기술입니다. 이 구동 기술은 다른 스크류 기반 및 리니어 모터 설계의 경쟁 제품과는 비교할 수 없는 성능을 구현합니다.
모든 PlanarDLA 스테이지들은 특정한 작업과 응용분야를 위해 개별적인 축의 최적화를 가능하게 해 주는 모터를 축 당 하나 또는 두개씩 사용할 수 있습니다. 만약 높은 처리량 및 정확한 위치결정 성능이 필요하지 않는 경우에는 더 경제적인 선택을 할 수 있도록 축 당 한 개의 모터만을 제공하는 반면,
두 개의 모터로 얻어진 구동력은 마찰과 강성의 중심으로 작용하여, 우수한 기하학적 성능과 정확도를 만들어 냅니다.
다양한 케이블 관리 옵션
PlanarDLA의 표준 케이블 관리 시스템은 스테이지에 통합되어 있으며, 긴 제품수명과 성능에 최적화 되어 있습니다. 몇 가지 표준 옵션들은 추가적인 서보 축, 진공 척을 위한 공기/진공 라인 또는 공압 작업에 적용 가능합니다.
고도의 위치결정 성능
PlanarDLA는 세 가지 위치결정 성능 옵션을 사용할 수 있습니다. 위치결정 방법 뿐만 아니라 소프트웨어와 전자공학까지 포함하는 시스템 수준 설계에서 쌓은 수십년간의 경험으로써, 에어로텍은 정밀의 한계를 초월하기 위해 진보된 기술을 발전시켜 왔습니다. 고성능의 -PLUS와 -ULTRA 옵션들은 정확도와 진직도는 ±500 nm 아래로, 직교성은 5 μrad 아래로 사용할 수 있게 합니다. |
PlanarDLA
