에어베어링 스캔 축 : 기계베어링 스텝 축
이중 리니어 모터 구동 스텝 축
이동거리 : 1.2M x 1.2M
Linear 엔코더 또는 레이저 간섭계(interferometer)에 의한 피드백 |
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| ABL/ABL9000은 간단히 말해 세계 최고성능의 Air Bearing입니다. 웨이퍼, FPD, 그리고 光 검사와 제작 등 정확성을 요구하는 수요에 대응하고자 설계된 ABL/ABL9000은 성능의 새로운 표준을 세웠습니다.
Air Bearing 디자인
ABL/ABL9000은 수직 및 수평면 모두에 능동형 예압을 걸어줍니다. 대립하는 박막의 압력은 베어링의 미세한 간극을 허용치로 유지시킵니다. 넓은 표면적에 부하를 분산시키는 에어 베어링(Air Bearing)의 넓은 표면과 함께, 이러한 디자인은 무거운 또는 급격한 부하에 이상적인 우수한 견고성을 보여줍니다.
독자적인 제조기술로 탁월한 기하학적 특성들을 가진 에어 베어링(Air Bearing)을 만들고 있습니다. 에어 베어링(Air Bearing)은 성과를 극대화하는 고유의 평균효과를 갖습니다. 박막 필름은 작은 표면의 틈과 다른 불규칙적인 것들을 채워 우수한 피치(pitch), 롤(roll), 요잉(yaw), 그리고 직선도와 평편도 사양을 만들어 줍니다.
Linear 모터 드라이브
이 stage의 배경에는 에어로텍의 BLMC 시리즈 Brushless Linear Servo Motor가 있습니다. 모터 제조사로서 에어로텍의 긴 역사와 경험이 이 디자인에 반영되어 있습니다. BLMC는 Ironless Forcer를 사용하는데 Zero cogging과 無-인력(no attractive forces)으로 인해 비할 데 없이 원활한 모션을 보여줍니다. 높은 강도와 속도를 낼 수 있어, BLMC는 파워와 성능의 최고의 조합이라고 불리어집니다.
Zero Maintenance
우리의 완벽한 비접촉식 에어베어링(Air Bearing), 비접촉식 리니어 모터 드라이브, 그리고 비접촉 피드백 장비는 에어로텍 장비에서 기대되는 높은 성능수준 하에서 다년간의 유지보수가 필요 없습니다. 이동요소 간 기계적인 접촉이 전혀 없기 때문에, ABL1500은 시간이 지남에 따른 성능 감소나 마모가 발생하지 않습니다. 서비스 기간은 사실 무한정이고 윤활주유가 없기 때문에(오직 청정한 드라이 가스만 사용합니다) 에어 베어링(Air Bearing)은 크린룸과 의료분야에 이상적으로 적용됩니다.
배선 관리
다년간의 Maintenance Free를 보장하기 위해 배선 곡률반경을 신중을 기하여 최적화하였습니다. 만의 하나 문제가 발생한 경우, 가동중단 시간을 최소화하기 위해 배선교체가 신속 용이하도록 모듈 디자인이 되어 있습니다. 최종 시스템에 결합이 용이하도록 우리의 CMS(배선관리시스템)에 고객이 필요로 하는 모든 배선, 공기 호스, 등을 포함시켰습니다. 양쪽 끝 단은 고객 기계에 간단히 부착이 되도록 완전히 커넥터 처리되어 있습니다. |
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ABL9000
