● 이송거리 100mm의 소형 75mm 폭
● 정밀 연삭 볼 스크류 구동
● DC 서보 또는 스테핑 모터
● 안티크립 크로스 롤러 베어링
● 고분해능 (0.1 um), 반복도 (0.75 um), 정확도 (1.0 um)
● 고진공 호환 가능
● 벨로우즈 커버 옵션 가능
● 소형의 다축 구성
MPS75SL은 생산환경에서 높은 신뢰도를 제공함과 동시에 실험실의 제한에도 완벽히 역할을 수행할 수 있는, 소형의 고성능 리니어 위치치결정 스테이지입니다. 이 제품은 측정, 테스트, 정확한 정렬 및 부품 조립을 위한 이상적인 선택입니다.
높은 정확도
정밀 연삭 볼 스크류는 우수한 정확도, 반복도 그리고 0.1미크론까지의 초미세 위치결정 분해능을 제공합니다. DC 서보모터는 로터리 엔코더와 장착됩니다. 안티크립 크로스 롤러 리니어 베어링은 부드러운 이동과 훌륭한 하중 특성을 제공합니다.
선택적인 진공 준비
MPS75SL은 10-6 torr까지 선택적인 진공 준비가 가능합니다. 반도체 제조 및 검사, 광학 제조 및 군사/우주 항공과 같은 시장에서 오늘날의 까다로운 진공 응용분야에 대한 완벽한 소형 스테이지 선택입니다.
고도의 구성 변경 가능
옵션인 브레드보드 장착 플레이트는 인치단위계와 미터단위계 브레드보드에 직접 장착할 수 있는 기능을 제공합니다. 벨로우즈 커버는 먼지가 많은 환경에서도 사용 가능하며, 어떤 모델이든 오른쪽 각 L-브래킷으로 XY구성과 XYZ구성에 장착될 수 있습니다. 또한, 더 작은 MPS50SL스테이지에도 장착될 수 있습니다.
MPS75SL은 리니어, 로터리, 고니어미터, 수직 리프트, Z스테이지의 MPS(Miniature Positioning Stage)류의 구성원입니다. 표준화된 장착 패턴 및 어뎁터 플레이트를 사용한 많은 조합에서 두 개 또는 그 이상의 스테이지는 쉽게 함께 장착될 수 있습니다. |
MPS75SL
