MPS75SL
Ư¡ | »ç¾ç | ¿ÜÇüµµ | Ç°¸íº¸´Â ¹ý


 

 

¡Ü À̼۰Ÿ® 100mmÀÇ ¼ÒÇü 75mm Æø

¡Ü Á¤¹Ð ¿¬»è º¼ ½ºÅ©·ù ±¸µ¿

¡Ü DC ¼­º¸ ¶Ç´Â ½ºÅ×ÇÎ ¸ðÅÍ

¡Ü ¾ÈƼũ¸³ Å©·Î½º ·Ñ·¯ º£¾î¸µ

¡Ü °íºÐÇØ´É (0.1 um), ¹Ýº¹µµ (0.75 um), Á¤È®µµ (1.0 um)

¡Ü °íÁø°ø ȣȯ °¡´É

¡Ü º§·Î¿ìÁî Ä¿¹ö ¿É¼Ç °¡´É 

¡Ü ¼ÒÇüÀÇ ´ÙÃà ±¸¼º

 

MPS75SLÀº »ý»êȯ°æ¿¡¼­ ³ôÀº ½Å·Úµµ¸¦ Á¦°øÇÔ°ú µ¿½Ã¿¡ ½ÇÇè½ÇÀÇ Á¦ÇÑ¿¡µµ ¿Ïº®È÷ ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÒ ¼ö ÀÖ´Â, ¼ÒÇüÀÇ °í¼º´É ¸®´Ï¾î À§Ä¡Ä¡°áÁ¤ ½ºÅ×ÀÌÁöÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ Á¦Ç°Àº ÃøÁ¤, Å×½ºÆ®, Á¤È®ÇÑ Á¤·Ä ¹× ºÎÇ° Á¶¸³À» À§ÇÑ ÀÌ»óÀûÀÎ ¼±ÅÃÀÔ´Ï´Ù.

 

 

³ôÀº Á¤È®µµ

Á¤¹Ð ¿¬»è º¼ ½ºÅ©·ù´Â ¿ì¼öÇÑ Á¤È®µµ, ¹Ýº¹µµ ±×¸®°í 0.1¹ÌÅ©·Ð±îÁöÀÇ Ãʹ̼¼ À§Ä¡°áÁ¤ ºÐÇØ´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. DC ¼­º¸¸ðÅÍ´Â ·ÎÅ͸® ¿£ÄÚ´õ¿Í ÀåÂøµË´Ï´Ù. ¾ÈƼũ¸³ Å©·Î½º ·Ñ·¯ ¸®´Ï¾î º£¾î¸µÀº ºÎµå·¯¿î À̵¿°ú ÈǸ¢ÇÑ ÇÏÁß Æ¯¼ºÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.

 


¼±ÅÃÀûÀÎ Áø°ø Áغñ

MPS75SLÀº 10-6 torr±îÁö ¼±ÅÃÀûÀÎ Áø°ø Áغñ°¡ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ¹× °Ë»ç, ±¤ÇÐ Á¦Á¶ ¹× ±º»ç/¿ìÁÖ Ç×°ø°ú °°Àº ½ÃÀå¿¡¼­ ¿À´Ã³¯ÀÇ ±î´Ù·Î¿î Áø°ø ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ´ëÇÑ ¿Ïº®ÇÑ ¼ÒÇü ½ºÅ×ÀÌÁö ¼±ÅÃÀÔ´Ï´Ù.

 


°íµµÀÇ ±¸¼º º¯°æ °¡´É

¿É¼ÇÀÎ ºê·¹µåº¸µå ÀåÂø Ç÷¹ÀÌÆ®´Â ÀÎÄ¡´ÜÀ§°è¿Í ¹ÌÅÍ´ÜÀ§°è ºê·¹µåº¸µå¿¡ Á÷Á¢ ÀåÂøÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. º§·Î¿ìÁî Ä¿¹ö´Â ¸ÕÁö°¡ ¸¹Àº ȯ°æ¿¡¼­µµ »ç¿ë °¡´ÉÇϸç, ¾î¶² ¸ðµ¨ÀÌµç ¿À¸¥ÂÊ °¢ L-ºê·¡Å¶À¸·Î XY±¸¼º°ú XYZ±¸¼º¿¡ ÀåÂøµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ´õ ÀÛÀº MPS50SL½ºÅ×ÀÌÁö¿¡µµ ÀåÂøµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

 

MPS75SLÀº ¸®´Ï¾î, ·ÎÅ͸®, °í´Ï¾î¹ÌÅÍ, ¼öÁ÷ ¸®ÇÁÆ®, Z½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ MPS(Miniature Positioning Stage)·ùÀÇ ±¸¼º¿øÀÔ´Ï´Ù. Ç¥ÁØÈ­µÈ ÀåÂø ÆÐÅÏ ¹× ¾îµªÅÍ Ç÷¹ÀÌÆ®¸¦ »ç¿ëÇÑ ¸¹Àº Á¶ÇÕ¿¡¼­ µÎ °³ ¶Ç´Â ±× ÀÌ»óÀÇ ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ½±°Ô ÇÔ²² ÀåÂøµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.


¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
56/92,920