내장된 벨로우즈는 오염물질로부터 드라이브와 베어링 시스템을 보호
고성능 스캐닝 및 검사를 위한 설계
모든 에어베어링 표면 상에 공압에 의한 예압 하중 적용
나노미터 수준의 분해능을 제공하는 리니어 엔코더 피드백
중량물 적재를 위한 고강성과 뛰어난 기하학적 성능
최대 500 mm의 이송거리 | |
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첨단 기술 산업, 특히 반도체, 고성능 검사 및 측정 분야에서 기존의 볼 스크류와 기계 베어링 위치결정 시스템 성능을 넘어서는 위치결정 허용오차를 요구합니다. 완벽히 능동적인 예압, 뛰어난 고강도 및 우수한 기하학적 특징을 가진 ABL1500-B은 그런 요구들을 만족시키기 위해 특별히 설계되었습니다.
높은 동적인 성능을 위한 에어베어링 설계
ABL1500-B는 수직 및 수평 표면 양쪽에서 Air-on-air 예압을 통합시킵니다. 서로 다른 박막 필름 압력은 약간의 베어링 공간 허용오차를 유지합니다. 이 설계는 넓은 표면 면적 전반에 하중을 분포시키는 큰 에어베어링 표면에 더하여, 무겁거나 Offset 이 있는 하중을 위해 이상적인 우수한 강도의 결과를 가져옵니다.
에어로텍의 소유의 제조 기술은 탁월한 기하학적 특성을 가진 스테이지를 만들며, 우수한 피치, Roll, Yaw, 직진도 및 평탄도 사양을 산출하여 성능을 극대화 합니다.
리니어 모터 구동
이 스테이지 이면에 있는 구동력은 에어로텍의 BLMC 시리즈 브러시리스 리니어 서보 모터입니다. 코깅과 인력이 없는 BLMC는 Ironless Forcer를 이용해 타의 추종을 불허하는 모션의 부드러움을 가져옵니다.
유지보수 필요 없음
우리의 완전한 비접촉 에어베어링, 비접촉 리니어 모터 구동 및 비접촉 피드백 장치는 에어로텍 장비에 기대하는 고성능 수준에서 수년간의 유지보수가 필요 없는 구동을 보장합니다. 움직이는 요소들 사이에 기계적 접촉이 없기 때문에, ABL1500WB는 시간이 흘러도 마모 또는 성능 감소가 없음을 경험하게 합니다. 사용기간은 청정, 건조 가스만을 사용해 주유가 필요 없으므로, 사용기간은 실질적으로 무한대인 에어베어링은 Clean Room과 의학 응용분야에 이상적입니다.
케이블 관리
우리는 수년간의 유지보수가 필요 없는 구동을 보장하기 위해 신중히 케이블 굴곡 반경을 최적화합니다. 만일 실패할 경우에는, 에어로텍의 모듈식의 설계가 최소의 고장시간으로 케이블 교체를 빠르고 쉽게 만듭니다. 우리는 최종 시스템으로의 집적을 가능하게 하기 위해, 모든 고객들이 필요로 하는 케이블, 에어 호스 등을 우리의 CMS Bundle에 포함시킵니다. 양 끝은 고객의 기계로의 간단한 집적을 위해 완벽히 커넥터화됩니다.
내장된 벨로우즈
ABL 1500-B는 고도의 환경 보호를 제공하기 위해 내장된 벨로우즈 시스템을 사용합니다. 이 시스템은 연마된 찌꺼기처럼 프로세스 중 생성된 오염물질로부터 에어베어링과 드라이브 시스템을 보호합니다. 또한 설계는 스테이지의 기하학적 성능에 대한 벨로우즈의 영향을 최소화 하도록 최적화 되었습니다.
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ABL1500-B
