재료 선택 표면 조정 가상 누설의 배제 윤활제 선택 청소 진공 베이킹 핸들링 온도 관리 자기장 제어
Aerotech 진공의 장점
에어로텍의 광범위한 응용 경험, 비교불가한 제품 범위, 풍부한 엔지니어링 기능은 진공 대응 모션 시스템의 최적의 파트너입니다. 창업 이래 에어로텍은 최고 성능의 모션 제어와 위치 결정 시스템을 설계 · 제조하여 제공하고 왔습니다. 진공 대응 플랫폼도 예외는 아닙니다. 에어로텍은 30년에 걸쳐 표준 및 사용자 정의 진공 시스템의 구축해왔습니다. 당사의 진공 적용 실적은 군사/항공 우주, 연구, 반도체 및 재료 가공을 포함합니다. 일반적인 용도 :
- EUV 리소그래피 - 스캐닝 전자 현미경 (SEM) - 이온빔 프로파일 분석 - 증착 - 위성 구성 요소 시험
- 투과 전자 현미경 (TEM)
- 이온 주입 - 광학 연마 - 과학 연구 - X선 단층 촬영
Aerotech : 진공 모션 플랫폼 파트너로 선정되는 기업
진공 공학의 전문성
당사의 풍부한 테스트 능력에 따라 납품 전에 모션 시스템의 완전한 품질을 제공합니다. 고도로 통합된 모션 시스템 공급 업체로서, 모션 시스템을 완벽하게 최적화 할 수 있습니다. 높은 동적 시스템을 위해, 열적 모델링과 실무 경험을 바탕으로 활성 냉각 옵션을 몇 가지 준비하고 있습니다.
자기장의 영향을 받기 쉬운 분야에는, 자기장 차폐 및 봉쇄 방법에 대한 에어로텍의 광범위한 경험이 유용합니다. 전문성을 갖고 최선을 다하는 엔지니어링 직원의 전문성은 모든 주요 모션 기술 영역에 이릅니다 :
- 정밀 기계 설계 - 진동 및 제어 - 자기 회로 설계 - 전력 공학 설계 - 서보 시스템 - 소프트웨어 개발
진공 제조 시설
에어로텍은 UHV 시스템의 구축에 이상적인 제어 환경인 ISO 클래스 6의 클린룸을 포함한 대규모 생산 시설이 있습니다. 당사의 기계 제품은 진공 해당 구성 요소의 생산에 충분히 적합합니다. 또한 진공 실험실, 전체 현장 부품 크리닝 시설, 그리고 조립 및 시험에 충분히 숙련된 직원들이 있습니다.
진공 스테이지 설계 요소
에어로텍의 광범위한 표준 스테이지 제품은 진공 지원 버전에서 사용할 수 있습니다. 표준 플랫폼 이외에 특정 분야의 요구에 맞춰 설계되는 사용자 정의 시스템도 이용가능합니다. 에어로텍의 모든 진공 대응 모션 플랫폼은 펌프의 다운 타임, 공간의 오염, 온도 관리의 문제를 최소화합니다. 또한 이러한 시스템은 자기장의 감소 등 응용분야에서의 주요 고려 사항을 통합 할 수 있습니다.
에어로텍의 전문분야 :
- 재료 선택 - 표면 조정 - 가상 누설의 배제 - 윤활제 선택 - 청소
- 진공 베이킹 - 처리 - 온도 관리 - 자기장 제어 - 패키지
에어로텍에서 사용할 수 있는 진공 옵션
Level
Torr
mBar
kPa
Low Vacuum (VAC3)
1.0 x 10-3
1.3 x 10-3
1.3 x 10-4
High Vacuum (VAC6)
1.0 x 10-6
1.3 x 10-6
1.3 x 10-7
Ultra-High Vacuum (UHV)
≤1.0 x 10-7
≤1.3 x 10-7
≤1.3 x 10-8
재료 선택
사용할 수 있는 재료는 진공 레벨, 응용분야, 작동 온도 등에 따라 다르기 때문에, 에어로텍은 질량 손실 비율(TML)과 재 응축 질량 비율(CVCM)을 제어하는 다양한 옵션을 제공하고 있습니다.
- 윤활제 : 진공 수준과 고객의 공정에 따라 낮은 증기 압력 윤활제를 선택합니다. - 케이블 관리 시스템 (CMS) : CMS를 구축하는 재료는 일반적으로 테프론(R) 절연 와이어 (MIL-C-27500) 또는 Kapton과 PEEK™ 등 다양한 재질의 특수 전기 커넥터를 함께 활용합니다. 각종 연결장치 옵션도 사용할 수 있습니다. - 표면 마무리 : 표면 마무리는 무피복 알루미늄, 무전해 니켈, 스테인레스 스틸, 진공 대응 페인트 (Aeroglaze Z306) 등의 옵션이 있습니다. - 하드웨어 : 시스템에서는 모든 막힌 홀에 스루홀 또는 배기 스테인레스 지퍼가 사용됩니다.
에어로텍은 항상 고객과 긴밀하게 협력하여 시스템이 가스 방출의 요구 사항을 충족하거나 그 이상의 성능을 내도록하고 있습니다.
설계 부품
이동량 1m의 사용자 정의 고진공 리니어 액츄에이터
온도 관리
온도 관리는 모터와 베어링의 진공의 열 제거에 대류를 사용할 수 없으르모, 진공 시스템의 핵심 기술입니다. 온도 관리를하지 않으면 공기 중에서 작동되는 동일한 시스템과 비교하여 스테이지의 성능은 낮고 수명이 단축 될 수 있습니다. 따라서 에어로텍는 열 분리 방법과 수동적 · 능동적 냉각 기술의 개발에 상당한 노력을 기울여 왔습니다. 이렇게 냉각 전도 및 방사 모드를 극대화하고, 공간 내 열원의 영향을 감소 또는 제거하는 데 도움이 되는 기술로 개발이 가능합니다.
서보 모터
리니어 / 로터리 서보모터는 주요 열원이기 때문에 진공 시스템의 운용에서 특히 중요합니다. 따라서 에어로텍은 진공에서의 모터 관련 문제를 특수하게 다루는 모터를 설계 / 제조하고 있습니다. 특수 재질에서 자기 회로 설계까지, 에어로텍 서보 모터는 최소한의 가스 방출, 단위 부피당 높은 출력 / 토크, 그리고 긴 수명을 위해 최적화되어 있습니다.
진공
온도 관리
