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고가속과 초정밀 모션 성능을 위해 진보된 탄화규소 구조
1.5 m/s의 속도와 5g의 가속도
빠른 점검, 이동 및 정착 시간을 가능하게 하는 전매특허의 반응물 설계
능동 및 수동 방진 시스템 옵션
엔코더 또는 레이저 간섭계 피드백
향상된 열관리 시스템을 탑재한 리니어 모터
생산성을 높여주는 진보된 제어 솔루션 |
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반도체 생산과 같이 첨단기술 영역에서 초정밀 위치결정 시스템을 공급하는 에어로텍의 긴 역사는 핵심 모션 기술의 개발과 향상을 계속할 수 있도록 만들어 왔습니다. 이러한 기술들을 쌓아 올림으로써, 에어로텍은 가장 진보되고 상업적으로 이용 가능한 평면 에어 베어링 플랫폼인 PlanarHDX를 개발해냈습니다.FEA 최적화 탄화규소 구조와 에어 베어링에 최적화 된 보상기술을 사용하여 설계함으로써, PlanarHDX는 비교 불가능한 기하학적 특성과 위치결정 정밀도를 유지하면서도 가능한 한 최대의 가속 성능을 제공합니다.
초정밀 설계
PlanarHDX의 구조적 요소는 알루미늄 보다 5배 더 강한 비강성(탄성률/밀도)을 지니고 열팽창 계수는 약 5배 낮은, 진보된 탄화규소 세라믹을 사용하여 설계되었습니다. FEA 최적화 구조에 따른 물질은 동적인 추적과 기하학적 성능 또는 내열성의 손실 없이도 고 처리 모션(최대 20kg까지의 유효하중에 1.5 m/s 스캔 속도와 5g의 최고 가속)을 가능하게 합니다.
에어 베어링과 정밀 모션 시스템 설계에 대한 50여 년의 경험으로써, 에어로텍은 고가속 응용분야에서의 요구를 위해 강성과 적재용량을 늘린 새로운 에어 베어링 보상 전략을 개발했습니다. 증명된 air-on-air 예비하중을 중요한 베어링 요소로 사용함으로써 진공 장착형 설계 방식을 뛰어넘고 점검과 정착 시간을 향상시킵니다.
전매특허의 반응물 설계는 사용자의 구조물(광학, 센서 등) 또는 방진 시스템으로 전달되는 스텝 축에서의 스테이지 유도력을 극적으로 감소시켰습니다. 이러한 동력을 최소화함으로써 이동 및 고정 시간이 줄어들고 작업량이 늘어납니다.
응용분야의 요구사항에 따라, PlanarHDX는 능동 또는 수동 방진 시스템을 사용할 수 있습니다. 고객맞춤형 웨이퍼 load/unload 기계와 웨이퍼 척은 물론이고 Z-tip-tilt 또는 Z-theta 설계와 같이 추가적인 축도 사용 가능 합니다. 복합적인 화강암 하부구조인 기계적 웰드먼트 또는 분리막이 함께 제공될 수 있습니다.
고정도 피드백
기본 제공으로, PlanarHDX는 축 마다 저팽창 유리 스케일을 사용할 수 있습니다. 스케일과 판독헤드 위치는 아베 오차를 줄이고 열 유도 오차를 줄이기 위해 선택됩니다. 최고 수준의 정확도를 요구하는 응용분야를 위해, 에어로텍은 웨이퍼 척 또는 가공물 유지 장치와 결합된 작업지점에 위치한 거울과 함께 레이저 간섭계 피드백을 제공할 수 있습니다. 엔코더와 간섭계 피드백 시스템 모두에서, 가공물과 고정수단은 열 유도 정도 오차를 최소화하는 동시에 고가속 작동을 제공하기 위해 최적화 됩니다.
비접촉 직접 구동 기술
PlanarHDX의 핵심은 아주 매끄러운 모션을 위해 철이 없는 포서 설계를 채택한 에어로텍의 BLM과 BLMH 리니어 모터입니다. 뛰어난 수직적, 수평적 진직도를 제공하고 각도 오차를 최소화하기 위해 스텝과 스캔 축 모두 질량 중심에 가깝께 움직이는 다수의 모터를 사용합니다. 모터들은 열적 분리가 되어 있으며, 긴 작동주기 응용분야를 위해서 모터 가열에 의해 유발될 수 있는 열적 오차를 최소화하기 위해 물로 식힐 수 있습니다.
진보된 메카트로닉 해결책
에어로텍은 기계적인 요소 뿐만 아니라 위치결정 시스템의 전기전자 및 제어 요소를 생산합니다. 이를 통해 핵심적인 드라이브와 소프트웨어 제어 기능들은 기계와 빈틈없이 결합되며, 원스탑 솔루션 뿐만 아니라 타의 추종을 불허하는 성능으로 완벽한 기계적 해결을 가능하게 합니다. 지향성 게인 스케줄링, 반복 학습 제어, 고조파 제거와 같은 수많은 진보된 제어 기능들은 에어로텍 제어기 및 기계와 함께 특정 응용분야에서 사용하기 위한 개발의 결과입니다.
에어로텍의 ETM (Enhanced Throughput Module) 옵션은 Machine base에서의 원치 않는 모션의 직접 측정과 컨트롤러로 되돌아오는 통신을 사용하여 PlanarHDX와 같은 고가속 모션 시스템의 위치결정 성능을 향상시키는 것을 도와줍니다. Dynamic Controls Toolbox 및 에어로텍 컨트롤러와 협력함으로써, ETM은 이동 및 고정 시간과 윤곽 성능을 눈에 띄게 향상시키고, 기존 및 새 기계의 처리량 증가를 이루며, 서보 시스템에서의 프레임 모션 효과를 크게 줄입니다. |
PlanarHDX
