40³â ÀÌ»óÀÇ ¸ð¼Ç Çõ½Å
¿¡¾î·ÎÅØÀº 40³â ÀÌ»ó ÃÖ÷´Ü ±â¼ú°ú Çõ½ÅÀûÀÎ ½Ã½ºÅÛÀ» ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â ±â¾÷À̳ª Á¶Á÷À» À§ÇØ Á¤¹ÐÇÑ °í¼º´É ´ÜÃà / ´ÙÃà ¸ð¼Ç ½Ã¹Ä·¹ÀÌÅÍ, ¸®´Ï¾î / ·ÎÅ͸® À§Ä¡°áÁ¤ ½Ã½ºÅÛ, ÷´Ü ÄÁÆ®·Ñ·¯¿Í µå¶óÀ̺긦 Á¦Á¶ÇÏ¿© ¿Ô½À´Ï´Ù. ´ç»çÀÇ ±â¼úÀº ´ÜÀÏ Ãà / ´ÙÃà ¿¡¾îº£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö, ±â°èº£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö, ±×¸®°í ¶Ù¾î³ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î ¾ÆÅ°ÅØó¸¦ Áö¿øÇÏ´Â ³×Æ®¿öÅ© ¿¬°áÀÇ °í±Þ ¸®´Ï¾î / PWM µå¶óÀÌºê ½Ã½ºÅÛ µîÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ´ç»çÀÇ °í¼º´É ½Ã½ºÅÛÀº Àå±â°£ »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀ» ¿°µÎÇØ ¼³°èµÇ¾î À¯Áö º¸¼ö°¡ °ÅÀÇ ÇÊ¿ä¾ø°í, °¡Àå ³·Àº ¼ÒÀ¯ ºñ¿ëÀ» ½ÇÇöÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
Ç¥ÁØÇ°°ú ¸ÂÃãÁ¦ÀÛ - ¸Ã°ÜÁÖ¼¼¿ä
´ç»çÀÇ Á¤¹Ð ½Ã½ºÅÛ ¼Ö·ç¼ÇÀÇ ´ëºÎºÐÀº Áø°ø(10-6torr)°ú Ŭ¸°·ë ȯ°æ¿¡ ´ëÀÀÇÕ´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ÀåÄ¡´Â Àü±â ±¤ÇÐ ½Ã½ºÅÛÀÇ ½ÃÇè, ·¹ÀÌÀú °¡°ø, Àç·á ½ÃÇè ¡¤ Á¦Á¶, ´ë»ó ÃßÀû, À§¼º ¼¾¼ÀÇ ±³Á¤ ¹× °ËÁõ, ½ºÄ³´×, ±¤ÇÐ Æ÷ÀÎÆÃ, ¹Ýº¹µµ, Ç°Áú °ü¸®¸¦ À§ÇÑ ¶óÀÌÇÁ »çÀÌŬ Å×½ºÆ® µî¿¡ È°¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. °¡´ÉÇϸé Ç¥ÁØ Á¦Ç°À» »ç¿ëÇÒ ¼öµµ ÀÖÁö¸¸, ÀûÀº °³¹ß ½Ã°£À¸·Î Á¦Ç°À» ¸ÂÃã Á¦ÀÛ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
°í°´ÀÇ ¿ä±¸¿¡ ¸ÂÃá ´ÜÃà / ´ÙÃà ¸ð¼Ç ½Ã¹Ä·¹ÀÌÅÍ
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ´ÜÃà ¸ð¼Ç ½Ã¹Ä·¹ÀÌÅÍ´Â MEMS, ÀÚÀÌ·Î ½ºÄÚÇÁ, °¡¼Óµµ°è ¹× °ü¼º À¯µµ ±¸¼º ¿ä¼Ò, ½Ã½ºÅÛÀÇ Å×½ºÆ®¿¡ ÃÖÀûÀÔ´Ï´Ù. ´ÙÃà ¸ð¼Ç ½Ã¹Ä·¹ÀÌÅÍ´Â ±¤ÇÐ ÀÚÀÌ·Î ¹× MEMSÀÇ ½ÃÇè, °ü¼º À¯µµ ¹× Ÿ°Ù ÃßÀûÀ» À§ÇØ »ý»êµË´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ¸ð¼Ç ½Ã½ºÅÛÀº ´ÙÁß ºÐ±¤ ¼¾¼, °ü¼º ÀÚÀÌ·Î, ¹Ì»çÀÏ ½ÃÄ¿ ¹× MEMSÀÇ Æ¯¼º Æò°¡ ¹× Å×½ºÆ® À§ÇØ °íÁ¤¹Ð °¢µµ À§Ä¡°áÁ¤°ú ½ºÄ³´×À» ¼öÇàÇÕ´Ï´Ù. ´ç»çÀÇ Áü¹ú ´Éµ¿ / ¼öµ¿ ¼¾¼¿Í ¾ÈÅ׳ª, ¸Á¿ø°æÀ» °®Ãá Æó¼â ·çÇÁ ¸ñÇ¥ ÃßÀû¿¡ »ç¿ëµË´Ï´Ù. ´ÙÃà ½Ã½ºÅÛÀº ±¸¼º ¿ä¼ÒÀÇ Ç¥¸éÀû ÃøÁ¤°ú ¼ºê ¹ÌÅ©·Ð Á¤µµÀÇ ÆäÀ̷εåÀÇ À§Ä¡ °áÁ¤¿¡ ÀÌ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀüÇüÀûÀÎ ½Ã½ºÅÛÀº À̵¿·®ÀÌ 25 mm¿¡¼ 1.5 ¹ÌÅÍ, ÃÖ´ë ÇÏÁßÀº 455kg (1000 lb)ÀÔ´Ï´Ù. ¿ÏÀüÇÑ ½Ã½ºÅÛ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÔÀ¸·Î½á, °í°´ÀÇ ÅëÇÕ¿¡ °É¸®´Â ½Ã°£, ÇÁ·Î±×·¥ À§Çè, °³¹ß ºñ¿ëÀº ÇöÀúÇÏ°Ô °¨¼ÒÇÕ´Ï´Ù.