¼³°è Ư¡
- ±¸¸Û ÀÖ´Â ³·Àº ÇÁ·ÎÆÄÀÏ ¹× ¼ÒÇü
- Á¤¹Ð ¿ú±â¾î ±¸µ¿
- DC ¼º¸ ¶Ç´Â ½ºÅ×ÆÛ ¸ðÅÍ
- ¿¬¼ÓÀûÀÎ 360µµ ·ÎÅ͸® À§Ä¡°áÁ¤
- ´«±ÝÀÖ´Â tabletop
- °íÁø°ø ¿ª·®
- ¼±ÅÃÀûÀÎ ·»Áî ¸¶¿îÆ® ¾îµªÅÍ
- ¸®´Ï¾î ¹× ´Ù¸¥ MPS ½Ã¸®Áî ½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ Á¤¹ÐÇÑ ´ÙÃà ¹è¿
MPS50GR ¹× MPS75GR ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ³·Àº ÇÁ·ÎÆÄÀÏ°ú °ø°£À» Àû°Ô Â÷ÁöÇÏ´Â °÷¿¡¼ Á¤È®ÇÑ À§Ä¡°áÁ¤ ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ±×µéÀº ½ÇÇè½ÇÀÇ ÇÑ°è¿Í ÇÊ¿äÁ¶°Ç¿¡ ¿Ïº®ÇÏ°í, Á¦Á¶È¯°æ¿¡¼ »ç¿ëÀ» Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. MPS-GR ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ±¤ÇÐ, ÃøÁ¤, Á¤·Ä, ´Ù¸¥ ±î´Ù·Î¿î ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀûÀÔ´Ï´Ù.
±¸Á¶ Ư¼º
MPS-GR ½ºÅ×ÀÌÁö´Â Á¦Ç°ÀÇ ¼ö¸í µ¿¾È ¸Å¿ì Á¤È®ÇÑ À§Ä¡°áÁ¤ ¼º´ÉÀ» À§Çؼ Á¤¹ÐÇÑ ¿ú±â¾î ±¸µ¿ ±â°èÀåÄ¡ ¹× º£¾î¸µ ºÎÇ°À» Æ÷ÇÔÇÕ´Ï´Ù. ±×µéÀº DC¼º¸ ¶Ç´Â ½ºÅ×ÇÎ ¸ðÅÍ¿Í ÀÌ¿ë °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. µÎ ½ºÅ×ÀÌÁö¿¡ ´ëÇÑ DC¼º¸¸ðÅÍ¿¡ ¹æÇüÆÄ ·ÎÅ͸® ÀÎÄÚ´õ°¡ ¼³Ä¡µÇ¾îÀÖ½À´Ï´Ù. MPS50GR Àº 20 mm ±¸¸ÛÀ» °¡Áö°í ÀÖ°í, MPS75GR Àº 30 mm ±¸¸ÛÀ» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. MPS75GRÀº ¼öµ¿ Á¶Á¤ ¼ÕÀâÀ̸¦ Æ÷ÇÔÇÕ´Ï´Ù.
Áø°ø ¹× ¸¶¿îÆà ¿É¼Ç
µÎ ½ºÅ×ÀÌÁö´Â Áø°ø·ü Ä¿³ØÅ͸¦ Æ÷ÇÔÇÏ¿© 10-6 Å丣±îÁö ¼±ÅÃÀûÀÎ Áø°ø Áغñ·Î ÀÌ¿ë °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. ¼±ÅÃÀûÀÎ ºê·¹µåº¸µå ¸¶¿îÆà Ç÷¹ÀÌÆ®´Â ¿µ¹® ¹× ¹ÌÅ͹ýÀÇ ºê·¹µåº¸µå¿¡ ´ÙÀÌ·ºÆ® ¸¶¿îÆÃÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÌ¿ë °¡´É¼ºÀº ½ºÅ×ÀÌÁö ±¸¸Û¿¡ ´ëÇÑ Ç¥ÁØ ·»ÁîÀÇ ½¬¿î ¸¶¿îÆÃÀ» À§Çؼ Á¶¸®°³ ·»Áî ¸¶¿îÆ® ¿É¼Ç(LMO)ÀÔ´Ï´Ù.
MPS50GR ¹× MPS75GRÀº ¸®´Ï¾î, ·ÎÅ͸®, °í´Ï¾î¹ÌÅÍ, ¼öÁ÷ ¸®ÇÁÆ® ½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ MPS (Miniature Positioning Stage)·ùÀÇ ±¸¼º¿øÀÔ´Ï´Ù. µÎ °³ ¶Ç´Â ´õ ¸¹Àº ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¾îµªÅÍ Ç÷¹ÀÌÆ®¿Í ºê·¡Å¶À¸·Î Ç¥ÁØÈµÈ ¸¶¿îÆà ÆÐÅÏÀ» »ç¿ëÇÏ´Â ¸¹Àº Á¶ÇÕ¿¡¼ ½±°Ô ¸¶¿îÆ® µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. |