Ȩ > Á¦Ç°¼Ò°³ > AEROTECH > ÀÀ¿ëºÐ¾ß
³ª³ë °øÇÐ

ÁÖ¿ä »ê¾÷º° Àü¹®¼º

µð½ºÅ© µå¶óÀ̺ê Á¦Á¶
¼¶À¯ Á¤·Ä
±¤ÇÐ Áö¿¬ ¿ä¼Ò ¾×Ãß¿¡À̼Ç
¼¾¼­ Å×½ºÆ®
½ºÄ³´×
¿¬±¸ °³¹ß
MEMS
Á¤ºÎ, ±³À° ±â°ü, »ê¾÷ ¿¬±¸¼Ò


°í°´ ¸ñÇ¥¸¦ ´Þ¼º

°í¼º´É ³ª³ë Æ÷Áö¼Å´× ½Ã½ºÅÛÀÇ ¸ñÇ¥ - ³ôÀº µ¿Àû ¼º´É, ³ôÀº Á¤¹Ðµµ, ³ôÀº ºÐÇØ´É, »ç¿ëÇϱ⠽¬¿î ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î -À» ´Þ¼ºÇϱâ À§ÇØ, ¿ªÇÐ, ÀÚ±âÇÐ, ÀüÀÚ °øÇÐ, ÄÄÇ»ÆÃ, µðÁöÅÐ ÄÁÆ®·Ñ ½Ã½ºÅÛ ¹× Àü±â ±â°è ½Ã½ºÅÛ °øÇÐ ºÐ¾ß¿¡¼­ 1970³âºÎÅÍ ½×¾Æ¿Â dzºÎÇÑ °æÇèÀ» È°¿ëÇÏ¿© ³ª³ë ±â¼ú »ê¾÷ÀÇ ÇöÀç¿Í ¹Ì·¡ÀÇ ¿ä±¸ »çÇ×À» ÃæÁ·ÇÏ´Â Á¦Ç°À» °³¹ßÇß½À´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ °íÀ¯ÇÑ ´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀ̺ê, ±ä À̼ÛÀÇ ³ª³ë Æ÷Áö¼Å³Ê´Â ÃÖ´ë 160 mmÀÇ À̵¿·®À» À¯ÁöÇϸ鼭µµ ³ª³ë ¹ÌÅÍ ¶Ç´Â ¼­ºê ÃÊ °¢µµÀÇ Á¤¹Ðµµ¸¦ ÇÊ¿ä·ÎÇÏ´Â ºÐ¾ß·Î ¿¬±¸¼Ò¿Í »ê¾÷ºÐ¾ß¿¡ ÀûÀýÇÕ´Ï´Ù. QNP ½Ã¸®Áî ÇÇ¿¡Á¶ ³ª³ë Æ÷Áö¼Å³Ê´Â ÃÖ´ë À̵¿·®ÀÌ 600 ¥ìmÀÇ ³ôÀº À§Ä¡ °áÁ¤ ´ë¿ªÆøÀº ¼­ºê ³ª³ë¹ÌÅÍÀÇ À§Ä¡°áÁ¤ ºÐÇØ´É°ú Á¤À§Ä¡ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.

Á¤¹ÐÇÔÀ» ´ÙÇÏ´Â

´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀÌºê ³ª³ëÆ÷Áö¼Å´× ½ºÅ×ÀÌÁö Á¦Ç°Àº ºÐÇØ´É 1 nm, Á¤¹Ðµµ ¡¾ 250 nm, À̵¿·® 25 ~ 160 mmÀÇ ´ÜÃà ¶Ç´Â 2Ãà ¸®´Ï¾î ³ª³ë Æ÷Áö¼Å³Ê°¡ ÀåÂøµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ȸÀü ³ª³ë Æ÷Áö¼Å³Ê´Â 0.01 ÃÊ °¢ ºÐÇØ´É°ú 0.005 ÃÊ °¢µµ Á¤À§Ä¡ ¾ÈÁ¤¼º, 360¡Æ ¿¬¼Ó ȸÀüÀ» ½ÇÇöÇÕ´Ï´Ù. ³ª³ë Æ÷Áö¼Å´× °í´Ï¿À¹ÌÅÍ´Â 0.05 ÃÊ °¢µµÀÇ ºÐÇØ´É°ú 20¡Æ ȸÀü °¢µµ ¹× 1ÃÊ ´ç 150 ¡ÆÀÇ ¼Óµµ¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÃÖ´ë 1 nmÀÇ ºÐÇØ´É°ú 1nm ¹Ì¸¸ÀÇ Á¤À§Ä¡ ¾ÈÁ¤¼º ¹× ÃÖ´ë 60 mmÀÇ À̵¿·®À» °¡Áø ¼öÁ÷ ¸®ÇÁÆ® ¹× ZÃà ³ª³ëÆ÷Áö¼Å´× ½ºÅ×ÀÌÁöµµ °³¹ßÇß½À´Ï´Ù.

Aerotech´Â X, XY Z Ãà ¾ÐÀü ³ª³ë Æ÷Áö¼Å³Ê¸¦ Çö¹Ì°æ °Ë»ç¿¡¼­ ±¤ÇÐ Á¤·Ä¿¡ À̸£±â±îÁö ´Ù¾çÇÑ ¿ëµµ¿¡ ÀûÇÕÇÑ Æó¼â ·çÇÁ ¶Ç´Â °³¹æ ·çÇÁ ¹öÀü¿¡¼­ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. QNP ÇÇ¿¡Á¶ ½ºÅ×ÀÌÁö´Â À¯ÇÑ ¿ä¼Ò Çؼ®À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÃÖÀûÈ­ µÈ Á¤¹ÐÇÑ ±¼°î µ¿ÀÛ¿¡ µû¶ó ¿òÁ÷ÀÌ°í, ³ôÀº °­¼º°ú ³»±¸¼ºÀ» º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù. 0.15 nmÀÇ À§Ä¡ ºÐÇØ´É ÃÖ´ë 0.007 %ÀÇ ¼±Çü¼º ¹× ÃÖ´ë 1 nmÀÇ ¹Ýº¹ Á¤¹Ðµµ¸¦ ½ÇÇöÇÏ´Â °íÀ¯ÀÇ ¿ë·® ¼¾¼­ ¼³°èÀÇ closed-loop Çǵå¹éÀ» »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù. À̵¿·®Àº closed-loop°¡ 100 ~ 500 ¥ìm, open-loop°¡ 100 ~ 600 ¥ìmÀÔ´Ï´Ù. 

¼º°ø¿¡ ´ëÇÑ ¿­Á¤

³ª³ë Æ÷Áö¼Å´× ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ÀÚü °³¹ß ÇÑ Ã·´Ü ±â¼úÀ» È°¿ëÇÏ¿© ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ Æ÷Áö¼Å´× ¼º´ÉÀ» ´Þ¼ºÇÕ´Ï´Ù. ÀÛÀº °ø°£¿¡¼­ ÀÛÀº Å©±âÀÇ Á¦Ç°Àº °íÁ¤¹Ð À§Ä¡ °áÁ¤, µð½ºÅ© µå¶óÀ̺ê Á¦Á¶, ¼¶À¯ Á¤,·Ä ±¤ÇÐ Áö¿¬ ¿ä¼Ò ¾×Ãß¿¡ÀÌÅÍ, ¼¾¼­ Å×½ºÆ®, Çö¹Ì°æ °Ë»ç ¹× °Ë»ç °úÁ¤ µî ºÎµå·´°í Á¤È®ÇÑ ¿òÁ÷ÀÓÀ» ÇÊ¿ä·ÎÇÏ´Â ¸¹Àº ºÐ¾ß¿¡¼­ ¸íÈ®ÇÑ ÇýÅÃÀ» Á¦°øÇÏ´Â ´ç»çÀÇ °íÀ¯ ±â¼úÀ» žÀçÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. Áø°ø ´ëÀÀ ¹öÀüÀÇ ½ºÅ×ÀÌÁöµµ ÀÌ¿ë°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ Àüü ÆÐÅ°Áö·Î ½ºÅ×ÀÌÁö, ÄÁÆ®·Ñ / µå¶óÀ̺ê, ±×¸®°í »ç¿ëÀÇ ¿ëÀ̼º°ú ÃÖ´ëÇÑÀÇ ±â´É¼º / È¿À²¼ºÀ» °âºñÇÑ ¶Ù¾î³­ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾îµµ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. °í°´ÀÇ ³ª³ë Æ÷Áö¼Å´×ÀÇ ºÐ¾ß°¡ ¹«¾ùÀ̵ç, ¿¡¾î·ÎÅØÀº ±×°ÍÀ» ¼º°ø½ÃÅ°´Â Áö½Ä°ú ±â¼ú, Á¦Ç°, ±×¸®°í Áö¿øÀ» Á¦°ø ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

Brochure Cover 

 

Download Nanopositioners Catalog Brochure (.pdf)


¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
56/92,920