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ABL1500Z

특징

사양

외형도

품명보는 법

스캐닝과 검사의 높은 성과를 위한 설계

모든 에어 베어링 표면에 능동형 공기 예압

리니어 엔코더 피드백은 나노미터(10-9 meter) 이하의 정밀 분해능을 제공

탁월한 기하학적 수행과 무거운 부하에 대한 높은 견고성

이동거리 최대 500mm

50에서 200mm 이동거리의 4가지 모델

필수적인 균형

ABL1500Z는 ABL1500 시리즈 에어 베어링 스테이지의 수직 변형 버전입니다. ABL1500Z는 큰 오프셋 로드 및 극도의 정확도가 요구되는 응용분야에 대해 이상적으로 알맞습니다.

반도체와 data저장산업과 같은 첨단산업의 제조에는 전통적인 Ball Screw와 기계-베어링 타입의 포지셔닝 시스템(Positioning System)에서의 성능을 뛰어넘는 포지셔닝 허용치를 요구합니다. ABL1500Z은 완전 능동형 예압과 대단히 높은 견고성, 그리고 탁월한 기하학적 특성으로서 이러한 요구를 만족시키기 위해 구체적으로 디자인되었습니다.

높은 기동성을 위한 에어베어링 설계

ABL1500Z은 수직 및 수평면 모두에 능동형 예압을 걸어줍니다. 대립하는 박막의 압력은 베어링의 미세한 간극을 허용치로 유지시킵니다. 넓은 표면적에 부하를 분산시키는 에어 베어링(Air Bearing)의 넓은 표면과 함께, 이러한 디자인은 무거운 또는 급격한 부하에 이상적인 우수한 견고성을 보여줍니다. 독자적인 제조기술로 탁월한 기하학적 특성들을 가진 에어 베어링(Air Bearing)을 만들고 있습니다. 에어 베어링(Air Bearing)은 성과를 극대화하는 고유의 평균효과를 갖습니다. 박막 필름은 작은 표면의 틈과 다른 불규칙적인 것들을 채워 우수한 피치(pitch), 롤(roll), 요(yaw), 그리고 직선도와 평편도 사양을 만들어 줍니다.

“0”코깅 리니어 모터 드라이브

이 스테이지의 구동력은 에어로텍의 BLMC 시리즈 브러시리스 리니어 서보모터 입니다. BLMC는 0코깅 및 매력없는 포서를 의미하는 아이론리스 포서를 이용하여 뒤지지 않는 모션 평탄을 만들어냅니다.

비유지보수

우리의 완벽한 비접촉식 에어베어링(Air Bearing), 비접촉식 리니어 모터 드라이브, 그리고 비접촉 피드백 장비는 에어로텍 장비에서 기대되는 높은 성능수준 하에서 다년간의 유지보수가 필요 없습니다. 이동요소 간 기계적인 접촉이 전혀 없기 때문에, ABL1500Z은 시간이 지남에 따른 성능 감소나 마모가 발생하지 않습니다. 서비스 기간은 사실 무한정이고 윤활주유가 없기 때문에 – 오로지 청정, 드라이 가스 – 에어 베어링(Air Bearing)은 크린룸과 의료분야에 이상적으로 적용됩니다.

배선 관리

다년간의 Maintenance Free를 보장하기 위해 배선 곡률반경을 신중을 기하여 최적화하였습니다. 만의 하나 문제가 발생한 경우, 가동중단 시간을 최소화하기 위해 배선교체가 신속 용이하도록 모듈 디자인이 되어 있습니다.

최종 시스템에 결합이 용이하도록 우리의 CMS(배선관리시스템)에 고객이 필요로 하는 모든 배선, 공기 호스, 등을 포함시켰습니다. 양쪽 끝 단은 고객 기계에 간단히 부착이 되도록 완전히 커넥터 처리되어 있습니다.

Mechanical Specifications			ABL15005Z	ABL15010Z	ABL15015Z	ABL15020Z
Travel			50 mm (2 in)	100 mm (4 in)	150 mm (6 in)	200 mm (8 in)
Accuracy⁽¹⁾	LN	HALAR	±0.2 μm (±8 μin)	±0.2 μm (±8 μin)	±0.3 μm (±12 μin)	±0.5 μm (±20 μin)
		Standard	±1.5 μm (±60 μin)	±2.5 μm (±100 μin)	±4.0 μm (±160 μin)	±6.0 μm (±240 μin)
	LT	HALAR	±0.3 μm (±12 μin)	±0.3 μm (±12 μin)	±0.4 μm (±12 μin)	±0.5 μm (±20 μin)
		Standard	±2.0 μm (±80 μin)	±3.0 μm (±120 μin)	±5.0 μm (±160 μin)	±8.0 μm (±320 μin)
Repeatability (Bi-Directional)⁽¹⁾	LN		±0.1 μm (±4 μin)		±0.15 μm (±6 μin)	±0.2 μm (±8 μin)
	LT		±0.1 μm (±4 μin)		±0.15 μm (±6 μin)	±0.2 μm (±8 μin)
Straightness⁽¹⁾			±0.4 μm (±16 μin)	±0.6 μm (±24 μin)	±0.8 μm (±32 μin)	±1.0 μm (±40 μin)
Flatness⁽¹⁾			±0.4 μm (±16 μin)	±0.6 μm (±24 μin)	±0.8 μm (±32 μin)	±1.0 μm (±40 μin)
Pitch			±1 arc sec	±1.5 arc sec	±2 arc sec	±2.5 arc sec
Roll			±1 arc sec	±1.5 arc sec	±2 arc sec	±2.5 arc sec
Yaw			±1 arc sec	±1.5 arc sec	±2 arc sec	±2.5 arc sec
Maximum Speed			300 mm/s
Maximum Acceleration			2 g - 20 m/s² - 768 in/s² (No Load)
Maximum Force (Continuous)			93.6 N (21.0 lb)
Load Capacity⁽²⁾			15 kg (33.1 lb)
Operating Pressure			80 psi (5.5 bar) ±5 psig (0.3 bar)
Air Consumption			Stage: 24-30 slpm @ 551 kPa; Counterbalance: 60 slpm maximum
Moving Mass (No Load)			5.9 kg (13.0 lb)
Stage Mass			23.8 kg (52.5 lb)	26.6 kg (58.6 lb)	28.5 kg (62.8 lb)	30.5 kg (67.2 lb)
Material			Aluminum
MTBF (Mean Time Between Failure)			20,000 Hours

Notes:
1. Certified with each stage.
2. Axis orientation for on-axis loading is listed.
3. Specifications are for single-axis systems measured 25 mm above the tabletop. Performance of multi-axis systems is payload and workpoint dependent. Consult factory for multi-axis or non-standard applications.
4. To protect air bearing against under-pressure, an in-line pressure switch tied to the motion controller/amplifier ESTOP input is recommended.
5. Air supply must be clean, dry to 0° F dewpoint and filtered to 0.25 μm or better; recommend nitrogen at 99.9% purity.
6. Maximum upper axis length is 200 mm when mounting the ABL1500 in an XY configuration.

Electrical Specifications
Drive System	Brushless Linear Servomotor
Feedback	Noncontact Linear Encoder (see signal period options on Order Information page)
Maximum Bus Voltage	up to 80 VDC
Limit Switches	5 V, Normally Open
Home Switch	Near Center

Recommended Controller
Multi-Axis	A3200	Ndrive MP/Ndrive CP/Ndrive HLe/Npaq MXR
Multi-Axis	Ensemble	Ensemble MP/Ensemble CP/Ensemble HLe/Epaq
Single Axis	Soloist	Soloist MP/Soloist CP/Soloist HLe

Ordering Example
ABL15	010Z	-M	-10	-NC	-LN10AS	-SINGLE-CMS
Series	Travel (mm)	Mounting and Grid Pattern	Motor	Limits	Linear Encoder	Options
	005Z 010Z 015Z 020Z	-M	-10	-NC	-LTnnAS -LTnnX50 -LNnnAS	-SINGLE-CMS -Z-CMS

ABL1500Z Series Linear Air-Bearing Stage
ABL15005Z	50 mm (2 in) travel linear air-bearing stage with linear motor, limits and pneumatic counterbalance
ABL15010Z	100 mm (4 in) travel linear air-bearing stage with linear motor, limits and pneumatic counterbalance
ABL15015Z	150 mm (6 in) travel linear air-bearing stage with linear motor, limits and pneumatic counterbalance
ABL15020Z	200 mm (8 in) travel linear air-bearing stage with linear motor, limits and pneumatic counterbalance
Mounting and Grid Pattern
-M	Metric dimension mounting pattern and holes
Motor
-10	Brushless linear motor (BLMC-192-A)
Limits
-NC	Normally-closed end of travel limit switches (standard)
Standard Linear Encoders
-LT05AS	Linear encoder for ABL15005Z; amplified sine output
-LT10AS	Linear encoder for ABL15010Z; amplified sine output
-LT15AS	Linear encoder for ABL15015Z; amplified sine output
-LT20AS	Linear encoder for ABL15020Z; amplified sine output
-LT05X50	Linear encoder for ABL15005Z; 0.1 micron line driver output
-LT10X50	Linear encoder for ABL15010Z; 0.1 micron line driver output
-LT15X50	Linear encoder for ABL15015Z; 0.1 micron line driver output
-LT20X50	Linear encoder for ABL15020Z; 0.1 micron line driver output
High-Accuracy Linear Encoders
-LN05AS	High-accuracy linear encoder for ABL15005Z; amplified sine output
-LN10AS	High-accuracy linear encoder for ABL15010Z; amplified sine output
-LN15AS	High-accuracy linear encoder for ABL15015Z; amplified sine output
-LN20AS	High-accuracy linear encoder for ABL15020Z; amplified sine output
Options
-SINGLE-CMS	Cable management system for single-axis applications
-Z-CMS	Cable management system for Y-Z assembly
Accessories (to be ordered as separate line item)
HALAR ALIGNMENT-PA5Z ALIGNMENT-PA10Z	High-accuracy system ? linear error correction for accuracy and repeatability YZ assembly; 5 arc-seconds or 3 microns/full travel, whichever is larger YZ assembly; 10 arc-seconds or 7 microns/full travel, whichever is larger

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