Ȩ > Á¦Ç°¼Ò°³ > AEROTECH > ÀÀ¿ëºÐ¾ß
¹ÝµµÃ¼

ÁÖ¿ä »ê¾÷º° Àü¹®¼º

    ¹Ú¸· °Ë»ç
    ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç
    ¿øÀÚ°£·Â Çö¹Ì°æ °Ë»ç
    °áÇÔ °ËÃâ
    ÀÔÀÚ °Ë»ç
    X-Ray °Ë»ç
    Àü±â ¹× ÀÚ±â Ư¼º
    ·¹Æ¼Å¬ °Ë»ç
    ½ºÄµ ¹× Åõ°ú ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ


     

    ¼Ö·ç¼Ç¿¡ ´ëÇÑ ÀںνÉ

    ¿¡¾î·ÎÅØÀº °íÁ¤¹Ð ¿þÀÌÆÛ ÇÁ·Î¼¼½Ì, FPD Á¦ÀÛ, ÀüÀÚÇö¹Ì°æ ½ºÄÉ´×, ¿þ¾îÆÛ Ãæµ¹(bumping), ¼®ÆÇÀμâ Àåºñ, ±×¸®°í ¼±Áø ·¹ÀÌÁ® ¸¶ÀÌÅ©·Î°¡°ø±â°è¸¦ À§ÇÑ ¸ð¼Ç ÄÁÆ®·Ñ°ú Æ÷Áö¼Å´× ½Ã½ºÅÛ ¹× ±¸¼ºÇ°À» µðÀÚÀÎÇÏ°í Á¦ÀÛÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀº ¶ÇÇÑ EUV ¼®ÆÇÀμâ¿Í ÀüÀÚÇö¹Ì°æ ½ºÄÉ´×°ú °°Àº Áø°ø ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ´ëÇÑ ½Ã½ºÅÛ°ú ±¸¼ºÇ°¿¡ Àü¹®¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ±×·¯¹Ç·Î, °í°´ÀÌ Àç°í ¿î¿µ Ç°¸ñÀÎ ¿þÀÌÆÛ Ãæµ¹(bumping) ±¸¼ºÇ°À» ¿ä±¸Çϵç, Á¤È®ÇÑ »ç¾çÀ¸·Î Á¦ÀÛ°ú ½ÃÇèÀÌ ½ÃÇàµÇ´Â °í°´¸ÂÃã ¿£Áö´Ï¾î¸µÀÇ ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ ½ºÄÉ´× ½Ã½ºÅÛÀ» ¿ä±¸Çϵç, ¿¡¾î·ÎÅØÀº °í°´ÀÇ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ´ëÇÑ ÃÖÀûÀÇ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

    Áø°ø

    ¿¡¾î·ÎÅØÀº ±ØµµÀÇ Àڿܼ±(EUV) ¼®ÆÇÀμâ¿Í ±âŸÀÇ ¼®ÆÇÀμâ Àåºñ, ÀüÀÚÇö¹Ì°æ ½ºÄÉ´×(SEM), ÀÌ¿Â ºö ÇÁ·ÎÆÄÀϸµ, E-ºö °Ë»ç, ±×¸®°í ¿þÀÌÆÛ ¹üÇÎ(bumping)°ú °°Àº °í¼º´É ÀÀ¿ëºÐ¾ß¸¦ À§ÇÑ ¿ÏÀüÇÑ ´ÙÃàÀÇ Áø°ø ȣȯ¼ºÀÇ ¸ð¼Ç ½Ã½ºÅÛÀ» Á¦ÀÛÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ½Ã½ºÅÛÀº ³ª³ë¹ÌÅÍ ¼öÁØÀÇ À§Ä¡ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» °¡Áø ±ØµµÀÇ °í-Á¤¹Ð¼ºÀ» Æ÷ÇÔÇÕ´Ï´Ù.
    ÀüÀÚÇö¹Ì°æ ½ºÄÉ´×°ú °°Àº ÀÀ¿ëºÐ¾ß¸¦ À§ÇØ, ±¸¸ÛÀÌ ÀÖ´Â Çϵå¿þ¾î, Áø°ø ȣȯ¼º À±È°À¯, ±×¸®°í Ư¼öÇÑ ¹è¼±À» È°¿ëÇϸé 10-8 torr (1.3 x 10-8 mbar)¿ë Áø°ø »çÀü󸮸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. °í°´ ½Ã½ºÅÛÀº 10-9 torrÀÇ Áø°ø ¼öÁØÀ» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀº ƯÁ¤ ¿øÀÚ Áú·®´ÜÀ§¿¡¼­ ºÎºÐÀûÀÎ ¾Ð·Â(±âü Á¦°Å) Á¦ÇÑÀ» °¡Áø ½Ã½ºÅÛÀ» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ½Ã½ºÅÛÀº RGA ÀÎÁõ½ÃÇèÀ» °ÅÃƽÀ´Ï´Ù.

    ÀÚ±âÀå Á¦¾î, ³Ã°¢, Å©¸°·ë

    ÀüÀÚÇö¹Ì°æ ½ºÄÉ´×°ú °°Àº ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡¼­, ¿¡¾î·ÎÅØÀº ¿­°ü¸®¼ºÀ» °³¼±½ÃÅ°´Â À¯Ã¼ ¶Ç´Â °¡½º ³Ã°¢ÀÌ °¡´ÉÇÑ Å¸ÀÌÆ®ÇÑ ÀÚ±âÀå ÄÁƲ·Î ±â´ÉÀÌ ÀÖ´Â ºê·¯½¬¸®½º ¸®´Ï¾î ¹× ·ÎÅ͸® ¸ðÅ͸¦ Á¦ÀÛÇÕ´Ï´Ù. ÃÖÁ¾ÀûÀ¸·Î, ¼¼½ÉÇÑ Àç·á¼±Á¤°ú ÇÔ²² Ư¼öÇÑ Ãë±Þ°ú ¼¼Ã´°øÁ¤À¸·Î ÃÖÀúÀÇ ÃÑÁú·®¼Õ½Ç(TML)°ú ÁýÀûÈֹ߼ºÀÀÃàÀç·á(CVCCM)°¡ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Å©¸°·ë ½Ã¼³Àº ISO 14644-1 Ŭ·¡½º 6 (¿¬¹æ ±Ô°Ý 209E Ŭ·¡½º 1000)°ú ¼¿ °íÀ¯ÀÇ ISO Ŭ·¡½º 5 (Ŭ·¡½º 100)±â´ÉÀ» ¼ö¹ÝÇÑ ½Ã½ºÅÛÀ» Æ÷ÇÔÇÕ´Ï´Ù. Å« È°¼º ¿µ¿ªÀº Àü/ÈÄ µå·¹½Ì ¿µ¿ªÀ» Æ÷ÇÔÇϸç, Á¦Ç° ÀÌÀü°ú ÁÖ¿ä Á¦Ç° Á¶¸³ ¿µ¿ª¿¡ ÁýÁßÇÕ´Ï´Ù.

    Brochure Cover 

     

    Download Motion and Automation for Test, Measurement and Inspection Brochure (.pdf)


    ¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
    56/92,920