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3축 포토마스크 정열 스테이지
6 또는 8인치 마스크용 표준 인터페이스
마스크 보존용 내장
진공홈
광학 트레인내에 용이한 결합을 위한 저상 형상
다이렉트 드라이브 브러쉬리스
서보모터 |
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소개
에어로텍의 MaskAlign 시리즈 스테이지는 선진기술의 반도체 및 평면 판넬 기억시스템의
정확한 요구사양을 충족시키기 위해 설계된 고성능 포토마스크-정렬 시스템입니다. MaskAlign은 비할데 없이 우수한 드라이브 기술을 활용하여
최고수준의 속도, 분해능, 정확성, 그리고 반복성을 제공합니다.
마스크 정열과
보존
MaskAlign은 최소한의 노력으로 마스크의 적절한 배치를 보증하는 내장 정열 시스템입니다. 두개의 위치선정
기능구조가 마스크를 최종 위치로 보내면서 고정핀을 사용하여 마스크 위치를 세팅합니다.. 마스크가 적절히 정열이 되면, 내장 진공체널이 제위치에서
마스크를 잡아줍니다. 이런 모든 특징들은 기억 프로세싱 동안에 적절한 마스크 정열과 보존을 보장합니다.
비접촉
다이렉트 드라이브
 오로지 비접촉 다이렉트 드라이브 기술이 정밀 장비의 대량 제조에 필요한 강력하고 정확한, 고속의 포지셔닝을
제공합니다. 제로코깅, 비접촉 고성능 포지셔닝을 위해 X와 Y축에 에어로텍의 브러쉬리스 리니어 모터를 사용합니다. 세타축은 에어로텍의 세계적인
수준의 리니어 모터를 기반으로 하는 비할데 없이 우수한 곡선 모터를 사용합니다. 이러한 완전한 다이렉트 드라이브 솔루션은 최고의 성능을 가진
강력한 시스템임을 보장합니다.
정밀 포지셔닝
10nm의 리니어 분해능 옵션과
0.017arc초의 로터리 분해능을 가지고, MaskAlign은 가장 까다로운 응용분야의 수요를 충족시킬 수 있습니다.
콤팩트한
내장 디자인은 누진시스템에 대한 고유의 장점-전체적인 높이가 줄어들어 Abbe 에러효과도 감소됨-을 가진다. 하지만 콤팩트 디자인임에도 불구,
MaskAlign은 여전히 150mm의 xy 모션과 20도의 세타모션을 제공합니다.
MaskAlign은 또한 매우 유연한
배선관리시스템(CMS)을 사용합니다. 수평의 CMS는 전체적인 높이를 최소로 하면서, 더 큰 만곡반경으로 배선수명을 상당한 수준으로
증대시킵니다. 이 시스템은 모든 상호 연결을 아주 단순하고 똑바른방향으로 만들어 줍니다. 이것은 하나의 편리한 위치에서 전기적 공압적인 모든
연결을 유지하여 주는 하나의 브라켓으로 얻을 수 있습니다.
튼튼한 디자인
에어로텍은 모션
컨트롤과 포지셔닝 부분품의 설계와 제작에 오랜 역사를 가지고 있습니다. 이러한 지식을 모든 에어로텍의 부분품과 시스템에 적용하고 있으며,
결과적으로 생산환경에서 연속적인 기능을 목표로 하는 튼튼한 디자인으로 나타났습니다.
유연한 조합성 및 고객맞춤
디자인
에어로텍은 광범위한 서보 증폭기와 선진기술의 컨트롤러를 제작하여 완전한 통합 팩키지를 제공합니다. 또한,
일상적으로, 고객맞춤 시스템으로서 고객의 요구사양에 맞게 디자인하고, 제작하고, 시험한 후 승인을
받습니다.
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| MaskAlign 100 |
Axis 1 (X)
Upper Linear Axis |
Axis 2 (Y)
Lower Linear Axis |
Axis 3 (Theta) |
| Travel |
100 mm (upper axis) |
100 mm (lower axis) |
20 degrees |
| Aperture |
120 mm square with XY stage at mid-travel; 70 mm
square with XY stage at extents of travel |
| Motor Type |
BLMUC-111-A (single motor) |
BLMUC-143-A (single motor) |
Custom BLMUC-111-A (curvilinear) |
| Resolution(1) |
10 nm |
10 nm |
0.017 arc sec |
| Accuracy(2) |
±1 µm |
±1µm |
±1.5 arc sec |
| Repeatability(2) |
±0.5 µm |
±0.5 µm |
±0.5 arc sec |
| Straightness |
±1.5 µm |
±1.5 µm |
NA |
| Flatness |
±1.5 µm |
±1.5 µm |
NA |
| Pitch (arc sec) |
±4 arc sec |
±4 arc sec |
NA |
| Yaw (arc sec) |
±4 arc sec |
±4 arc sec |
NA |
| Maximum Load |
2 kg |
| XY Orthogonality |
5 arc sec |
| Moving Mass |
8.8 kg |
14.6 kg |
NA |
| Stage Mass |
19 kg |
| MaskAlign 150 |
Axis 1 (X)
Upper Linear Axis |
Axis 2 (Y)
Lower Linear Axis |
Axis 3 (Theta) |
| Travel |
150 mm (upper axis) |
150 mm (lower axis) |
20 degrees |
| Aperture |
170 mm square with XY stage at mid-travel; 70 mm
square with XY stage at extents of travel |
| Motor Type |
BLMUC-111-A (single motor) |
BLMUC-143-A (single motor) |
Custom BLMUC-111-A (curvilinear) |
| Resolution(1) |
10 nm |
10 nm |
0.017 arc sec |
| Accuracy(2) |
±1 µm |
±1 µm |
±1.5 arc sec |
| Repeatability(2) |
±0.5 µm |
±0.5 µm |
±0.5 arc sec |
| Straightness |
±2.5 µm |
±2.5 µm |
NA |
| Flatness |
±2.5 µm |
±2.5 µm |
NA |
| Pitch (arc sec) |
±6 arc sec |
±6 arc sec |
NA |
| Yaw (arc sec) |
±6 arc sec |
±6 arc sec |
NA |
| Maximum Load |
5 kg |
| XY Orthogonality |
5 arc sec |
| Moving Mass |
9.2 kg |
15.7 kg |
NA |
| Stage Mass |
22 kg |
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Note: A drawing of the MaskAlign 150 is
available upon request
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Ordering Example |
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MaskAlign |
-100 |
-NC |
|
?Mask Translator |
Travel |
Limits |
|
MaskAlign |
-100
-150 |
-NC
-NO |
|
MaskAlign 100 Mask Translator |
|
MaskAlign
|
Direct-drive XYT mask alignment stage
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|
Travel |
|
-100 |
100 mm of XY travel |
|
-150 |
150 mm of XY travel
|
|
Limits |
|
-NC
|
Normally closed end of travel limit switches (STANDARD)
|
|
-NO |
Normally open end of travel limit switches | |
MaskAlign
