Ȩ > Á¦Ç°¼Ò°³ > AEROTECH > »ê¾÷¼Ö·ç¼Ç
MaskAlign
Ư¡ | »ç¾ç | ¿ÜÇüµµ | Ç°¸íº¸´Â ¹ý

3Ãà Æ÷Å丶½ºÅ© Á¤¿­ ½ºÅ×ÀÌÁö

6 ¶Ç´Â 8ÀÎÄ¡ ¸¶½ºÅ©¿ë Ç¥ÁØ ÀÎÅÍÆäÀ̽º

¸¶½ºÅ© º¸Á¸¿ë ³»Àå Áø°øȨ

±¤ÇÐ Æ®·¹Àγ»¿¡ ¿ëÀÌÇÑ °áÇÕÀ» À§ÇÑ Àú»ó Çü»ó

´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀÌºê ºê·¯½¬¸®½º ¼­º¸¸ðÅÍ


¼Ò°³
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ MaskAlign ½Ã¸®Áî ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¼±Áø±â¼úÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¹× Æò¸é ÆÇ³Ú ±â¾ï½Ã½ºÅÛÀÇ Á¤È®ÇÑ ¿ä±¸»ç¾çÀ» ÃæÁ·½ÃÅ°±â À§ÇØ ¼³°èµÈ °í¼º´É Æ÷Å丶½ºÅ©-Á¤·Ä ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù. MaskAlignÀº ºñÇÒµ¥ ¾øÀÌ ¿ì¼öÇÑ µå¶óÀÌºê ±â¼úÀ» È°¿ëÇÏ¿© ÃÖ°í¼öÁØÀÇ ¼Óµµ, ºÐÇØ´É, Á¤È®¼º, ±×¸®°í ¹Ýº¹¼ºÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.

¸¶½ºÅ© Á¤¿­°ú º¸Á¸
MaskAlignÀº ÃÖ¼ÒÇÑÀÇ ³ë·ÂÀ¸·Î ¸¶½ºÅ©ÀÇ ÀûÀýÇÑ ¹èÄ¡¸¦ º¸ÁõÇÏ´Â ³»Àå Á¤¿­ ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù. µÎ°³ÀÇ À§Ä¡¼±Á¤ ±â´É±¸Á¶°¡ ¸¶½ºÅ©¸¦ ÃÖÁ¾ À§Ä¡·Î º¸³»¸é¼­ °íÁ¤ÇÉÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ¸¶½ºÅ© À§Ä¡¸¦ ¼¼ÆÃÇÕ´Ï´Ù.. ¸¶½ºÅ©°¡ ÀûÀýÈ÷ Á¤¿­ÀÌ µÇ¸é, ³»Àå Áø°øü³ÎÀÌ Á¦À§Ä¡¿¡¼­ ¸¶½ºÅ©¸¦ Àâ¾ÆÁÝ´Ï´Ù. ÀÌ·± ¸ðµç Ư¡µéÀº ±â¾ï ÇÁ·Î¼¼½Ì µ¿¾È¿¡ ÀûÀýÇÑ ¸¶½ºÅ© Á¤¿­°ú º¸Á¸À» º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù.

ºñÁ¢ÃË ´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀ̺ê
¿À·ÎÁö ºñÁ¢ÃË ´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀÌºê ±â¼úÀÌ Á¤¹Ð ÀåºñÀÇ ´ë·® Á¦Á¶¿¡ ÇÊ¿äÇÑ °­·ÂÇÏ°í Á¤È®ÇÑ, °í¼ÓÀÇ Æ÷Áö¼Å´×À» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. Á¦·ÎÄÚ±ë, ºñÁ¢ÃË °í¼º´É Æ÷Áö¼Å´×À» À§ÇØ X¿Í YÃà¿¡ ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ºê·¯½¬¸®½º ¸®´Ï¾î ¸ðÅ͸¦ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù. ¼¼Å¸ÃàÀº ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ¼¼°èÀûÀÎ ¼öÁØÀÇ ¸®´Ï¾î ¸ðÅ͸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÏ´Â ºñÇÒµ¥ ¾øÀÌ ¿ì¼öÇÑ °î¼± ¸ðÅ͸¦ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¿ÏÀüÇÑ ´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀÌºê ¼Ö·ç¼ÇÀº ÃÖ°íÀÇ ¼º´ÉÀ» °¡Áø °­·ÂÇÑ ½Ã½ºÅÛÀÓÀ» º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù.


Á¤¹Ð Æ÷Áö¼Å´×
10nmÀÇ ¸®´Ï¾î ºÐÇØ´É ¿É¼Ç°ú 0.017arcÃÊÀÇ ·ÎÅ͸® ºÐÇØ´ÉÀ» °¡Áö°í, MaskAlignÀº °¡Àå ±î´Ù·Î¿î ÀÀ¿ëºÐ¾ßÀÇ ¼ö¿ä¸¦ ÃæÁ·½Ãų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

ÄÞÆÑÆ®ÇÑ ³»Àå µðÀÚÀÎÀº ´©Áø½Ã½ºÅÛ¿¡ ´ëÇÑ °íÀ¯ÀÇ ÀåÁ¡-ÀüüÀûÀÎ ³ôÀÌ°¡ ÁÙ¾îµé¾î Abbe ¿¡·¯È¿°úµµ °¨¼ÒµÊ-À» °¡Áø´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÄÞÆÑÆ® µðÀÚÀÎÀÓ¿¡µµ ºÒ±¸, MaskAlignÀº ¿©ÀüÈ÷ 150mmÀÇ xy ¸ð¼Ç°ú 20µµÀÇ ¼¼Å¸¸ð¼ÇÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.

MaskAlignÀº ¶ÇÇÑ ¸Å¿ì À¯¿¬ÇÑ ¹è¼±°ü¸®½Ã½ºÅÛ(CMS)À» »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù. ¼öÆòÀÇ CMS´Â ÀüüÀûÀÎ ³ôÀ̸¦ ÃÖ¼Ò·Î Çϸ鼭, ´õ Å« ¸¸°î¹Ý°æÀ¸·Î ¹è¼±¼ö¸íÀ» »ó´çÇÑ ¼öÁØÀ¸·Î Áõ´ë½Ãŵ´Ï´Ù. ÀÌ ½Ã½ºÅÛÀº ¸ðµç »óÈ£ ¿¬°áÀ» ¾ÆÁÖ ´Ü¼øÇÏ°í ¶È¹Ù¸¥¹æÇâÀ¸·Î ¸¸µé¾î ÁÝ´Ï´Ù. ÀÌ°ÍÀº ÇϳªÀÇ Æí¸®ÇÑ À§Ä¡¿¡¼­ Àü±âÀû °ø¾ÐÀûÀÎ ¸ðµç ¿¬°áÀ» À¯ÁöÇÏ¿© ÁÖ´Â ÇϳªÀÇ ºê¶óÄÏÀ¸·Î ¾òÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

Æ°Æ°ÇÑ µðÀÚÀÎ
¿¡¾î·ÎÅØÀº ¸ð¼Ç ÄÁÆ®·Ñ°ú Æ÷Áö¼Å´× ºÎºÐÇ°ÀÇ ¼³°è¿Í Á¦ÀÛ¿¡ ¿À·£ ¿ª»ç¸¦ °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Áö½ÄÀ» ¸ðµç ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ºÎºÐÇ°°ú ½Ã½ºÅÛ¿¡ Àû¿ëÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, °á°úÀûÀ¸·Î »ý»êȯ°æ¿¡¼­ ¿¬¼ÓÀûÀÎ ±â´ÉÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÏ´Â Æ°Æ°ÇÑ µðÀÚÀÎÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ½À´Ï´Ù.

À¯¿¬ÇÑ Á¶ÇÕ¼º ¹× °í°´¸ÂÃã µðÀÚÀÎ
¿¡¾î·ÎÅØÀº ±¤¹üÀ§ÇÑ ¼­º¸ ÁõÆø±â¿Í ¼±Áø±â¼úÀÇ ÄÁÆ®·Ñ·¯¸¦ Á¦ÀÛÇÏ¿© ¿ÏÀüÇÑ ÅëÇÕ ÆÑÅ°Áö¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ÀÏ»óÀûÀ¸·Î, °í°´¸ÂÃ㠽ýºÅÛÀ¸·Î¼­ °í°´ÀÇ ¿ä±¸»ç¾ç¿¡ ¸Â°Ô µðÀÚÀÎÇÏ°í, Á¦ÀÛÇÏ°í, ½ÃÇèÇÑ ÈÄ ½ÂÀÎÀ» ¹Þ½À´Ï´Ù.


¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
56/92,920