¿¡¾î·ÎÅØÀº ¿ú ±â¾î ±¸µ¿ ¸ðµ¨°ú ÇÔ²², ÀÚüÀÇ ºê·¯½¬¸®½º ·ÎÅ͸® ¼º¸¸ðÅ͸¦ »ç¿ëÇÏ´Â ´ÙÀÌ·ºÆ®
µå¶óÀÌºê ¸ðµ¨À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â ´Ù¾çÇÑ ·ÎÅ͸® Å×À̺íÀ» Á¦ÀÛÇÕ´Ï´Ù. ½ºÅ×ÀÌÁö´Â °í°´ÀÇ »ê¾÷ÀÚµ¿È ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀûÀÎ ÇØ°áÃ¥À» Á¦°øÇϱâ À§ÇØ ´Ù¾çÇÑ
Å©±âÀÇ ±¸°æ, Å×À̺í Á÷°æ, ±×¸®°í žÀç ¿É¼ÇÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. Èçµé¸²°ú ·±¾Æ¿ô ºÎ¹®ÀÇ ¼º´ÉÀº Ź¿ùÇÕ´Ï´Ù.
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Å×À̺íÀº »ê¾÷¿ë
·Îº¿, ±¤¼¶À¯, ±¤ÀüÀÚ, ºñÁ¯ ½Ã½ºÅÛ, °øÀÛ±â°è, Á¶¸³, ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ, ÀÇ·á»ê¾÷ ·¹ÀÌÁ® °¡°ø, ÀüÀÚÁ¦Á¶, ±âŸ °í¼º´É »ê¾÷ÀÚµ¿È ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ³Î¸®
¾²¿©Áý´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ¿¡¾î·ÎÅØÀº ÀÚüÀÇ ·ÎÅ͸® Å×À̺êÀ» ¿Ïº®È÷ º¸¿ÏÇÏ´Â µå¶óÀ̺ê¿Í ¸ð¼Ç ÄÁÆ®·Ñ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦ÀÛÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
·ÎÅ͸® ¿¡¾îº£¾î¸µ
½ºÅ×ÀÌÁö
ABRS ·ÎÅ͸® ¿¡¾îº£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ
ABRS½Ã¸®Áî, ·ÎÅ͸® ¿¡ ¾î º£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö´Â µ¶ÀÚÀûÀÎ ³·Àº ³ôÀÌÀÇ Çü»ó¿¡¼ ¿ì¼öÇÑ °¢µµ À§Ä¡°á Á¤, ¼Óµµ ¾ÈÁ¤¼º, ±×¸®°í
¿¡·¯¸ð¼Ç ¼º ´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ABRS´Â ¿þÀÌÆÛ °Ë »ç, °íÁ¤¹Ð °èÃø, X-ray ȸÀý½Ã½ºÅÛ, ±¤ÇÐ °Ë»ç ¹× Á¦Á¶, ±×¸®°í
MEMS/³ª ³ë±â¼ú ÀåÄ¡ Á¦ÀÛ µî Á¤¹Ð¼ö¿ä¿¡ ´ë ÀÀÇÏ°íÀÚ ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù.
Tabletop Diameter | 128.1-278.1 mm | Resolution | 0.18-0.036 arc
sec | Bidirectional Repeatability | <1 arc sec |
| ABRT ·ÎÅ͸® ¿¡¾îº£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ABRT½Ã¸®Áî ·ÎÅ͸® ¿¡¾î º£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ÀλóÀûÀÎ ÇÏÁß Áß ·®°ú Ź¿ùÇÑ ¹Ý°æ ¹× Ãà¹æÇâÀÇ °ß°íÇÔ °ú
ÇÔ²² ¿ì¼öÇÑ °¢µµ À§Ä¡°áÁ¤, ¼Óµµ ¾ÈÁ¤¼º, ±×¸®°í ¿¡·¯¸ð¼Ç ¼º´ÉÀ» Á¦°ø ÇÕ´Ï´Ù.
Tabletop Diameter | 100-200
mm | Resolution | 0.055-0.027 arc
sec | Bidirectional Repeatability | <1 arc sec |
| |
Á÷Á¢ ±¸µ¿ ±â°è º£¾î¸µ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö
ADRT Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ADRT ½Ã¸®Áî Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¿ì¼öÇÑ °¢µµ À§Ä¡ °áÁ¤°ú ¼Óµµ Á¦¾î¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. °í¼ÓÀÇ
·¹ÀÌÀú °¡°øÀÇ Àε¦½Ì¿¡¼ Á¤ ¹Ð ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç±îÁö ÀÀ¿ë¹üÀ§°¡ ³Ð½À ´Ï´Ù.
Diameter | 146 -
260 mm | Accuracy
| ¡¾30 arc
sec | Load | 30 -
173 kg |
| ADRS ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö
Á÷Á¢ ±¸µ¿ ±â¼ú°ú Àú»óÇü»óÀÇ ¿¡¾î·Î ÅØÀÇ ADRS½Ã¸®Áî´Â º§Æ®¿Í ¿ú±¸µ¿ ½ºÅ×ÀÌÁö¿¡ ´ëÇÑ ¿ì¼öÇÑ ´ë¾ÈÀ»
Á¦°ø ÇÕ´Ï´Ù.
Diameter | 95 -
190 mm | Accuracy
| 6 arc
sec | Load | 16.9 -
56.2 lb |
|
ARMS Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ARMS ½Ã¸®Áî Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·Î Å͸® ¸ð¼Ç ½Ã¹Ä·¹ÀÌÅÍ´Â MEMS, ÀÚÀÌ·Î ½ºÄÚÇÁ, °ü¼º ÃøÁ¤±â±â, Ç×°øÀüÀÚ°øÇÐ,
°¡ ¼Óµµ°è¿Í °°Àº °ü¼ººÎÇ° ¹× ½Ã½ºÅÛ ½ÃÇè ¿ëÀ¸·Î ¿ì¼öÇÑ °¢µµºñÀ², °¡¼Ó¼º ¹× À§Ä¡ °áÁ¤À»
Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
Aperture | 8 mm -
25 mm | Resolution | 0.02 - 2 arc
sec | Accuracy (Calibrated) | ¡¾2.5
arc sec |
|
ASR1000 Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ
ASR1000 ½Ã¸®Áî Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö´Â °í¼º´É Á¤¹Ð ±â°è°¡ °øÀÇ ±î´Ù·Î¿î ¼ö¿ä¸¦ ÃæÁ·½ÃÅ°±â À§ÇØ ¼³°è
µÇ¾ú½À´Ï´Ù. Àú-°ü¼º ¸ðÅÍ¿Í °í Á¤ µµ ¿£ÄÚ´õ´Â ¼Óµµ¿Í Á¤È®¼ºÀÇ ÀÌ»óÀûÀÎ Á¶ÇÕÀ» ¸¸µì´Ï´Ù.
Diameter | 19
mm | Accuracy
| ¡¾15 arc
sec | Load | 3.0
kg |
| ALAR Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ALAR½Ã¸®Áî Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ºñ±³ÇÒ ¼ö ¾øÀÌ Å« ±¸°æ Å©±â¸¦ °¡Áö°í ¿ì¼öÇÑ
°¢µµ À§Ä¡°áÁ¤°ú ¼ÓµµÁ¦¾î¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ´ëÇü ±¸°æ°ú Á÷Á¢ ±¸µ¿ ¸ðÅÍÀÇ °áÇÕ À¸·Î, ALAR ½Ã¸®Áî´Â
¿ú-±¸µ¿ÀÇ ´ë Çü ±¸°æ ½ºÅ×ÀÌÁö¸¦ ±¸½ÄÀ¸·Î ¸¸µé ¾î ¹ö¸³´Ï´Ù.
| ARA1000 ·ÎÅ͸® ¾×Ãß¿¡ÀÌÅÍ
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ
ARA1000 ·ÎÅ͸® ¾×Ãß¿¡ ÀÌÅÍ´Â ´ëÇü ºÎÇÏ¿¡ ´ëÇÑ ºÎºÐ¿¬°áÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â Æò¸é ÆÇ³Ú µð½ºÇ÷¹ÀÌ °¡°ø °ú °°Àº ÀÀ¿ëºÐ¾ß¸¦ À§ÇÑ
Çõ½ÅÀûÀÎ Á¦Ç°À» ´ëÇ¥ÇÕ´Ï´Ù.
Diameter | 342.9
mm | Accuracy
| ¡¾2 arc
sec | Load | 45
kg |
| ASR1100 Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ
ASR1100 ½Ã¸®Áî´Â ´ë´Ü È÷ ¼º°øÀûÀ̾ú´ø ASR1000 Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ ÈļÓÁ¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù. ASR1100Àº
³»ÀåµÈ °ø¾Ð½Ä ÀÛµ¿ ÄÝ·¿ ôÀ» Ãß°¡ÇÏ¿©, »óÀÚ¹ÛÀÇ Àç·á ó¸® ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÏ¿© ÁÝ´Ï´Ù.
Max
Aperture | 14
mm | Accuracy
| ¡¾15 arc
sec | Load | 3
kg |
| ASR1200 Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ASR1200 ½Ã¸®Áî´Â ¼º°ø ÀûÀ̾ú´ø ASR1000 Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ
ÈļÓÁ¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù. ASR1200Àº ÀÚµ¿ÈµÈ Àç·á ó¸®¿Í ½À ½Ä Àý´Ü °øÁ¤À» À§ÇÑ ¹ÐºÀ ¼ö³Ã ÀÚÄÏ ¿ë ³»ÀåµÈ °ø¾Ð½Ä ÀÛµ¿ ÄÝ·¿
ôÀ» Ãß °¡ÇÕ´Ï´Ù.
Max
Aperture | 5.8
mm | Accuracy
| ¡¾15 arc
sec | Load | 3
kg |
|
ACS ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö
ER ÄÝ·¿ ô ¶Ç´Â
3-jaw ±×¸®ÆÛ Á¶ÇÕÀÌ ³»ÀåµÈ ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ACS ½Ã¸®Áî ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ±¤¹üÀ§ÇÑ Àç·á¿Í ÀÀ¿ëºÐ¾ß ¿¡ ÀÚµ¿ Àç·áó¸® ¼º´ÉÀ»
Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
Max
Aperture | 30
mm | Accuracy
| ¡¾15 arc
sec | Load | 140
kg |
|
ACS ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö
ER ÄÝ·¿ ô ¶Ç´Â
3-jaw ±×¸®ÆÛ Á¶ÇÕÀÌ ³»ÀåµÈ ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ACS ½Ã¸®Áî ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ±¤¹üÀ§ÇÑ Àç·á¿Í ÀÀ¿ëºÐ¾ß ¿¡ ÀÚµ¿ Àç·áó¸® ¼º´ÉÀ»
Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
Max
Aperture | 30
mm | Accuracy
| ¡¾15 arc
sec | Load | 140
kg |
| ACS LP ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö
ER ÄÝ·¿ ôÀÌ ³»ÀåµÈ
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ACS LP ½Ã¸®Áî ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ±¤¹üÀ§ÇÑ Àç·á¿Í ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÚµ¿ Àç·áó¸® ¼º´ÉÀ»
Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
Max
Aperture | 30
mm | Accuracy
| ¡¾6 arc
sec | Load | 41 kg
|
| WaferMax T
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Wafermax T ·ÎÅ͸® ½ºÅ× ÀÌÁö´Â ³·Àº ³ôÀÌÀÇ ÆÑÅ°Áö¿¡¼ °í¼º ´ÉÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â Àû¿ëºÐ¾ß¿¡ ´ëÇØ Å¹¿ù ÇÑ ¼±ÅÃÀÌ µË´Ï´Ù. ¿ø·¡´Â Á¤¹Ð ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç¸¦ À§ÇØ ¼³°èµÇ¾úÀ¸³ª, ´Ù¸¥ ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿¡µµ Àû¿ëÀÌ µÇ¾î ¿Ô½À´Ï´Ù. Ç¥ÁØ 25mm ±¸°æÀº Á¦ÇÑµÈ È¸ÀüÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â Áø°ø¶óÀÎÀÇ ¿ëÀÌÇÑ Åë°ú¸¦ °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÕ´Ï´Ù. Diameter | 106.7 mm | Accuracy | ¡¾5 arc sec | Load | 40 kg |
|
±â¾î
±¸µ¿ ±â°è º£¾î¸µ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö
AGR ¸ðÅÍ ÀåÂøÇü ·ÎÅ͸®
½ºÅ×ÀÌÁö
ARR ½Ã¸®Áî ¸ðÅÍ ÀåÂøÇü ·ÎÅ͸® ½º Å×ÀÌÁö´Â °æÀï Á¦Ç°ÀÎ ¿ú±â¾î ±¸µ¿
½ºÅ×ÀÌÁö¿¡ ºñÇØ ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¸¦ À§ÇÑ ´ë±¸°æ °³¹æ ÇÁ·¹ÀÓ°ú ÇÔ²² ¼Ó µµ, ºÎÇÏ¿ë·®, Àå±â°£ÀÇ À§Ä¡°áÁ¤
¼º ´Éµî »ó´çÈ÷ Çâ»óµÈ »ç¾çÀ» Á¦°øÇÕ ´Ï´Ù.
|
MPS-GR ¸ðÅÍ ÀåÂøÇü ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö
MPS-50GR°ú MPS-75GR ·ÎÅ͸®½ºÅ× ÀÌÁö´Â ¸Å¿ì ¼ÒÇüÀÌ¸é¼ Àú»ó Çü »ó¿¡¼ ¸Å¿ì ¿ì¼öÇÑÀ§Ä¡°áÁ¤ ¼º ´ÉÀ»
Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ´Â MPS-GR ½Ã¸®Áî ¸®´Ï¾î À§Ä¡°áÁ¤ ½ºÅ×ÀÌ Áö¿Í °°ÀÌ °¡´Â ½ºÅ×ÀÌÁöÀ̸ç, ÀÚµ¿È ¸ð¼ÇÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ±¤ÇÐ
Æ®·¹ Àΰú Áø°ø ÀÛ¾÷°ú °°Àº °ø°£-ÇÙ ½É ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀû ÀÔ´Ï´Ù.
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