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·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö

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Å×À̺íÀ» Á¦ÀÛÇÕ´Ï´Ù. ½ºÅ×ÀÌÁö´Â °í°´ÀÇ »ê¾÷ÀÚµ¿È­ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀûÀÎ ÇØ°áÃ¥À» Á¦°øÇϱâ À§ÇØ ´Ù¾çÇÑ Å©±âÀÇ ±¸°æ, Å×À̺í Á÷°æ, ±×¸®°í
žÀç ¿É¼ÇÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. Èçµé¸²°ú ·±¾Æ¿ô ºÎ¹®ÀÇ ¼º´ÉÀº Ź¿ùÇÕ´Ï´Ù.

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Á¦ÀÛÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

 

 
·ÎÅ͸® ¿¡¾îº£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö


Á÷Á¢ ±¸µ¿ ±â°èº£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö


±â¾î ±¸µ¿ ±â°èº£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö


 

 

·ÎÅ͸® ¿¡¾îº£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö

 
ABRS ·ÎÅ͸® ¿¡¾îº£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ABRS½Ã¸®Áî, ·ÎÅ͸® ¿¡
¾î º£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö´Â µ¶ÀÚÀûÀÎ ³·Àº
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±¤ÇÐ °Ë»ç ¹× Á¦Á¶, ±×¸®°í MEMS/³ª
³ë±â¼ú ÀåÄ¡ Á¦ÀÛ µî Á¤¹Ð¼ö¿ä¿¡ ´ë
ÀÀÇÏ°íÀÚ ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù.

Tabletop Diameter
128.1-278.1 mm
Resolution
0.18-0.036 arc sec
Bidirectional Repeatability
<1 arc sec

ABRT ·ÎÅ͸® ¿¡¾îº£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ABRT½Ã¸®Áî ·ÎÅ͸® ¿¡¾î
º£¾î¸µ ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ÀλóÀûÀÎ ÇÏÁß Áß
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¾ÈÁ¤¼º, ±×¸®°í ¿¡·¯¸ð¼Ç ¼º´ÉÀ» Á¦°ø
ÇÕ´Ï´Ù.




Tabletop
Diameter
100-200 mm
Resolution
0.055-0.027 arc sec
Bidirectional Repeatability
<1 arc sec

 


Á÷Á¢ ±¸µ¿ ±â°è º£¾î¸µ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö


ADRT Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ADRT ½Ã¸®Áî Á÷Á¢ ±¸µ¿
·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¿ì¼öÇÑ °¢µµ À§Ä¡
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¹Ð ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç±îÁö ÀÀ¿ë¹üÀ§°¡ ³Ð½À
´Ï´Ù.


Diameter
146 - 260 mm
Accuracy
¡¾30 arc sec
Load
30 - 173 kg

ADRS ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö

Á÷Á¢ ±¸µ¿ ±â¼ú°ú Àú»óÇü»óÀÇ ¿¡¾î·Î
ÅØÀÇ ADRS½Ã¸®Áî´Â º§Æ®¿Í ¿ú±¸µ¿
½ºÅ×ÀÌÁö¿¡ ´ëÇÑ ¿ì¼öÇÑ ´ë¾ÈÀ» Á¦°ø
ÇÕ´Ï´Ù.




Diameter
95 - 190 mm
Accuracy
6 arc sec
Load
16.9 - 56.2 lb

ARMS Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ARMS ½Ã¸®Áî Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·Î
Å͸® ¸ð¼Ç ½Ã¹Ä·¹ÀÌÅÍ´Â MEMS, ÀÚÀÌ·Î
½ºÄÚÇÁ, °ü¼º ÃøÁ¤±â±â, Ç×°øÀüÀÚ°øÇÐ, °¡
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¿ëÀ¸·Î ¿ì¼öÇÑ °¢µµºñÀ², °¡¼Ó¼º ¹× À§Ä¡
°áÁ¤À» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.


Aperture
8 mm - 25 mm
Resolution
0.02 - 2 arc sec
Accuracy (Calibrated)
¡¾2.5 arc sec

ASR1000 Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ASR1000 ½Ã¸®Áî Á÷Á¢ ±¸µ¿
·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö´Â °í¼º´É Á¤¹Ð ±â°è°¡
°øÀÇ ±î´Ù·Î¿î ¼ö¿ä¸¦ ÃæÁ·½ÃÅ°±â À§ÇØ
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µµ ¿£ÄÚ´õ´Â ¼Óµµ¿Í Á¤È®¼ºÀÇ ÀÌ»óÀûÀÎ
Á¶ÇÕÀ» ¸¸µì´Ï´Ù.

Diameter
19 mm
Accuracy
¡¾15 arc sec
Load
3.0 kg


ALAR Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ALAR½Ã¸®Áî Á÷Á¢ ±¸µ¿ 
·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ºñ±³ÇÒ ¼ö ¾øÀÌ
Å« ±¸°æ Å©±â¸¦ °¡Áö°í ¿ì¼öÇÑ °¢µµ
À§Ä¡°áÁ¤°ú ¼ÓµµÁ¦¾î¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
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Çü ±¸°æ ½ºÅ×ÀÌÁö¸¦ ±¸½ÄÀ¸·Î ¸¸µé
¾î ¹ö¸³´Ï´Ù.


Max Aperture

325 mm

Accuracy

¡¾3.9 arc sec

Load

6463 N


ARA1000 ·ÎÅ͸® ¾×Ãß¿¡ÀÌÅÍ

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ARA1000 ·ÎÅ͸® ¾×Ãß¿¡
ÀÌÅÍ´Â ´ëÇü ºÎÇÏ¿¡ ´ëÇÑ ºÎºÐ¿¬°áÀ»
¿ä±¸ÇÏ´Â Æò¸é ÆÇ³Ú µð½ºÇ÷¹ÀÌ °¡°ø
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Á¦Ç°À» ´ëÇ¥ÇÕ´Ï´Ù.
 



Diameter
342.9 mm
Accuracy
¡¾2 arc sec
Load
45 kg

ASR1100 Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ASR1100 ½Ã¸®Áî´Â ´ë´Ü
È÷ ¼º°øÀûÀ̾ú´ø ASR1000 Á÷Á¢ ±¸µ¿
·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ ÈļÓÁ¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.
ASR1100Àº ³»ÀåµÈ °ø¾Ð½Ä ÀÛµ¿ ÄÝ·¿
ôÀ» Ãß°¡ÇÏ¿©, »óÀÚ¹ÛÀÇ Àç·á ó¸®
¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÏ¿© ÁÝ´Ï´Ù.


Max Aperture
14 mm
Accuracy
¡¾15 arc sec
Load
3 kg

ASR1200 Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ASR1200 ½Ã¸®Áî´Â ¼º°ø
ÀûÀ̾ú´ø ASR1000 Á÷Á¢ ±¸µ¿ ·ÎÅ͸®
½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ ÈļÓÁ¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.
ASR1200Àº ÀÚµ¿È­µÈ Àç·á ó¸®¿Í ½À
½Ä Àý´Ü °øÁ¤À» À§ÇÑ ¹ÐºÀ ¼ö³Ã ÀÚÄÏ
¿ë ³»ÀåµÈ °ø¾Ð½Ä ÀÛµ¿ ÄÝ·¿ ôÀ» Ãß
°¡ÇÕ´Ï´Ù.


Max Aperture
5.8 mm
Accuracy
¡¾15 arc sec
Load
3 kg

ACS ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö

ER ÄÝ·¿ ô ¶Ç´Â 3-jaw ±×¸®ÆÛ Á¶ÇÕÀÌ
³»ÀåµÈ ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ACS ½Ã¸®Áî ·ÎÅ͸®
½ºÅ×ÀÌÁö´Â ±¤¹üÀ§ÇÑ Àç·á¿Í ÀÀ¿ëºÐ¾ß
¿¡ ÀÚµ¿ Àç·áó¸® ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.




Max Aperture
30 mm
Accuracy
¡¾15 arc sec
Load
140 kg

ACS ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö

ER ÄÝ·¿ ô ¶Ç´Â 3-jaw ±×¸®ÆÛ Á¶ÇÕÀÌ
³»ÀåµÈ ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ACS ½Ã¸®Áî ·ÎÅ͸®
½ºÅ×ÀÌÁö´Â ±¤¹üÀ§ÇÑ Àç·á¿Í ÀÀ¿ëºÐ¾ß
¿¡ ÀÚµ¿ Àç·áó¸® ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.




Max Aperture
30 mm
Accuracy
¡¾15 arc sec
Load
140 kg


ACS LP ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö 

 

ER ÄÝ·¿ ôÀÌ ³»ÀåµÈ ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ
ACS LP ½Ã¸®Áî ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö´Â
±¤¹üÀ§ÇÑ Àç·á¿Í ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÚµ¿
Àç·áó¸® ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.



 

 

 

Max Aperture
30 mm
Accuracy
¡¾6 arc sec
Load
41 kg


WaferMax T

 

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Wafermax T ·ÎÅ͸® ½ºÅ×
ÀÌÁö´Â ³·Àº ³ôÀÌÀÇ ÆÑÅ°Áö¿¡¼­ °í¼º
´ÉÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â Àû¿ëºÐ¾ß¿¡ ´ëÇØ Å¹¿ù
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°Ë»ç¸¦ À§ÇØ ¼³°èµÇ¾úÀ¸³ª, ´Ù¸¥ ÀÀ¿ë
ºÐ¾ß¿¡µµ Àû¿ëÀÌ µÇ¾î ¿Ô½À´Ï´Ù. Ç¥ÁØ
25mm ±¸°æÀº Á¦ÇÑµÈ È¸ÀüÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â
Áø°ø¶óÀÎÀÇ ¿ëÀÌÇÑ Åë°ú¸¦ °¡´ÉÇÏ°Ô
ÇÕ´Ï´Ù.

 

 

Diameter
106.7 mm
Accuracy
¡¾5 arc sec
Load
40 kg

±â¾î ±¸µ¿ ±â°è º£¾î¸µ ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö


AGR ¸ðÅÍ ÀåÂøÇü ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö

ARR ½Ã¸®Áî ¸ðÅÍ ÀåÂøÇü ·ÎÅ͸® ½º
Å×ÀÌÁö´Â °æÀï Á¦Ç°ÀÎ ¿ú±â¾î ±¸µ¿
½ºÅ×ÀÌÁö¿¡ ºñÇØ ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¸¦
À§ÇÑ ´ë±¸°æ °³¹æ ÇÁ·¹ÀÓ°ú ÇÔ²² ¼Ó
µµ, ºÎÇÏ¿ë·®, Àå±â°£ÀÇ À§Ä¡°áÁ¤ ¼º
´Éµî »ó´çÈ÷ Çâ»óµÈ »ç¾çÀ» Á¦°øÇÕ
´Ï´Ù.


Aperture

50 mm - 200 mm

Accuracy

20 arc min

Axial Load

90 kg - 570 kg

rotary stage


MPS-GR ¸ðÅÍ ÀåÂøÇü ·ÎÅ͸® ½ºÅ×ÀÌÁö

MPS-50GR°ú MPS-75GR ·ÎÅ͸®½ºÅ×
ÀÌÁö´Â ¸Å¿ì ¼ÒÇüÀ̸鼭 Àú»ó Çü
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½Ã¸®Áî ¸®´Ï¾î À§Ä¡°áÁ¤ ½ºÅ×ÀÌ
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ÀÚµ¿È­ ¸ð¼ÇÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ±¤ÇÐ Æ®·¹
Àΰú Áø°ø ÀÛ¾÷°ú °°Àº °ø°£-ÇÙ
½É ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ÀÌ»óÀû ÀÔ´Ï´Ù.


Diameter

50 mm

Accuracy

80 arc sec

Load

4.0 kg

 

 

 

 


¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
47/92,911