PlanarDL
°³¿ä | »ç¾ç | ¿ÜÇüµµ | Ç°¸íº¸´Â ¹ý

 

 

µðÀÚÀΠƯ¡

  • INTERGRATED, LOW-PROFILE, XY, Linear-Motor Stage
  • ¿ì¼öÇÐ ±âÇÏÇÐÀû ¼º´É
  • º¯Çü¹æÁö, ÃÊÁ¤¹Ð ±³Â÷ ·Ñ·¯ º£¾î¸µ
  • ´ëºÐ·ù- À¯È¿°Å¸®¿Í Á¤È®µµ¿¡¼­ÀÇ 9°¡Áö ¸ðµ¨

¿¡¾î·ÎÅØÀÇ PlanarDL ½Ã¸®Áî ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¼ÒÇüÀÇ low-profile ¾È¿¡¼­ ¶Ù¾î³­  Çü»ó ¹× µ¿Àû ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.

´Ù¾çÇÑ À¯È¿°Å¸®¿Í ¼º´É ¿É¼ÇµéÀº ÀÀ¿ëÇÁ·Î±×·¥ ¹üÀ§¸¦ Ç¥¸é Çü»óÃøÁ¤±â¹Ý ¿¡¼­ºÎÅÍ LED wafer scribing ±îÁö °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÕ´Ï´Ù.

 

Ź¿ùÇÑ µðÀÚÀÎ

The PlanarDL XY µðÀÚÀÎÀº Á÷Áøµµ¿Í Æòźµµ°¡ Áß¿äÇÑ ÀÀ¿ëÇÁ·Î±×·¥¿¡¼­ ¿ì¼öÇÑ Æò¸é ±âÇÏÇÐÀû ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ³ôÀº Á¤¹Ð º¯Çü¹æÁö, ±³Â÷ ·Ñ·¯ º£¾î¸µ, ÃÊÁ¤¹Ð °¡°øÇ¥¸é°ú ¿¡¾î·ÎÅØ ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ°¡ ÃàÀÇ °­¼ºÁß½ÉÀ» Åë°úÇÏ¿© ƯÀÌÇÑ ±âÇÏÇÐÀû °øÂ÷·Î Positioning stage ¸¦ ¸¸µé¾î ³À´Ï´Ù.

The PlanarDL±¸Á¶¿ä¼Ò´Â ³ôÀº ¿ªÇаú °¡Àå ±î´Ù·Î¿î µ¿Àû ¾îÇø®ÄÉÀ̼ÇÀ» À§ÇÑ °í°­¼º¿¡ ÃÖÀûÈ­µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù.1 m/sÀÇ ¼Óµµ¿Í 1.5 g °¡¼Óµµ¸¦ ´Þ¼ºÇÒ¼ö ÀÖ the PlanarDL Àº ³ôÀº ó¸®À²°ú ³ôÀº Á¤È®¼ºÀ¸·Î ¿ì¼öÇÑ °øÁ¤¼öÀ²°ú ³·Àº ÃÑ ¼ÒÀ¯ºñ¿ëÀÇ °á°ú¸¦ °¡Á®¿É´Ï´Ù. °æÀï Á¦Ç°°ú ´Þ¸® ¼øȯ º£¾î¸µÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ÀÌ µðÀÚÀο¡ »ç¿ëµÈ º¯Çü ¹æÁö ±³Â÷·Ñ·¯ º£¾î¸µÀº ºÎµå·¯¿î ¿òÁ÷ÀÓÀÌ ½ºÄµ ÀÀ¿ëÇÁ·Î±×·¥¿¡ ´ëÇÑ ÀÌ»óÀûÀÎ ´Ü°è ¼Ö·ç¼ÇÀ» Çã¿ëÇÕ´Ï´Ù.

 

ºñÁ¢ÃË ´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀÌºê ±â¼ú

ºñÁ¢ÃË Àü¿ë, ´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀÌºê ±â¼úÀº À¯Áöº¸¼ö°¡ ÇÊ¿ä¾ø´Â °¡µ¿ ¹× ±ä ¼­ºñ½º ¼ö¸í°ú ÇÔ²² ³ôÀº¼Óµµ¿Í Á¤È®ÇÑ À§Ä¡¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. PlanarDL ÀÇ ÇÙ½ÉÀº ¿¡¾î·ÎÅØ °íÀ¯ÀÇ ´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀÌºê ±â¼úÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ µå¶óÀÌºê ±â¼úÀº ´Ù¸¥ °æÀï ½ºÅ©·ù ±â¹Ý ¹× ¼±Çü ¸ðÅÍÀÇ µðÀÚÀο¡ ºñÇØ ¶Ù¾î³­ ¼º´ÉÀ» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

The PlanarDL-200XY °ú -300XY stages ´Â ƯÁ¤ ÀÀ¿ëÇÁ·Î±×·¥°ú ÇÁ·Î¼¼½º¿¡ ´ëÇÑ °¢°¢ÀÇ Ãà ÃÖÀûÈ­¸¦ Çã¿ëÇÏ´Â µÎ Ãึ´Ù Çϳª ¶Ç´Â µÎ°³ÀÇ ¸ðÅÍ¿Í ÇÔ²² »ç¿ëÇÒ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¼±ÅÃÇÑ ¸ðÅÍÀÇ ¼ö·®¿¡ »ó°ü¾øÀÌ ±¸µ¿·Â ¸¶Âû°ú °­¼ºÀÇ Áß½ÉÀ» ÅëÇÑ µå¶óÀ̺ê´Â ±âÇÏÇÐÀû ¼º´É ¹× Á¤È®µµ°¡ ¶Ù¾î³³´Ï´Ù.

 

ÅëÇÕ ÄÉÀÌºí °ü¸®

The PlanarDL ÀÇ ÄÉÀÌºí °ü¸® ½Ã½ºÅÛÀº ½ºÅ×ÀÌÁö¿¡ ÅëÇÕµÇ¸ç ±ä ¼ö¸í°ú ¿À·¡°¡´Â ¼º´ÉÀ¸·Î ÃÖÀûÈ­ µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. Ãß°¡ÀûÀÎ ±âº»¿É¼ÇÀº ´Ù¸¥ °ø¾Ð°úÁ¤À̳ª Áø°øô¿¡ ´ëÇÑ °ø±â/ Áø°ø¶óÀΠȤÀº Ãß°¡ ¼­º¸Ãà¿¡¼­ ÀÌ¿ë°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.

 

Á¤¹ÐÇÑ À§Ä¡ ¼³Á¤

The PlanarDL ´Â ¼¼°¡Áö À§Ä¡¿É¼Ç ¼º´É¿¡¼­ »ç¿ëÇÒ¼ö ÀÖ´Ù. ¼ö½Ê³âÀÇ ½Ã½ºÅÛ ·¹º§ µðÀÚÀÎ °æÇèÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î À§Ä¡¿ªÇÐ »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î, ÀüÀÚ¸¦ Æ÷ÇÔÇÏ¿© ¿¡¾î·ÎÅØÀº Á¤¹Ðµµ¸¦ ÇÑÃþ ¾÷±×·¹À̵å½ÃŲ ÷´Ü ±â¼úÀ» °³¹ßÇß½À´Ï´Ù. °í¼º´É-PLUS ¿Í ULTRA ¿É¼ÇÀº  ¡¾400 nm ±îÁöÀÇ Á¤È®µµ¿Í Á÷Áøµµ°¡ °¡´ÉÇϸç 1 arc second ·ÎÀÇ Á÷±³°¡ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.

 


¾Ö´Ï¸ð¼ÇÅØ È¨ÆäÀÌÁö¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.
257/19,091