디자인 특징
- INTERGRATED, LOW-PROFILE, XY, Linear-Motor Stage
- 우수학 기하학적 성능
- 변형방지, 초정밀 교차 롤러 베어링
- 대분류- 유효거리와 정확도에서의 9가지 모델
에어로텍의 PlanarDL 시리즈 스테이지는 소형의 low-profile 안에서 뛰어난 형상 및 동적 성능을 제공합니다.
다양한 유효거리와 성능 옵션들은 응용프로그램 범위를 표면 형상측정기반 에서부터 LED wafer scribing 까지 가능하게 합니다.
탁월한 디자인
The PlanarDL XY 디자인은 직진도와 평탄도가 중요한 응용프로그램에서 우수한 평면 기하학적 성능을 제공합니다. 높은 정밀 변형방지, 교차 롤러 베어링, 초정밀 가공표면과 에어로텍 리니어 모터가 축의 강성중심을 통과하여 특이한 기하학적 공차로 Positioning stage 를 만들어 냅니다.
The PlanarDL구조요소는 높은 역학과 가장 까다로운 동적 어플리케이션을 위한 고강성에 최적화되어 있습니다.1 m/s의 속도와 1.5 g 가속도를 달성할수 있 the PlanarDL 은 높은 처리율과 높은 정확성으로 우수한 공정수율과 낮은 총 소유비용의 결과를 가져옵니다. 경쟁 제품과 달리 순환 베어링을 사용하여 이 디자인에 사용된 변형 방지 교차롤러 베어링은 부드러운 움직임이 스캔 응용프로그램에 대한 이상적인 단계 솔루션을 허용합니다.
비접촉 다이렉트 드라이브 기술
비접촉 전용, 다이렉트 드라이브 기술은 유지보수가 필요없는 가동 및 긴 서비스 수명과 함께 높은속도와 정확한 위치를 제공합니다. PlanarDL 의 핵심은 에어로텍 고유의 다이렉트 드라이브 기술입니다. 이 드라이브 기술은 다른 경쟁 스크류 기반 및 선형 모터의 디자인에 비해 뛰어난 성능을 가지고 있습니다.
The PlanarDL-200XY 과 -300XY stages 는 특정 응용프로그램과 프로세스에 대한 각각의 축 최적화를 허용하는 두 축마다 하나 또는 두개의 모터와 함께 사용할수 있습니다. 선택한 모터의 수량에 상관없이 구동력 마찰과 강성의 중심을 통한 드라이브는 기하학적 성능 및 정확도가 뛰어납니다.
통합 케이블 관리
The PlanarDL 의 케이블 관리 시스템은 스테이지에 통합되며 긴 수명과 오래가는 성능으로 최적화 되어 있습니다. 추가적인 기본옵션은 다른 공압과정이나 진공척에 대한 공기/ 진공라인 혹은 추가 서보축에서 이용가능합니다.
정밀한 위치 설정
The PlanarDL 는 세가지 위치옵션 성능에서 사용할수 있다. 수십년의 시스템 레벨 디자인 경험을 바탕으로 위치역학 뿐만 아니라 소프트웨어, 전자를 포함하여 에어로텍은 정밀도를 한층 업그레이드시킨 첨단 기술을 개발했습니다. 고성능-PLUS 와 ULTRA 옵션은 ±400 nm 까지의 정확도와 직진도가 가능하며 1 arc second 로의 직교가 가능합니다.
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PlanarDL
