에어로텍은 오랜기간 고객의 핵심 응용 수요를 직접 충족시키기 위해 세계최고의 성능을 가진 모션 시스템을 개발 및 제작하여 왔습니다. 이러한 노력의 결과 반도체, 의료 및 군사/항공을 포함한 다양한 산업에서 핵심 기술을 활용할 수 있었습니다. 이러한 폭넓은 역사와 경험으로 PLANARHD 라는 “높은 동력”의 에어베어링 모션플랫폼을 개발하게 되었습니다. 아주 엄격한 형상적 특성을 유지하면서도 극도의 고성능을 요구하는 응용을 위하여 모든 부품과 시스템 특성은 실현 가능한 최고의 동적인 성능을 제공하기 위해 선정되었습니다. PlanarHD 설계 특성
The PlanarHD에어베어링스테이지는 2m/s의 스캔속도와 5g까지의 가속도를 제공함으로써 처리량을 최대화하기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 설계는 에어베어링의 견고성을 향상시키고 이동무게를 줄이는 고도의 공학적인 기계구조를 활용하고 있습니다. 게다가, 힘의 중심과 무게중심의 위치는 에러모션을 감소시키는 처리량으로 될 수 있도록 기생하는 힘을 줄이기 위해 최적화 되어 있습니다.
스테이지 성능을 더욱 향상시키기 위해, PlanarHD는 X와 Y축 양쪽에 측면 예압인 Air-On-Air방식을 사용합니다. 이 예압방법은 베어링 상승과 예압의 균형을 위해 대립되는 양의 압력 공기 막을 사용 합니다. 동적 베어링의 힘에 균형을 이루는 방법은 PlanarHD에 최고의 견고성을 갖추게 하며 이는 보다 방향 전환과 최소의 안정화시간을 제공하게 됩니다.
PlanarHD는 오로지 하나의 진공예압 처리된 겐트리 축에 의지하는 획일적인 L-설계와 달리, 에어로텍의 겐트리 축은 듀얼 리니어 모터와 듀얼 리니어 엔코더를 채용한 듀얼 에어베어링 H-브리지 설계입니다. 이것은 직교성/요 제어의 추가적인 장점을 제공하면서 방향 전환 성능을 더욱 향상시킵니다. 더 신속한 전환은 더 높은 처리량과 더 작은 스테이지크기를 의미하고, 직교 제어는 공정경로가 웨이퍼 표면 전체에 걸쳐 평행하다는 것을 의미합니다.
피드백 시스템
리니어 엔코더와 레이저 간섭계 옵션이 모두 가능합니다. PlanarHD는 3개의 높은 정확도를 가진 리니어 인코더를 채용하며, 기본적으로 하나는 브리지 축에 나머지 두개는 겐트리 축에 결합합니다. 각각 엔코더가 탑재되어 아베 에러를 감소시키기 위해 눈금 중심선이 가능한 한 작업면에 가깝게 있습니다. 엔코더 재질과 탑재방식은 모두 열 유도에 의한 정확도 에러를 해결하기 위해 특별히 선정되었습니다.
구동 시스템
PlanarHD성능의 핵심은 에어로텍의 BLM 시리즈 브러시리스 리니어 서보모터의 사용입니다. BLM 시리즈 리니어 모터는 인력이 없는 ‘0’코깅 모션을 제공하는 아이언리스 사용하여 결과적으로 극도의 부드러운 모션을 만들어 냅니다. 게다가, BLM 시리즈 리니어 모터는 어떠한 경쟁제품의 모터 디자인보다 단위 부피당 최고의 힘을 생성합니다. 또한, PlanarHD는 수냉 및 공냉의 열관리 옵션을 모두 갖추고 있습니다.
고급 제어 구조
PlanarHD 는 에어로텍의 고급 A3200 제어 시스템과 결합합니다. A3200은 고성능 FireWire 네트워크 구동과 함께 100% 디지털 시스템입니다. 완벽한 디지털 구조는 전류, 속도, 그리고 위치 서보 루프를 최적화하여 최고의 성능을 가능하게 합니다. 최적의 시스템 성능을 유지하기 위하여, 위치 동기화 레이저 발사 출력(PSO) 기능이 스테이지 속도에 맞춰 자동적으로 레이저 펄스 주파수를 조정하는 동안에 Multi-block Look-ahead와 같은 고급 궤적 생성 기능은 빠른 방향 전환 중에 기하학적 에러를 최소화합니다. | 
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