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마이크로미터 또는 특허등록된 마이크로 이하의 세밀 분해능 드라이브
이동거리 : 12mm 또는 25mm,
50mm
우수한 포지셔닝 성능을 위한 크로스 롤러 베어링
저상 형상 |
*U.S. Patent
No. 3,727,471
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에어로텍의 저상 형상의 ATS25 시리즈 스테이지는 부드럽고 정밀한 리니어 이동을 제공합니다. ATS25 시리즈 스테이지는
에어로텍의 특허등록된 마이크로미터 이하 세밀 분해능 드라이브와 함께 제공됩니다. 이 드라이브는 대구간 조절 손잡이가 있어 신속한 이동이 가능하며
세밀구간 조절 손잡이가 있어 25nm분해능이 가능합니다.
예압처리된 크로스 롤러 베어링은 리니어 볼-베어링 시스템 대비 더큰 하중
운반 용량과 더 양호한 기하형상 정확성을 제공합니다. 이 스테이지는 X-Y와 X-Y-Z 응용분야에서 보다 더 용이하게 탑재가 가능합니다.
옵션으로, 탑재 브라켓-HDZ3S-는 수직 탑재용 응용분야에 가용합니다.
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| Range |
12.5 mm (0.5 in) |
25 mm (1 in) |
| Thimble Graduation |
Micrometer Spindle |
1 micron (40 μin) |
| Sub-Micron Drive |
0.1 micron (4 μin) |
| Resolution(1) |
25 nm |
| Max Load |
Horizontal |
22.7 kg (50 lb) |
| Vertical |
9.09 kg (20 lb) |
| Straightness and Flatness of Travel |
0.5 micron (±20 μin) |
| Repeatability (Unidirectional) |
1 μm (20 nm) |
| Material |
Aluminum |
| Finish |
Black Anodize |
| Weight |
0.45 kg (1 lb) |
0.9 kg (2 lb) |
Note:
1. Per 0.5° movement of the fine adjustment
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ATS Series Linear |
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ATS25-12DM
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12.5 mm (0.5 in) travel stage with Aerotech patented differential screw drive |
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ATS25-25DM |
25 mm (1 in) travel stage with Aerotech patented differential screw drive |
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ATS25
