ATS150
특징 | 사양 | 외형도 | 품명보는 법

● 긴 수명의 리니어 모션 가이드 베어링 시스템
● 초미세 분해능
● 완전한 주름상자형 통로커버
● 저상 형상, 콤팩트한 디자인
● 마이크로미터 이하의 정확성
● 고정밀 리니어 엔코더(옵션)

 

 

ATS150 시리즈 모터-구동 linear 스테이지는 반도체 웨이퍼 시험 및 제작, 자동 현미경 검사시스템, 그리고 정밀 마이크로 기계가공 적용분야에 요구되는 고도의 분해능과 반복성을 제공합니다.

구축 특징
ATS150시리즈 스테이지는 장기간의 안정성과 높은 힘對중량을 제공하는 특수 경량 알미늄 합금을 기계 가공한 것입니다. 기반은 독점적인 견고성과 안정성을 제공하는 박스 디자인입니다.

ATS150 시리즈 스테이지는 정밀-연마 볼스크류를 채택하며, 백레쉬를 없애기 위해 예압 처리됩니다. nut는 스테이지의 전체 사용기간동안 높은 정밀도를 유지하고 오염을 방지하는 와이퍼가 있습니다. 고품질, 예압처리된 이중의 베어링은 축방향의 흔들림을 없애줍니다.

모든 ATS150시리즈 스테이지는 linear motion guide(LMG) 베어링을 장착합니다. LMG 디자인은 전체 이동경로에 대해 연속적인 운반지원과 양호한 캔틸레버 하중 용량을 가진 콤팩트한 스테이지를 제공합니다. 베어링 트럭상의 종합적인 와이퍼는 스테이지 이동 수명을 보장하는데 도움을 줍니다. 또한 고도의 정확한 광 리미트 스위치와 끝단 정지기능이 표준사양입니다.

주름-타입 통로커버는 드라이버와 베어링시스템의 오염을 막아줍니다. 금속표면은 매력적인 투명한 아노다이즈 후처리로 보호됩니다. 미터식(표준식)과 인치식 탑재와 볼트-구멍 형식 모두 유용합니다.

Linear 엔코더
정밀 비접촉 linear 엔코더는 선택사양입니다. 엔코더는 스테이지의 내부에 장착되어 외부의 오염과 파편으로부터 보호됩니다.

모터와 드라이브
에어로텍의 BMS 시리즈 brushless 로터리 모터는 ATS150 시리즈 스테이지에 포함되어 있습니다. 이 모터는 brushless 모터의 모든 장점을 - 고가속성, 마모성 brushless 없음, 저온발열 - 가지고 있습니다. 또한 극도의 부드러운 motion과 정확성을 위해 cogging이 전혀 없습니다.  

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