75nm ¾ç¹æÇ⠹ݺ¹¼º
ÃÊÁ¤¹Ð ¸ð¼Ç¿ë ´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀÌºê ¸®´Ï¾î
¸ðÅÍ
°í Á¤¹Ðµµ ºñÁ¢ÃË ±Û¶ó½º ½ºÄÉÀÏ ¸®´Ï¾î ¿£ÄÚ´õ
ºÎµå·¯¿î ¸ð¼ÇÀ» À§ÇÑ ÄÉÀÌÁö º¯Çü ¾ïÁ¦ Å©·Î½º·Ñ·¯
º£¾î¸µ
ÀÛÀº Á¢Áö¸éÀ¸·Î Ź¿ùÇÑ ¼º´É ±¸Çö
¿¬¼ÓÀûÀÎ Èû 23 N (5.2 lb)ÀÇ ¸®´Ï¾î ¼º¸
¸ðÅÍ | |
| ³ª³ë¹ÌÅÍ ÀÌÇÏÀÇ ºÐÇØ´É°ú ¿ì¼öÇÑ ¾ç¹æÇ⠹ݺ¹¼º, ±×¸®°í, ¶Ù¾î³ Àú¼Ó ¼º´ÉÀ» Áö´Ñ
ALS130H´Â °í¼º´É ½ÃÇè°ú ÃøÁ¤, °Ë»ç, ±×¸®°í, ´Ù¸¥ ±î´Ù·Î¿î ÀÀ¿ë¿¡ ´ëÇÑ ÃÖ»óÀÇ ¼Ö·ç¼Ç ÀÔ´Ï´Ù.
¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ
±¸µ¿ Ãø¸é ±¸µ¿ ¸®µå ½ºÅ©·ù¸¦ È°¿ëÇÏ´Â ¸¹Àº ½ºÅ×ÀÌÁö¿Í ´Þ¸®, ALS130H´Â ±¸µ¿ÇÏ´Â ¿ä¼Ò·Î Áß¾Ó ±¸µ¿, ÄÚ±ë ¾ø´Â ¸®´Ï¾î ¸ðÅ͸¦
äÅÃÇÕ´Ï´Ù. ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ°¡ ´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀ̺ê ÀåÄ¡À̱⠶§¹®¿¡, ÀϹÝÀûÀÎ ¸®µå ½ºÅ©·ù³ª º¼ ½ºÅ©·ù ±¸µ¿¿¡ °ü·ÃµÇ¾î ÀÖ´Â ¹é·¡½Ã, °¨±è, ¶Ç´Â
¡°Á¤Áö¸¶Âû¡±ÀÌ ¾ø½À´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ, ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ ±¸µ¿Àº ´õ ³ôÀº ¼Óµµ¿Í °¡¼ÓµµÀÇ ÀÌÁ¡À» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ÄÞÆÑÆ® Çϸ鼵µ °·ÂÇÑ ¸®´Ï¾î
¸ðÅÍ´Â ÃÖ´ë 1gÀÇ ¹«ºÎÇÏ °¡¼Óµµ¿Í 300 mm/sÀÇ ÃÖ´ë ¼Óµµ·Î ALS130H¸¦ ±¸µ¿ÇÕ´Ï´Ù. ±× °á°ú ºñ±³µÇ´Â °í Á¤¹Ðµµ ½ºÅ©·ù ±¸µ¿
½ºÅ×ÀÌÁö¸¦ ÈξÀ ´É°¡Çϴ Ź¿ùÇÑ Ã³¸®´É·ÂÀ» °¡Áø °í¼º´É ½ºÅ×ÀÌÁö·Î Æò°¡ ¹Þ½À´Ï´Ù.
¶Ù¾î³ ºÐÇØ´É Á¤·Ä ÀÀ¿ë¿¡¼´Â
¿ì¼öÇÑ ½ºÅÜ´ç ºÐÇØ´ÉÀÌ ÇÙ½ÉÀÔ´Ï´Ù. ALS130H´Â ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ÄÁÆ®·Ñ·¯¿Í °áÇÕÇßÀ» ¶§ 0.5nmÀÇ ºÐÇØ´ÉÀ¸·Î ÀÌ·¯ÇÑ ¿ä±¸Á¶°ÇÀ» ÃæÁ·½Ãŵ´Ï´Ù.
ALS130H´Â ´ÙÀÌ·ºÆ® µå¶óÀÌºê ¸®´Ï¾î ¸ðÅ͸¦ »ç¿ëÇÏ¿© Á¤¹ÐÇϸç ÀÛÀº ºÐÇØ´É ½ºÅÜÀ» ¸¸µé¼ö Àִµ¥, ÀÌ°ÍÀº ½ºÅÜ Á¤¹Ðµµ°¡ ÇÙ½ÉÀÎ Á¤·Ä ÀÀ¿ë¿¡
ƯÈ÷ Áß¿äÇÕ´Ï´Ù. °Ô´Ù°¡, ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ¿Í ³ôÀº ºÐÇØ´É ¿£ÄÚ´õ ½Ã½ºÅÛÀº Ź¿ùÇÑ À§Ä¡ ³» ¾ÈÁ¤¼ºµµ Á¦°øÇÏ¿© ÁÝ´Ï´Ù.
¿ì¼öÇÑ
Á¦Ç° ±¸Á¶ ¿¡¾î·ÎÅØÀÇ ¸Å¿ì °ß°íÇÑ ±¸Á¶¿Í ÄÞÆÑÆ®ÇÑ 2°³ ºÎÇ° ¼³°è´Â ºñ±æµ¥ ¾ø´Â Á¦Ç° ±¸Á¶ Çã¿ëÄ¡¸¦ °¡Áø ½ºÅ×ÀÌÁö¸¦ ±¸ÇöÇÕ´Ï´Ù. ±×
°á°ú, Ç¥ÁØ ½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ Á÷Áøµµ¿Í ÆíÆòµµ´Â Àüü À̵¿°Å¸®¿¡ ´ëÇØ <¡¾2 ÀÔ´Ï´Ù.
ºÎµå·¯¿î À̵¿(Smooth
Travel) ºÎµå·¯¿ì¸ç, Áøµ¿ÀÌ ¾ø´Â ¸ð¼ÇÀ» ¸ñÀûÀ¸·Î ¼³°èµÈ ALS130H´Â ¸ð¼ÇÀÇ ¶Ù¾î³ ºÎµå·¯¿òÀ» À§ÇØ Á¤¹ÐÇÑ ÄÉÀÌÁö º¯Çü
¾ïÁ¦ Å©·Î½º·Ñ·¯ º£¾î¸µÀ» »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù. º£¾î¸µ ½Ã½ºÅÛÀ̳ª ±¸µ¿ ½Ã½ºÅÛ Áß ¾î´À °Íµµ ÀÓÀÇÀÇ Àç ¼øȯ ¿ä¼Ò¸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê±â ¶§¹®¿¡, ALS130H´Â
½ºÄ³´×°ú °Ë»ç ÀÀ¿ë¿¡ ¿ä±¸µÇ´Â ¿ì¼öÇÑ ¸®Çà ¾ø´Â ¸ð¼ÇÀ» ½ÃÇöÇÕ´Ï´Ù.
Àå¼ö¸í ¼³°è ¿¡¾î·ÎÅØ Á¦Ç°±º¿¡ ÀÖ´Â ¸ðµç
½ºÅ×ÀÌÁöó·³, ALS130H´Â ¿À·£ ±â°£ÀÇ ¿ì¼öÇÑ ¼º´ÉÀ¯Áö¸¦ À§ÇØ ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ¿Í ¸®´Ï¾î ¿£ÄÚ´õ ¸ðµÎ ºñ Á¢ÃË ÀåÄ¡·Î¼ Àå¼ö¸íÀ»
±¸ÇöÇÏ´Â °Í »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ÀüüÀûÀ¸·Î À¯Áö º¸¼ö°¡ ÇÊ¿ä°¡ ¾ø½À´Ï´Ù. À̵¿ ÇÏ´Â ÀÚ¼® Æ®·¢ ¼³°è´Â ÄÉÀÌºí °ü¸®ÀÇ Çʿ伺¸¦ ¾ø¾Ö°í ³ª¾Æ°¡ ¿À·£ ±â°£
µ¿¾È ½Å·Ú¼ºÀ» Çâ»ó½ÃÄÑ ÁÝ´Ï´Ù.
Á¤¹ÐÇÑ Á¤·Ä ALS130H ½Ã¸®Áî ½ºÅ×ÀÌÁö´Â XY Á¶¸³À¸·Î ½±°Ô ±¸¼ºµË´Ï´Ù.
¿É¼ÇÀº 5arcsec±îÁöÀÇ Á¤¹ÐÇÑ Á÷±³ Á¤·Ä°ú À¯¿ëÇÑ ¼öÁ÷ Ãà ¼Ö·ç¼ÇÀ» Æ÷ÇÔÇÕ´Ï´Ù.
|
|