 |
|
소개
에어로텍의 ANT 시리즈 스테이지는 세계의 첫 수백미터 이동구간의
나노미터급 위치 시스템입니다. ANT95-V 및 ANT95-V-PLUS는 리니어 모터 구동 쐐기형 수직 이송 스테이지입니다. 스테이지는
뛰어난 다축 성능을 위해 ANT95부류에서 다른 스테이지와 균일하게 통합되도록 설계되었고, 두 급의 정확성을
제공받습니다
비접촉 직접
구동
본래의 모든 ANT시리즈 직접 구동 이점은 ANT95-V 제품군에서
지켜왔습니다. 오직 비접촉 직접 구동 기술은 정밀 장치의 대량 생산에 필요한 견고하고, 정확하며 고속의 위치 결정을 제공합니다. ANT95-V
스테이지는 가장 높은 수준의 위치 성능을 내기 위해 에어로텍에 의해 개척된 고급 직접 구동 기술을 이용합니다. 이 직접
구동 기술은 고성능, 무코깅, 비접촉, 고속, 고해상고, 고정확 입니다. 극도로 작은 프로파일 및 차지하는 공간이 패키지 되어있는 이
특이한 구동 및 베어링 조합은 고정밀위치, 디스크드라이브 제작, 섬유 정렬, 광학 지연 요소 발동작용, 센서 테스팅, 매끈하고 정밀한
모션을 요구하는 스캐닝 과정과 같은 많은 응용분야에서 감지할 수 있는 이점을
제공합니다.
유연한 시스템
설계
ANT95-V 제품군은 쉬운 시스템 조립을 가능하게 하는 일반적인
설치 및 테이블탑 패턴을 가지고 있습니다. 2축, 3축, 더 많은 축은 유연한 시스템 설계 및 다축 조성에 쉽게 결합될 수
있습니다.
시스템
특징
뛰어난 정확도, 위치 반복도, 정위치 안정도는 높은 시스템 해결책을
요구합니다. ANT95-V 스테이지의 선두 산업 1nm 최소 증가 단계 사이즈는 높은 수준의 성능을 제공합니다. 훌륭한 정위치 안정성은 고급,
안티 크립, 크로스 롤러 베어링에 의해 지원받습니다. 스테이지는 제품 수명에서 사실상 유지보수가 없는 작동을 제공합니다. 에어로텍의 다이렉트
드라이브 기술은 이력현상 또는 백래쉬가 없으며, 정확하고 반복적인 나노미터급 모션을 가능하게 합니다.
| |
| Travel |
3 mm |
| Accuracy(1) |
±2 μm (±80 μin) |
±200 nm (±8 μin) |
| Resolution |
1 nm (0.04 μin) |
| Repeatability
(Bi-Directional)(1) |
±150 nm (±6 μin) |
±100 nm (±4 μin) |
| Repeatability (Uni-Directional) |
±75 nm (±3 μin) |
| Straightness(2) |
±1.0 μm (±40 μin) |
| Pitch(1) |
20 arc sec |
| Roll(1) |
10 arc sec |
| Yaw(1) |
10 arc sec |
| Maximum Speed |
75 mm/s (3 in/s) |
| Maximum Acceleration |
0.4 g - 4 m/s2 (No Load) |
| Settling Time |
See graphs for typical performance |
| In-Position Stability(3) |
<1 nm (<0.04 μin) |
| Maximum Force (Continuous) |
71 N |
| Load Capacity(4) |
1.5 kg (3.3 lb) |
| Moving Mass |
1.1 kg (2.42 lb) |
| Stage Mass |
2.0 kg (4.4 lb) |
| Material |
Aluminum and Stainless-Steel Body/Black Hardcoat
Finish/Black Anodize Finish |
| MTBF (Mean Time Between Failure) |
30,000 Hours |
Notes:
1. Certified with each stage.
2. Measured
perpendicular or parallel to wedge direction.
3. In-Position Stability
listing is 3 sigma value.
4. Assumes loading along axis of travel.
•
Specifications are per axis, measured 25 mm above the tabletop. Performance of
multi-axis systems is payload and workpoint dependent. Consult factory for
multi-axis or non-standard
applications. • -PLUS requires the use of an
Aerotech controller.
| Drive System |
Brushless Linear Servomotor |
| Feedback |
Noncontact Linear Encoder |
| Maximum Bus Voltage |
±40 VDC |
| Limit Switches |
5 V, Normally Closed |
| Home Switch |
Near Center |
| Multi-Axis |
A3200 |
Npaq-MXR |
| Npaq MR-MXH |
| Ndrive ML-MXH |
| Ensemble |
Epaq-MXH |
| Epaq MR-MXH |
| Ensemble ML-MXH |
| Single Axis |
Soloist |
Soloist ML-MXH | Notes:
1.
Linear amplifiers are required to achieve the listed specifications. Other
options are available.
Note: To ensure the achievement and
repeatability of specifications over an extended period of time, environmental
temperature must be controlled to within 0.25°C/24 hours. If this is not
possible, alternate products are available. Please consult Aerotech Sales
Engineering for more information.
|
|
적용 예 |
|
ANT95-V Series Lift Stage
|
|
ANT95-V/ANT95-V-PLUS |
Aerotech’s nanotranslation crossed-roller bearing
vertical lift positioner |
|
Linear Stage Travel |
|
ANT95-3-V |
3 mm vertical travel lift stage with proprietary
direct-drive motor technology, 1 Vp-p sinusoidal output linear encoder and
limits |
|
ANT95-3-V-PLUS
|
3 mm vertical travel lift stage with proprietary
direct-drive motor technology, 1 Vp-p sinusoidal output linear encoder and
limits (High Accuracy Version) |
|
Options |
|
-MP |
Breadboard mounting plate |
|
|
|
|
ANT-95-3-V
