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ANT95-R

특징

사양

외형도

품명보는 법

ANT95-R및 ANT95-R-PLUS 다이렉트 드라이브 로터리 스테이지는 에어로텍의 나노 모션 기술 제품 류의 부분으로 설계되었습니다. 우리의 로터리 스테이지는 전례 없는 정위치 안정성(0.005아크 세크) 및 서브 0.01 아크 세크 증가 모션 성능을 제공하고, 두 개의 등급 정확도로 제공합니다.

다축 역량
ANT95-R시리즈는 에어로텍의 양립가능성 및 ANT리니어 스테이지 제품 제공의 쉬운 통합에 대해 설계되었습니다. 이 스테이지와 같이 거의 나노제조 또는 점검 응용분야에 대해 정확도, 안정도, 작은 사이즈 성능 역량을 제공합니다.

역학 성능
고정밀 등급에 더하여, 이 시스템은 높은 역학 성능을 제공하고, 디스크 드라이브 제조 및 테스트에 이상적인 처리량을 제공합니다.

내구성
ANT95-R 스테이지 시리즈는 1년 내내 제조환경에서 작동하도록 설계되었습니다. 다른 로터리 장치에 달리, ANT95-R은 정기 보수를 요구하지 않고, 고장 없는 작동을 확신합니다.

Mechanical Specifications		ANT95-20-R	ANT95-20-R-PLUS	ANT95-180-R	ANT95-180-R-PLUS	ANT95-360-R	ANT95-360-R-PLUS
Rotation Angle		20°	20°	180°	180°	±360° Continuous	±360° Continuous
Accuracy⁽¹⁾		10 arc sec	3 arc sec	10 arc sec	3 arc sec	10 arc sec	3 arc sec
Resolution		0.01 arc sec	0.01 arc sec	0.01 arc sec	0.01 arc sec	0.01 arc sec	0.01 arc sec
Repeatability (Bi-Directional)⁽¹⁾		1.5 arc sec	1.5 arc sec	1.5 arc sec	1.5 arc sec	1.5 arc sec	1.5 arc sec
Repeatability (Uni-Directional)		0.5 arc sec	0.5 arc sec	0.5 arc sec	0.5 arc sec	0.5 arc sec	0.5 arc sec
Tilt Error Motion	Synchronous	NA	NA	NA	NA	10 arc sec	10 arc sec
Tilt Error Motion	Asynchronous	NA	NA	NA	NA	3 arc sec	3 arc sec
Axial Error Motion(1)	Synchronous	NA	NA	NA	NA	2 μm	2 μm
Axial Error Motion(1)	Asynchronous	NA	NA	NA	NA	0.5 μm	0.5 μm
Radial Error Motion⁽¹⁾	Synchronous	NA	NA	NA	NA	3 μm	3 μm
Radial Error Motion⁽¹⁾	Asynchronous	NA	NA	NA	NA	1 μm	1 μm
Maximum Speed		20 rpm	20 rpm	20 rpm	20 rpm	200 rpm	200 rpm
Maximum Acceleration		400 rad/s²	400 rad/s²	400 rad/s²	400 rad/s²	400 rad/s²	400 rad/s²
In-Position Stability⁽²⁾		0.005 arc sec	0.005 arc sec	0.005 arc sec	0.005 arc sec	0.005 arc sec	0.005 arc sec
Aperture		11 mm (0.433 in)	11 mm (0.433 in)	11 mm (0.433 in)	11 mm (0.433 in)	11 mm (0.433 in)	11 mm (0.433 in)
Maximum Torque (Continuous)		0.2 Nm	0.2 Nm	0.2 Nm	0.2 Nm	0.2 Nm	0.2 Nm
Load Capacity⁽³⁾	Axial	2.0 kg (4.4 lb)	2.0 kg (4.4 lb)	2.0 kg (4.4 lb)	2.0 kg (4.4 lb)	2.0 kg (4.4 lb)	2.0 kg (4.4 lb)
	Radial	1.5 kg (3.3 lb)	1.5 kg (3.3 lb)	1.5 kg (3.3 lb)	1.5 kg (3.3 lb)	1.5 kg (3.3 lb)	1.5 kg (3.3 lb)
	Moment	2 Nm	2 Nm	2 Nm	2 Nm	2 Nm	2 Nm
Rotor Inertia (Unloaded)		0.00065 kg-m²	0.00065 kg-m²	0.00066 kg-m²	0.00066 kg-m²	0.00069 kg-m²	0.00069 kg-m²
Stage Mass		1.2 kg (2.6 lb)	1.2 kg (2.6 lb)	1.2 kg (2.6 lb)	1.2 kg (2.6 lb)	1.2 kg (2.6 lb)	1.2 kg (2.6 lb)
Material		Aluminum Body/Black Hardcoat Finish
MTBF (Mean Time Between Failure)		30,000 Hours

Notes:
1. Certified with each stage. Requires the use of an Aerotech controller.
2. In-Position Jitter listing is 3 sigma value.
3. Axis orientation for on-axis loading is listed.
• Specifications are per axis, measured 25 mm above the tabletop. Consult factory for multi-axis or non-standard applications.
• All error motion specifications are measured at 60 rpm.
• For high speed operation, customer payload must be balanced to G1.0 per ISO 1940.

Electrical Specifications	ANT95-20-R ANT95-20-R-PLUS	ANT95-180-R ANT95-180-R-PLUS	ANT95-360-R ANT95-360-R-PLUS
Drive System	Slotless, Brushless, Direct-Drive Rotary Motor
Feedback	Noncontact Rotary Encoder
Maximum Bus Voltage	±80 VDC
Limit Switches	5 V, Normally Closed
Home Switch	Near Center

Recommended Controller		ANT95-20-R ANT95-20-R-PLUS	ANT95-180-R ANT95-180-R-PLUS	ANT95-360-R ANT95-360-R-PLUS
Multi-Axis	A3200	Npaq MXR Npaq MR-MXH Ndrive ML-MXH
	Ensemble	Epaq MXR Epaq MR-MXH Ensemble ML-MXH
Single Axis	Soloist	Soloist ML-MXH

Notes: 1. Linear amplifiers are required to achieve the listed specifications. Other options are available.

Note: To ensure the achievement and repeatability of specifications over an extended period of time, environmental temperature must be controlled to within 0.25ºC/24 hours. If this is not possible, alternate products are available. Please consult Aerotech Sales Engineering for more information.

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