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QNP2-100-XYAZ Series

특징

사양

외형도

품명 보는 법

디자인 특징

●고강성과 동특성을 통한 높은 처리량
●고정밀, 비마찰 굴곡 유도
●특허 출원한 설계로 비교할 수 없는 기하학적 성능 제공
●긴 장비 수명
●직접 계측학 용량성 센서 옵션을 가지는 뛰어난 위치결정 분해능과 선형성
●pen-loop과 진공 버전
●특허 출원한 설계로 비교할 수 없는 기하학적 성능 제공?긴 장비 수명?직접 계측학 용량성 센서 옵션을 가지는 뛰어난 위치결정 분해능과 선형성

병렬 운동학적, 피에조 위치결정 스테이지인 에어로텍의 QNP2 시리즈 XY는 소형, 저형상 패키지로 나노미터 이하의 분해능, 높은 동특성 그리고 뛰어난 기하학적 성능을 결합합니다. QNP2-100-XYA 피에조 스테이지는 50 mm x 50 mm closed-loop 이동거리(open-loop 이동거리 120 μm x 120 μm)의 깔끔한 구경을 표준 사양으로 제공합니다. 이 설계는 광학 및 원자 현미경, X-ray 현미경 또는 두 면에 대한 접근이 필요한 기타 검사, 제조 어플리케이션에 적합합니다.

정밀한 병렬 운동학적 설계

QNP2 피에조 스테이지는 최고 수준의 다축 정확도를 보장하는 병렬 운동학적 굴곡과 계측학 설계를 제공합니다. 고강성과 긴 장비 수명을 보장하는 FEA에 최적화된 정밀 굴곡에 의해 유도되는 QNP2 스테이지는 높은 처리량과 빠른 Closed Loop 응답을 가능하게 하는 최고의 강성과 공명 주파수를 제공합니다.

특허 출원의 장비 설계를 사용하여 Abbe규칙을 따르는 계측학 시스템을 유지하면서 yaw 에러를 최소화합니다.

나노미터 이하의 성능

모든 QNP2 피에조 스테이지는 Closed Loop 피드백 (-C) 또는 Open Loop (피드백 없음)에 가능합니다. 특별한 정전용량 센서 병렬 계측학 설계는 직접적으로 위치결정 캐리지의 출력, 나노미터 이하의 분해능, 0.01%이하의 선형성 에러와 한 자리수의 나노미터 반복도를 측정합니다.

초정밀 제어

에어로텍의 Q시리즈 컨트롤러 및 장비와 함께 사용되면, QNP2 스테이지는 나노미터 이하의 위치결정 분해능, 정위치 안정성(지터), 그리고 높은 위치결정 대역폭을 구현합니다. 에어로텍의 다이나믹 컨트롤 툴박스와 모션 디자이너 패키지와 같은 소트트웨어 옵션은 학습 제어, 고조파 제거, Command Shaping처럼 뛰어나면서도 사용하기 쉬운 툴을 제공합니다. OEM 드라이브 옵션 또한 가능합니다. 에어로텍의 컨트롤러 구조는 피에조 스테이지, 서보모터, 스테핑모터 그리고 갤보 사이를 빠른 속도와 견고하게 제어되는 좌표계 모션으로 쉽게 구현 합니다.

설계 옵션

옵션인 장착판은 미터 단위계 기판회로 광학 테이블로에 직접 장착할 수 있습니다. 단단한 탑테이블 또한 제공됩니다.

QNP2 피에조 스테이지는 요구에 따라 고객 맞춤 제작, 진공을 갖춘 버전으로도 가능합니다.