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QNP3-100-XYAZ Series

특징

사양

외형도

품명 보는 법

3D 위치결정 정확도를 위한 XYZ 피에조 스테이지

■ 120 μm x 120 μm x 12 μm 이동거리

■ 40 x 40 mm 정사각형의 깔끔한 구경

■ 특허 출원한 병렬 운동학적 설계는 탁월한 기하학적 성능을 제공

직접 계측학 용량성 센서를 갖춘 뛰어난 위치결정 분해능과 선형성

에어로텍의 QNP3 시리즈 XYZ 피에조 위치결정 스테이지는 소형의 3자유도 (DoF) 패키지 속에서

나노미터이하의 분해능, 높은 동특성, 그리고, 뛰어난 기하학적 성능을 결합합니다.

최대 Closed Loop 이동거리 100 μm x 100 μm x 10 μm(Open Loop 이동거리120 μm x 120 μm x 12 μm)에 40 mm x 40 mm의 깔끔한 구경을 갖추고 있습니다.

이 설계는 3DoF 조작에서 두 면에 대한 접근이 요구되는 광학, 원자 현미경 또는 기타 검사, 제조 어플리케이션에 적합합니다.

정밀한 병렬 운동학적 설계

QNP3 피에조 스테이지는 뛰어난 다축 정확도, 고강성, 긴 장비 수명을 보장하기 위해

FEA에 최적화된 정밀 병렬 운동학적 굴곡과 계측학 설계를 사용합니다.

고강성과 공명 주파수는 높은 공정 처리량과 빠른 Closed Loop 반응을 가능하게 합니다.

특허 출원한 장비 설계는 Abbe규칙을 따르는 계측 시스템을 유지하면서 X와 Y yaw 에러를 최소화합니다.

이 설계는 전체 XY이동거리 공간에 대해서 뛰어난 위치결정 성능을 제공합니다.

Z축 엑추에이터와 용량성 센서는 최소한의 기하학적 에러를 가진 수직 방향에서 Abbe규칙을 따르는 피드백을 제공하도록 설계되었습니다.

나노미터 이하의 성능

QNP3 스테이지는 Closed Loop 또는 Open Loop 피드백에서 가능합니다.

특별한 용량성 센서 병렬 계측 설계는 직접적으로 위치 결정 캐리지의 출력, 나노미터 이하의 분해능 전달,

0.01%보다 나은 선형성 에러와 한 자릿수 나노미터 반복도를 측정합니다.

초정밀 제어

에어로텍의 Q시리즈 컨트롤러, 드라이브와 함께 사용되면, QNP3 스테이지는 높은 위치결정 대역폭을 유지하면서

나노미터 이하의 위치결정 분해능과 정위치 안정성 (지터)을 제공합니다.

다이나믹 컨트롤 툴박스와 모션 디자이너와 같은 고급 소프트웨어 옵션은 향상된 트래킹 에러와 더 빠른 step-and-settle시간을 제공하는

반복 학습 제어, 고조파 제거, Command Shaping과 같은 매우 효과적이면서 사용하기 쉬운 다양한 툴을 제공합니다. OEM 드라이브 옵션 또한 가능합니다.

설계 옵션

옵션인 장착판은인치 단위계 또는 미터 단위계 기판회로 광학 테이블로에 직접 장착할 수 있습니다.

단단한 탑테이블 또한 제공됩니다. QNP3 피에조 스테이지는 요구에 따라 고객 맞춤 재질, 진공을 갖춘 버전으로도 가능합니다.

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