3D À§Ä¡°áÁ¤ Á¤È®µµ¸¦ À§ÇÑ XYZ ÇÇ¿¡Á¶ ½ºÅ×ÀÌÁö 
¡á 120
¥ìm x 120 ¥ìm x 12 ¥ìm À̵¿°Å¸®
¡á 40
x 40 mm Á¤»ç°¢ÇüÀÇ ±ò²ûÇÑ ±¸°æ ¡á ƯÇã Ãâ¿øÇÑ º´·Ä ¿îµ¿ÇÐÀû ¼³°è´Â Ź¿ùÇÑ ±âÇÏÇÐÀû ¼º´ÉÀ» Á¦°ø
Á÷Á¢
°èÃøÇÐ
¿ë·®¼º
¼¾¼¸¦
°®Ãá
¶Ù¾î³
À§Ä¡°áÁ¤
ºÐÇØ´É°ú
¼±Çü¼º
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ QNP3 ½Ã¸®Áî XYZ ÇÇ¿¡Á¶ À§Ä¡°áÁ¤ ½ºÅ×ÀÌÁö´Â ¼ÒÇüÀÇ 3ÀÚÀ¯µµ
(DoF) ÆÐŰÁö
¼Ó¿¡¼
³ª³ë¹ÌÅÍÀÌÇÏÀÇ
ºÐÇØ´É,
³ôÀº
µ¿Æ¯¼º,
±×¸®°í,
¶Ù¾î³
±âÇÏÇÐÀû
¼º´ÉÀ»
°áÇÕÇÕ´Ï´Ù.
ÃÖ´ë Closed Loop À̵¿°Å¸® 100 ¥ìm x 100 ¥ìm x 10
¥ìm(Open Loop À̵¿°Å¸®120 ¥ìm x 120 ¥ìm x 12 ¥ìm)¿¡ 40 mm x 40 mmÀÇ ±ò²ûÇÑ ±¸°æÀ» °®Ãß°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ ¼³°è´Â
3DoF Á¶ÀÛ¿¡¼
µÎ
¸é¿¡
´ëÇÑ
Á¢±ÙÀÌ
¿ä±¸µÇ´Â
±¤ÇÐ,
¿øÀÚ
Çö¹Ì°æ
¶Ç´Â
±âŸ
°Ë»ç,
Á¦Á¶
¾îÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡
ÀûÇÕÇÕ´Ï´Ù.
Á¤¹ÐÇÑ
º´·Ä
¿îµ¿ÇÐÀû
¼³°è
QNP3
ÇÇ¿¡Á¶
½ºÅ×ÀÌÁö´Â
¶Ù¾î³
´ÙÃà
Á¤È®µµ,
°í°¼º,
±ä
Àåºñ
¼ö¸íÀ»
º¸ÀåÇϱâ
À§ÇØ
FEA¿¡ ÃÖÀûÈµÈ Á¤¹Ð º´·Ä ¿îµ¿ÇÐÀû ±¼°î°ú °èÃøÇÐ ¼³°è¸¦ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù.
°í°¼º°ú
°ø¸í
Á֯ļö´Â
³ôÀº
°øÁ¤
󸮷®°ú
ºü¸¥
Closed Loop ¹ÝÀÀÀ»
°¡´ÉÇϰÔ
ÇÕ´Ï´Ù.
ƯÇã
Ãâ¿øÇÑ
Àåºñ
¼³°è´Â
Abbe±ÔÄ¢À»
µû¸£´Â
°èÃø
½Ã½ºÅÛÀ»
À¯ÁöÇÏ¸é¼ X¿Í Y yaw ¿¡·¯¸¦ ÃÖ¼ÒÈÇÕ´Ï´Ù.
ÀÌ
¼³°è´Â
Àüü
XYÀ̵¿°Å¸®
°ø°£¿¡
´ëÇØ¼
¶Ù¾î³
À§Ä¡°áÁ¤
¼º´ÉÀ»
Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ZÃà ¿¢Ãß¿¡ÀÌÅÍ¿Í ¿ë·®¼º ¼¾¼´Â ÃÖ¼ÒÇÑÀÇ ±âÇÏÇÐÀû ¿¡·¯¸¦ °¡Áø ¼öÁ÷ ¹æÇâ¿¡¼ Abbe±ÔÄ¢À» µû¸£´Â Çǵå¹éÀ» Á¦°øÇϵµ·Ï ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù.
³ª³ë¹ÌÅÍ ÀÌÇÏÀÇ ¼º´É
QNP3
½ºÅ×ÀÌÁö´Â Closed Loop ¶Ç´Â Open Loop Çǵå¹é¿¡¼ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. Ưº°ÇÑ ¿ë·®¼º ¼¾¼ º´·Ä °èÃø ¼³°è´Â Á÷Á¢ÀûÀ¸·Î À§Ä¡ °áÁ¤ ij¸®ÁöÀÇ Ãâ·Â, ³ª³ë¹ÌÅÍ ÀÌÇÏÀÇ ºÐÇØ´É Àü´Þ,
0.01%º¸´Ù
³ªÀº
¼±Çü¼º
¿¡·¯¿Í
ÇÑ
ÀÚ¸´¼ö
³ª³ë¹ÌÅÍ
¹Ýº¹µµ¸¦
ÃøÁ¤ÇÕ´Ï´Ù.
ÃÊÁ¤¹Ð Á¦¾î
¿¡¾î·ÎÅØÀÇ Q½Ã¸®Áî ÄÁÆ®·Ñ·¯, µå¶óÀ̺ê¿Í ÇÔ²² »ç¿ëµÇ¸é,
QNP3 ½ºÅ×ÀÌÁö´Â
³ôÀº
À§Ä¡°áÁ¤
´ë¿ªÆøÀ»
À¯ÁöÇϸé¼
³ª³ë¹ÌÅÍ
ÀÌÇÏÀÇ
À§Ä¡°áÁ¤
ºÐÇØ´É°ú
Á¤À§Ä¡
¾ÈÁ¤¼º
(ÁöÅÍ)À» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ´ÙÀ̳ª¹Í ÄÁÆ®·Ñ Åø¹Ú½º¿Í ¸ð¼Ç µðÀÚÀÌ³Ê¿Í °°Àº °í±Þ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î ¿É¼ÇÀº Çâ»óµÈ Æ®·¡Å· ¿¡·¯¿Í ´õ ºü¸¥ step-and-settle½Ã°£À» Á¦°øÇÏ´Â ¹Ýº¹ ÇнÀ Á¦¾î, °íÁ¶ÆÄ Á¦°Å,
Command Shaping°ú
°°Àº
¸Å¿ì
È¿°úÀûÀ̸é¼
»ç¿ëÇϱâ
½¬¿î
´Ù¾çÇÑ
ÅøÀ»
Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. OEM µå¶óÀÌºê ¿É¼Ç ¶ÇÇÑ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
¼³°è ¿É¼Ç
¿É¼ÇÀÎ
ÀåÂøÆÇÀºÀÎÄ¡
´ÜÀ§°è
¶Ç´Â
¹ÌÅÍ
´ÜÀ§°è
±âÆÇȸ·Î
±¤ÇÐ
Å×À̺í·Î¿¡ Á÷Á¢ ÀåÂøÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ´Ü´ÜÇÑ Å¾Å×ÀÌºí ¶ÇÇÑ Á¦°øµË´Ï´Ù.
QNP3 ÇÇ¿¡Á¶
½ºÅ×ÀÌÁö´Â
¿ä±¸¿¡
µû¶ó
°í°´
¸ÂÃã
ÀçÁú,
Áø°øÀ»
°®Ãá
¹öÀüÀ¸·Îµµ
°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.

|