● 10μm에서 40μm 까지의 Closed-loop 이송거리
● 직접구동 작동은 빠른 응답시간과 고처리량 작업을
가능하게 함
● 고정밀, 무마찰 굴곡 유도
● 긴 제품 수명
● 직접계측 정전용량 센서 옵션으로 뛰어난 위치결정
분해능과 직선성
● Open-loop 및 진공 버전 |
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에어로텍의 QNPHD 피에조 나노포지셔닝 스테이지는 스테이지와 엑츄에이터의 두 가지 이점을 한 개의 작은 고강성 패키지에 담았습니다. 직접계측 정전용량 센서 피드백 옵션과 높은 공진주파수, 그리고 고부하 용량으로 QNPHD는 원자현미경, 디스크 드라이브 테스트, 반도체 웨이퍼 관절, 고정밀 어플리케이션의 넓은 분야에 이상적입니다. 빈틈없는 정밀도로 빠른 응답
QNPHD는 1000분의 1초 수준의 응답과 이동 및 정착 시간을 가능하게 하는 직접구동 작동 설계와 최적화된 구조를 채택하였습니다. 고강성과 긴 제품수명을 위해 유한 요소 분석법을 사용하여 최적화한 정밀 굴곡부에 의해 가이드 되어, QNPHD는 중대한 나노포지셔닝 어플리케이션에 대하여 우수한 기하학적 성능(직선도 및 각도 오류)을 유지하면서도 높은 동특성을 제공합니다. 고분해능과 위치결정 정확도QNPHD는 나노미터 단위 이하의 분해능과 한 자리수 나노미터 직선성 오차를 가능하게 하는 독특한 정전용량 센서 설계를 사용하는 closed-loop 피드백(-C) 옵션을 보유하고 있습니다. 정전용량형 센서들은 뛰어난 정밀도와 반복도를 가능하게 하는 위치결정 캐리지의 출력을 직접적으로 측정합니다. 초정밀 제어에어로텍의 Q 시리즈 컨트롤러들과 드라이버들이 결합되었을 때, QNPHD는 나노미터 단위 이하의 위치결정 분해능과 높은 위치결정 대역폭을 보여줍니다. 에어로텍의 Dynamic Controls Toolbox와 Motion Designer 패키지와 같은 옵션은 향상된 추적에러와 더 빠른 이송 및 정착 시간을 제공함과 더불어 Learning Control, Harmonic Cancellation, 그리고 Command Shaping 등과 같은 사용하기 쉬운 고급 관리 도구들을 제공합니다. 파라미터 및 보정 파일 자동 인식은 에어로텍의 FlashConfig를 사용함으로써 수행할 수 있습니다. 스테이지는 컨트롤러에 업로드된 안정성, 정확성과 “plug-and-play”운영을 보장하는 축 교정 데이터를 포함하는 모든 운전 파라미터를 자동적으로 인식합니다. 설계 유연성QNPHD는 가로와 세로 방향 모두에 대해서 장착 기능과 함께 뒤쪽과 옆면 케이블 출구 옵션을 사용할 수 있습니다. 이 유연성은 사용자로 하여금 크기가 커진 다양한 어댑터 플레이트 및 브라켓 설계와 설계 복잡성 없이도 최적의 배열로 스테이지를 맞추고 제시할 수 있도록 해 줍니다. 선택가능한 장착 플레이트는 인치단위계 또는 미터단위계 광학 브레드보드 테이블에 직접 장착할 수 있습니다. 요청에 따라 고객 맞춤 설계와 진공 준비 버전도 사용 가능 합니다. |
QNPHD
