●100μm Closed-loop 및 120 μm Open-loop 이송거리
(고객 맞춤 이송거리 가능)
●뛰어난 이동-정착 및 스캐닝 성능을 만드는 고강성 및 동특성
●고정밀, 무마찰 곡선 유도
●긴 제품 수명
●직접계측 정전용량형 센서 옵션을 통한 우수한 위치결정
분해능 및 직선성
●현미경 및 대물렌즈에 쉽고 빠르게 장착하기 위한 다양한
나사산 어댑터
●29 mm 까지의 깔끔한 유효 구경 |
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에어로텍의 QFOCUS™ QF1 피에조 나노포지셔닝 스테이지는 고속에서 나노미터 단위의 분해능을 통해 현미경 대물렌즈와 광학 위치결정을 제공합니다. 초정밀 정전용량형 센서 피드백 옵션과 고강성 구조로써 QF1은 고분해능과 고처리량을 필요로 하는 스캐닝 응용분야, 현미경 관찰, 또는 어떤 광학 응용분야의 요구사항이든 완벽하게 대응합니다. 빈틈없는 정밀도QFOCUS QF1 피에조 스테이지는 고강성과 긴 제품수명을 보장하기 위해 유한 요소 분석법을 사용하여 최적화된 정밀 곡선에 의해 움직입니다. 그 결과 나온 설계는 뛰어난 강성과 공명주파수, 높은 공정 처리량과 빠른 Closed-loop 반응을 가능하게 합니다. 또한, QF1는 중요한 현미경관찰과 광학 포지셔닝 어플리케이션에 뛰어난 기하학적 성능(직진성과 각오차)을 제공하기 위해 설계되어 왔습니다. 고분해능 및 위치결정 정확도QF1은 나노미터 단위 이하의 분해능과 높은 직선성을 가능하게 하는 독특한 정전용량형 센서 설계를 사용하는 closed-loop 피드백(-C) 옵션을 보유하고 있습니다. 정전용량형 센서들은 뛰어난 정밀도와 반복도를 가능하게 하는 위치결정 캐리지의 출력을 직접적으로 측정합니다. 초정밀 제어에어로텍의 Q 시리즈 컨트롤러들과 드라이버들이 결합되었을 때, QF1는 나노미터 단위 이하의 위치결정 분해능, 정위치 안정성(Jitter), 높은 위치결정 대역폭을 보여줍니다. 에어로텍의 Dynamic Controls Toolbox와 Motion Designer 패키지와 같은 옵션은 향상된 추적에러와 더 빠른 이송 및 정착 시간을 제공함과 더불어 Learning Control, Harmonic Cancellation, 그리고 Command Shaping 등과 같은 사용하기 쉬운 고급 관리 도구들을 제공합니다.
OEM 드라이브 옵션 또한 이용 가능 합니다. 대물렌즈 나사산 어댑터 다양성QFOCUS QF1는 대부분의 현미경과 대물렌즈에 맞도록 나사산 어댑터를 함께 제공합니다. 현미경 터렛 장착은 원하는 방향에서 QF1의 쉽고 빠른 위치결정을 가능하게 합니다. QF1은 29mm까지의 깔끔한 유효 구경을 지원합니다.
고객 맞춤 스테이지 설계, 이송거리, 그리고 나사산 어댑터도 사용 가능 합니다. 
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QFOCUS QF1
