4DOF Wafer Aligner & Aerotech Auto Focus – ZTR Solution
애니모션텍의 ZTR(Wafer Aligner)은 Aerotech의 고정밀 컨트롤러와 결합하여,
Wafer 및 자재의 평탄도를 우수한 레벨로 제어합니다.
최첨단 반도체 응용 분야에 맞춰 설계된 Z, Tilp-Tilt, 그리고 Theta축이
포함된 4축 모듈로서, 더 우수한 성능을 구현할 수 있도록 해줍니다.
주요특징
초정밀 포커싱 제어
- 나노미터 단위 Z축 위치 제어
- 고해상도 리니어 엔코더 기반 피드백
고속 실시간 응답
- 빠른 표면 변화에도 즉각적인 초점 보정
- 고속 스캔 공정에 최적화
완벽한 모션 통합
- Aerotech 컨트롤러와 완전 호환
- X/Y/Z 다축 동기 제어 지원