애니시스
정밀한 모션과 레이저, 로보틱스의 결정체
"정밀함을 넘어, 신뢰를 만드는 기술"
"정밀함을 넘어, 신뢰를 만드는 기술"
INA TR-POL
INA TR-POL
Resistor Laser Polisher
INA TR-POL은 세라믹 히터 웨이퍼의 Heating Pattern 선간 저항을 정밀하게 측정하고, 지정된 목표값으로 트리밍(Polishing) 하는 고정밀 레이저 폴리싱 시스템입니다.
작업자가 공급한 웨이퍼를 Dual Flying Probe(POGO Pin Type) 을 통해 측정하며, 위치 기반 레이저 펄스 제어(PSO) 와 디지털 엔코더 기반 IFOV 기술을 적용하여 스티칭 에러 없는 균일한 가공 품질을 구현합니다.
작업자가 공급한 웨이퍼를 Dual Flying Probe(POGO Pin Type) 을 통해 측정하며, 위치 기반 레이저 펄스 제어(PSO) 와 디지털 엔코더 기반 IFOV 기술을 적용하여 스티칭 에러 없는 균일한 가공 품질을 구현합니다.