샘플 두께 자동 측 및 가공 위치 수정
작업자로부터 수동 공급된 Ceramic Heater Wafer Heating Pattern의 선간 저항을 Dual Flying Probe (POGO Pin Type) 로 측정하여, 작업자 지정 목표 값으로 Trimming 여 수동 배출하는 Stand-Alone System.
레이저 파워 컨트롤 : 가공 중에도 실시간으로 레이저 출력을 측정하고 보정합니다.
프로빙 시스템 : 빠른 변경 유지 관리, 2-프로브 3-축 전동 시스템, 능동 및 수동 트리밍
온도 측정 : 비접촉식 온도센서를 통한 작업 구역의 온도 측정
FFU : 작업 구역 온도 및 청정도 제어
간편한 조작 / 다국어(한국어, 중국어, 영어, 일본어)